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    [技术]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-06-08
    案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 {U?/u93~  
    R*VRxQ,h6+  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 [`Seh$  
    8fRk8  
    关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 pyhC%EZU  
    )ZC0/>R  
    所需工具箱子:光栅工具箱 ]&w8"q  
    uDvZ]Q|.  
    相关案例:G.001a,Scenario 104.01 F`IV9qv  
    [0<N[KZ)  
    建模任务 f40xS7-Q0  
    J5e  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 #\3(rzQVO  
    i%w[v_j  
    ! eXDN  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 L}Nc kL  
     b)/,  
    n`gW&5,,z  
    为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 j ;}!Yn  
    0aj4.H*%  
    *;@V5[^3I?  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。
    BQ! v\1'C  
    7%DA0.g  
    3}*)EC  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 8 -]\C  
    uvC ![j^~  
    7.U CX"  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 tk=~b} 8  
    ;|7]%Z}%  
    a^/j&9  
    X线偏振光模拟结果:
    FbO\#p s  
    s[6y|{&ze  
    探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 }\Kki  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 Jd#g"a>zZ  
    #fdQ\)#q>  
    N~Zcrt_D  
    Y线偏光模拟结果 ]$7dkP  
    #$k6OlK-r"  
    Z ,4G'[d  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 kq +`.  
    结论: $;~  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。
    4FLL*LCNX  
     
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    离线二牛26
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    只看该作者 1楼 发表于: 2023-07-04
    入射角没有要求吗?y方向的偏振对所有的镀膜的衍射效率都有提高吗?