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均匀化的概念 w;RG*rv >8pmClVvmR VirtualLab光学仿真和设计软件能够设计用于LED和准分子激光均匀化和整形的照明系统。可以通过微型光学元件来实现光束的均匀化和整形，例如： 5L'bF2SI • 微透镜阵列 : " ([i" • 衍射扩散器 S-M|
6fv • 计算机生成的全息图 r M
sd) • 相位板 Kn
WjP21 • 单元阵列 y}'c )u
NaR /IsN8% 红色LED照射衍射扩散器产生的天际线图案 _x.<Zc\x
光学仿真和设计包括: 1nt VM+ • 衍射 4! Cu> 8B • 干涉 B RTM]tRZ • 空间和时间相干度 "I)*W8wTn • 像差 jK[~d Y • 偏振 kiW|h)w_,v • 光强 (d L;A0L
DPU%4te 应用 O[N}@%HMW
)4[Yplo 用于LED和准分子激光均匀化的微光学照明系统可以用在各个领域，包括： Au q) • 信息显示 "|2| Vju% • 测量系统 RS$!TTeQ • 室内照明 w4: • 汽车 [>B`"nyNQ • 军事 5pOb;ry")` • 光刻 #s'UA!)
i.|zKjF' 用于白光LED消色差整形的微透镜阵列的3D表面 jLANv{" 优点Benefits rRTAWAs%T
=~OH .=9\ 微光学元件的照明系统有以下几大优点： }mz6z<pJ_ • 可实现LED 和准分子激光的均匀化和整形. KRY%B[k • 产生任意的二维图案. i|z=q • 对光源辐射特性变化的低灵敏度. DrG9Kky{ • 非常紧凑的照明系统. *u2pk>y)  (XQBBt 包含一个光栅元胞阵列的照明系统 光线追迹模拟
's.cwB: #
微透镜阵列，也叫做“蝇眼聚光器”可以被用在LED和准分子激光器均质化的各种光学装置中，微透镜阵列有以下光学特性： -QUr| :SK:
• 光分布整形取决于透镜口径和透镜表面. 9q?\F
• 常被用来产生圆形、矩形和六角形光分布. 6D[m}/?Uy
• 可以产生一般的二维图案. _K4Igq
• 单色光和白光的整形. )FNvtLZ
 L(p{>Ykcc
六角形透镜阵列可以用来产生六角形光分布. `
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衍射扩散器 i\2d1Z
l3d^V&Sk
衍射扩散器，如相位板和计算机生成全息图，是经过计算机优化的表面轮廓散射元件，衍射扩散器有以下光学性质： {,Y?+F
• Diffuser在一目标平面上产生大量的重叠斑点（衍射级次）. X+'z@xpj
• 生成任意的二维图案. .RI{\ i`
• 仅用于单色LED或准分子激光. B74L/h
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4个高度水平的衍射扩散器的表面轮廓 H5L~[ \
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单元阵列 QKj-"y[
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光栅，棱镜和反射镜单元阵列由小矩形单元组成，将光偏转到目标平面上的特定位置。单元阵列具有以下光学特性： !`u
• 通过控制光栅，微棱镜或微反射镜的倾角和周期来将光偏转到目标面上. FME&v Uh/
• 光学分辨率取决于单元孔径的衍射. {uurM` f}:
• 产生任意的二维图案. + _=&7
• 用于单色光和白光. (J c} K
 MwoU>+XB
由LightTrans.设计的光栅单元阵列的SEM成像 eYQq@lrWv
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