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O- #TZ 均匀化的概念 KxIyc7. 71"+<C . VirtualLab光学仿真和设计软件能够设计用于LED和准分子激光均匀化和整形的照明系统。可以通过微型光学元件来实现光束的均匀化和整形,例如: wfR&li{ • 微透镜阵列 $i#?v • 衍射扩散器 8md*wEjk • 计算机生成的全息图 _w!a`w*3 • 相位板 bMm3F%FFq& • 单元阵列 <??umkV fPqr6OYz 红色LED照射衍射扩散器产生的天际线图案 %d2!\x%bG 光学仿真和设计包括: S_b/DO • 衍射 s_[VHPN • 干涉
|yKud • 空间和时间相干度 ;b0NGa(k • 像差 uwmQ?LS]V • 偏振 X%}nFgqQ • 光强 O=}g4c </[: 9Cl 应用 _mJG5(| T%IK/"N|+ 用于LED和准分子激光均匀化的微光学照明系统可以用在各个领域,包括: 94/BG0 • 信息显示 taWqSq! • 测量系统 gb" 4B%Hm • 室内照明 4w93}t.z • 汽车 28I^$> [ • 军事 Z>P*@S,6G • 光刻 7TX2&kMoc fjG&`m#" 用于白光LED消色差整形的微透镜阵列的3D表面 /M=3X|| 优点Benefits `<frgXu64 Vzg=@A# 微光学元件的照明系统有以下几大优点: {tiKH=&J • 可实现LED 和准分子激光的均匀化和整形. M4yI`dr6 • 产生任意的二维图案. k N7Bd} • 对光源辐射特性变化的低灵敏度. %*}Y6tl '| • 非常紧凑的照明系统. lioc`C: R2<s0l 包含一个光栅元胞阵列的照明系统 光线追迹模拟 微透镜阵列 BuOgOYh9 ravyiOL 微透镜阵列,也叫做“蝇眼聚光器”可以被用在LED和准分子激光器均质化的各种光学装置中,微透镜阵列有以下光学特性: viX
+|A4gJ • 光分布整形取决于透镜口径和透镜表面. ?C-Towo=i • 常被用来产生圆形、矩形和六角形光分布. :-T*gqj| • 可以产生一般的二维图案. o\VUD • 单色光和白光的整形. 3gEMRy*+
nz]&a1"& 六角形透镜阵列可以用来产生六角形光分布. L%"LlSg 衍射扩散器 YJV% a dT|vYK}\ 衍射扩散器,如相位板和计算机生成全息图,是经过计算机优化的表面轮廓散射元件,衍射扩散器有以下光学性质: w_tJ7pz8T • Diffuser在一目标平面上产生大量的重叠斑点(衍射级次). ^teq[l$; • 生成任意的二维图案. U8$4
R,+ • 仅用于单色LED或准分子激光. p4!:]0c
_}xd}QW 4个高度水平的衍射扩散器的表面轮廓 ULJ mSe 单元阵列 ^D%Za' u\yVR$pQ 光栅,棱镜和反射镜单元阵列由小矩形单元组成,将光偏转到目标平面上的特定位置。单元阵列具有以下光学特性: )!:sFa
1 • 通过控制光栅,微棱镜或微反射镜的倾角和周期来将光偏转到目标面上. avQJPB)}Sb • 光学分辨率取决于单元孔径的衍射. w"Y` ]2 • 产生任意的二维图案. n2B){~vE • 用于单色光和白光. o\b- _E5"?
"qz3u`[o 由LightTrans.设计的光栅单元阵列的SEM成像 r!1D*v5&:
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