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    [技术]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-06-08
    案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 *" +cP!  
    JN|#   
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 U0=zuRr n  
    N`:b vr  
    关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 {}2p1-(  
    Al;oI3  
    所需工具箱子:光栅工具箱 Nv#, s_hG  
    U-N/Z\QD  
    相关案例:G.001a,Scenario 104.01 , X+(wp  
    9O_N iu0  
    建模任务 .EELR]`y7I  
    _A~gqOe  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 DFH6.0UW  
    4B,A+{3yL  
    8xz7S  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 + {dIs  
    %HS!^j3C%  
    ;'+cT.cmH  
    为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 @_Oe`j^  
    m eWq9:z  
    =1?yS3  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。
    fXQRsL8 ]  
    Tj~#Xc  
    Lu5.$b  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 s$G8`$+i1  
    NGzqiu"J  
    YA8~O5  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 F'Vl\qPt  
    >gl<$LQ?X  
    CplRnKra  
    X线偏振光模拟结果:
    \C.@ @4{  
    &1Iy9&y  
    探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 d8I:F9  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 (`*wiu+i  
    jzw?V9Ijb  
    ?5gpk1  
    Y线偏光模拟结果 _L.yt5_  
    U$Z}<8  
    N/=3Bs0y-  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 e@By@r&nql  
    结论: B\yq% m  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。
    jgIzB1H  
     
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    离线二牛26
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    只看该作者 1楼 发表于: 2023-07-04
    入射角没有要求吗?y方向的偏振对所有的镀膜的衍射效率都有提高吗?