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    [技术]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-06-08
    案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 NZt 8L?  
    }yMA s  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 'v_VyK*w  
    N.|uPq$R  
    关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 j4!oBSp  
    yn KgNi  
    所需工具箱子:光栅工具箱 o;7_*=i  
    Ap9 %5:]  
    相关案例:G.001a,Scenario 104.01 "78BApjWT6  
    8eZ^)9m  
    建模任务 1|3{.Ed  
    aDVBi: _  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 VTwJtWnq  
    uI+^8-HZ;  
    c_)lTI4  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 W,p?}KiO T  
    lb[\Lzdvmu  
    D7OPFN 7`  
    为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 yZqX[U  
    wsyAq'%L  
    S_Ug=8r4  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。
    Nt P=m @  
    v="2p8@F  
    0v'FE35~s  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 qo5WZ be  
    ahx*Ti/e  
    LM?UV)  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 e$=0.GWT  
    H\@@iK=  
    /GMT  
    X线偏振光模拟结果:
    3Fl!pq]  
    ~91) DNaE  
    探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 Bd-@@d.H<  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 2]/[  
    */E5<DO  
    Uh8c!CA8:\  
    Y线偏光模拟结果 eBxOa  
    M3/_E7Qoj  
    {G(N vf,K]  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 zd^QG  
    结论: $ru()/pI)z  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。
    n0< I  
     
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    离线二牛26
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    只看该作者 1楼 发表于: 2023-07-04
    入射角没有要求吗?y方向的偏振对所有的镀膜的衍射效率都有提高吗?