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均匀化的概念 :tjgg] %0 +h VirtualLab光学仿真和设计软件能够设计用于LED和准分子激光均匀化和整形的照明系统。可以通过微型光学元件来实现光束的均匀化和整形，例如： &Hlm{FHU • 微透镜阵列 }DDVGs [ • 衍射扩散器 R8=I)I -8 • 计算机生成的全息图 [xZ/ZWb/ • 相位板 B8c BQ v • 单元阵列 "RV`L[(P*k
*l> [`U+ 红色LED照射衍射扩散器产生的天际线图案 (^DLCP#*
光学仿真和设计包括: )K aL SL> • 衍射 r
1l/) ; • 干涉 `N|U"s; • 空间和时间相干度 _C< 6349w • 像差 .g/ARwM} • 偏振 Xq 8uY/j • 光强 2Y E;m&
'!j #X_; 应用 97qtJ(ESI
J{Y6fHFi 用于LED和准分子激光均匀化的微光学照明系统可以用在各个领域，包括： F,p`- m[q • 信息显示 e5qrQwU • 测量系统 u%6Ird x • 室内照明 c N02roQl • 汽车 &Q-[; • 军事 YVQ_ tCC_! • 光刻 krQ l ^~@
%sO Wg.0_ 用于白光LED消色差整形的微透镜阵列的3D表面 a )3O? Y 优点Benefits /<3;0~#){
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微光学元件的照明系统有以下几大优点： &\;<t, 3A~ • 可实现LED 和准分子激光的均匀化和整形. 2-vJ v+- • 产生任意的二维图案. '}U_D:o.b • 对光源辐射特性变化的低灵敏度. y-w2O] • 非常紧凑的照明系统. Y w$a{5 g  D+@-XU<Lp< 包含一个光栅元胞阵列的照明系统 光线追迹模拟
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微透镜阵列，也叫做“蝇眼聚光器”可以被用在LED和准分子激光器均质化的各种光学装置中，微透镜阵列有以下光学特性： g\ErJ+i
• 光分布整形取决于透镜口径和透镜表面. P'a0CE %
• 常被用来产生圆形、矩形和六角形光分布. 5SoZ$,a<e
• 可以产生一般的二维图案. !MZ+- dpK
• 单色光和白光的整形. pwJ'3NbS
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六角形透镜阵列可以用来产生六角形光分布. Auox Z?V
衍射扩散器 5h_<R!jA
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衍射扩散器，如相位板和计算机生成全息图，是经过计算机优化的表面轮廓散射元件，衍射扩散器有以下光学性质： "KMLk
• Diffuser在一目标平面上产生大量的重叠斑点（衍射级次）. 6eOrs-ty
• 生成任意的二维图案. cU7rq j_
• 仅用于单色LED或准分子激光. Hze-Ob8
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4个高度水平的衍射扩散器的表面轮廓 2{Wo-B,wt~
单元阵列 `d75@ 0:
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光栅，棱镜和反射镜单元阵列由小矩形单元组成，将光偏转到目标平面上的特定位置。单元阵列具有以下光学特性： ANckv|&'v
• 通过控制光栅，微棱镜或微反射镜的倾角和周期来将光偏转到目标面上. R;H?gE^m-
• 光学分辨率取决于单元孔径的衍射. J&A;#<qY
• 产生任意的二维图案. U {7 3Xax
• 用于单色光和白光. "e~k-\ ^Y
 \.c]kG>k-
由LightTrans.设计的光栅单元阵列的SEM成像 /n c~T3j
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