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    [技术]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-06-08
    案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 ,ucRQ&P  
    F@?-^ E@  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 +cH>'OXoB  
    Z<;W*6J  
    关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 "J"=<_?  
    qx ki  
    所需工具箱子:光栅工具箱 EnWv9I<  
    EIRDH'[L  
    相关案例:G.001a,Scenario 104.01 /wLBmh1"  
    7W)W9=&BT  
    建模任务 ;].X;Ky <  
    ;z4J)qw  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 3Q$ 4`p;  
    1D 'r;`z  
    }&vD(hX  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 gML8lu0)  
    %>&ex0j]  
    *:n7B\.  
    为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 Lng. X8D  
    _{jC?rzb  
    }.A]=Ew  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。
    A`uHZCwJ5  
    C][$0  
    !i t orSl  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 DC h !Z{I  
    \#,2#BmO"E  
    ?z.?(xZ 6  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 #KiJ{w'  
    [`@M!G.  
    w x]?D%l  
    X线偏振光模拟结果:
    E4% -*n  
    RHFRN&RU$  
    探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 gk|>E[.  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 M[`[+5v  
    4G,FJjE`p  
    a]r+np]vTy  
    Y线偏光模拟结果 "kP,v&n  
    .zgh,#=  
    1L!;lP2  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 Po)U!5Tm  
    结论: 7Vy_Cec1  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。
    DT`HS/~fH  
     
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    离线二牛26
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    只看该作者 1楼 发表于: 2023-07-04
    入射角没有要求吗?y方向的偏振对所有的镀膜的衍射效率都有提高吗?