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Ds|/\cI$%a 均匀化的概念 o<f[K}t9 K'[H`x^ VirtualLab光学仿真和设计软件能够设计用于LED和准分子激光均匀化和整形的照明系统。可以通过微型光学元件来实现光束的均匀化和整形,例如: SRq0y,d • 微透镜阵列 4ed+'-"m • 衍射扩散器 ,fQc0gM=[ • 计算机生成的全息图 >Zk$q~'+ • 相位板 "|{O%X • 单元阵列 ?pdvFM @DYx xM- 红色LED照射衍射扩散器产生的天际线图案 K9co_n_L 光学仿真和设计包括: M9{?gM9 • 衍射 "(/
1]EH` • 干涉 @; ayl • 空间和时间相干度 ;\=W=wL( • 像差 g+gHIb7{ • 偏振 pyZ&[*@ • 光强 N%{&%C 6{ lJ!+n<K+ 应用 BBy"qkTe pX
]K- 用于LED和准分子激光均匀化的微光学照明系统可以用在各个领域,包括: s$e0;C!D • 信息显示 U@v=q9'W • 测量系统 `INcZr" • 室内照明 gio'_X • 汽车 cF_hU" • 军事 :70cOt~Z • 光刻 Eh;SH^&6 zm rQ7(y 用于白光LED消色差整形的微透镜阵列的3D表面 /X)fWO S6 优点Benefits H aI " FI]l<G& 微光学元件的照明系统有以下几大优点: '7}s25[{\ • 可实现LED 和准分子激光的均匀化和整形. {,p<!Jq~G • 产生任意的二维图案. /7X:=~m • 对光源辐射特性变化的低灵敏度. IGs!SXclCs • 非常紧凑的照明系统. 7>`QX% |S#)[83*3 包含一个光栅元胞阵列的照明系统 光线追迹模拟 微透镜阵列 eX$P k: -?n|kSHX 微透镜阵列,也叫做“蝇眼聚光器”可以被用在LED和准分子激光器均质化的各种光学装置中,微透镜阵列有以下光学特性: eS9/-Y • 光分布整形取决于透镜口径和透镜表面. +.MHI • 常被用来产生圆形、矩形和六角形光分布. A][\L[8X • 可以产生一般的二维图案. <N^2|*3 • 单色光和白光的整形. ;1K[N0xE
2F+K( 六角形透镜阵列可以用来产生六角形光分布. y8jk9Tv 衍射扩散器 FQSepUl Kr`Cr5v 衍射扩散器,如相位板和计算机生成全息图,是经过计算机优化的表面轮廓散射元件,衍射扩散器有以下光学性质: +avu&2B • Diffuser在一目标平面上产生大量的重叠斑点(衍射级次). =if5$jE3 • 生成任意的二维图案. -%"Kxe • 仅用于单色LED或准分子激光. G&MI@Hq
W@jBX{k 4个高度水平的衍射扩散器的表面轮廓 z>+@pj
单元阵列 RajzH2j+> tn201TDZ]= 光栅,棱镜和反射镜单元阵列由小矩形单元组成,将光偏转到目标平面上的特定位置。单元阵列具有以下光学特性: !Y/$I?13Z • 通过控制光栅,微棱镜或微反射镜的倾角和周期来将光偏转到目标面上. 1t/#ZT!X/ • 光学分辨率取决于单元孔径的衍射. 7u-o7#,X2 • 产生任意的二维图案. +/*,%TdQ4 • 用于单色光和白光. .0;Z:x_3
VqLqj$P 由LightTrans.设计的光栅单元阵列的SEM成像 ^0ZabR'
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