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    [技术]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-06-08
    案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 LC/%AbM  
    e5sQl1  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 CakB`q(8  
    kPp7;U2A  
    关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 E-#}.}i5  
    ,xC@@>f  
    所需工具箱子:光栅工具箱 o l+*Oe  
    i~*#z&4A+  
    相关案例:G.001a,Scenario 104.01 DM !B@  
    Nu%MXu+  
    建模任务 ,NU`aG-  
    ~,84E [VV  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 yLvU@V@~  
    Qb1hk*$=  
    [Kanj/  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 kAk+ Sq^n  
     !*-|s}e  
    LZ~}*}jy  
    为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 wb-_CQ  
    0a's[>-'A  
    4"%LgV`  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。
    $C&E3 'O  
    zO)3MC7l*  
    k!wEPi]  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 wEb10t,  
    Bjsg!^X7  
    ]AB4w+6!  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 &B ^LaRg  
    a"X9cU[  
    V0F&a~Q  
    X线偏振光模拟结果:
    5+iXOs<   
    |VML.u:N  
    探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 7a<:\F}E0  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 )Es|EPCx!  
    agPTY{;  
    4Y}{?]>pu  
    Y线偏光模拟结果 5*Y(%I<  
     i(n BXV{  
    @7,k0H9Moa  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 MJI`1*(  
    结论: .OSFLY#[?  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。
    Z {*<G x  
     
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    离线二牛26
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    只看该作者 1楼 发表于: 2023-07-04
    入射角没有要求吗?y方向的偏振对所有的镀膜的衍射效率都有提高吗?