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    [技术]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-06-08
    案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 ^+k= ;nl  
    %|>D{q6C  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 $D D esy3  
    _j*I\  
    关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 ;E>#qYC6  
    w@n}DCFt  
    所需工具箱子:光栅工具箱 #7}YSfm^6  
    a`?Vc}&  
    相关案例:G.001a,Scenario 104.01 4X+I2CD  
    BN&}g}N  
    建模任务 ;:>q;%  
    m`]d`%Ex  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 8HHR  
    %az6\"n  
    t~44ub6GN`  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 W5~!)Ec  
    ,WM-%2z^4I  
    2iO{*cB  
    为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。  Vo%Z|  
    >hV 2p/D  
    U6y`:G;.  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。
    Sq:J'%/z  
    /Ei e5p  
    og&h$<uOZt  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 q:iu hI$~G  
    \'iy(8i  
    ` K0PLxSv  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 %Z,n3iND  
    v (S h+p  
    D(&WEmm\B  
    X线偏振光模拟结果:
    .j=mT[N,I  
    GdrVH,j  
    探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 dO,; k +  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 <U\8&Uv>  
    ~`B]G  
    {zLgLBM  
    Y线偏光模拟结果 T=@Ygjk  
    [X8EfU}  
    &2O~BIRE  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 N|ZGc{?  
    结论: _{eA8J(A<  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。
    vL^ +X`.td  
     
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    离线二牛26
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    只看该作者 1楼 发表于: 2023-07-04
    入射角没有要求吗?y方向的偏振对所有的镀膜的衍射效率都有提高吗?