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均匀化的概念 *42KLns 2`i &6iz VirtualLab光学仿真和设计软件能够设计用于LED和准分子激光均匀化和整形的照明系统。可以通过微型光学元件来实现光束的均匀化和整形，例如： Z{3=.z{&^= • 微透镜阵列 _3
!s{ • 衍射扩散器 42 `Uq[5Y • 计算机生成的全息图 .Z 7t E? • 相位板 /: !sn-( • 单元阵列 3B#fnj
|TJ gH<I 红色LED照射衍射扩散器产生的天际线图案 p&}m')
光学仿真和设计包括: `@ Z$+ • 衍射 1mV
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~W • 干涉 ~ &/Nl_# • 空间和时间相干度 tdU'cc?M • 像差 ycN! N • 偏振 $jk4H+H- • 光强 i (r Yc
5P* jGOg . 应用 YloE4PAY7
B{#Fm6 用于LED和准分子激光均匀化的微光学照明系统可以用在各个领域，包括： ZrYRL g • 信息显示 dsEvpa$? • 测量系统 <a
CzB7x • 室内照明 *h?*RUQ • 汽车 w_@6!zm • 军事 C
B;j[. • 光刻 :CM2kh"Iu
Z'AjeZyyE 用于白光LED消色差整形的微透镜阵列的3D表面 }2=~7& ) 优点Benefits tm;\m!^X{
k H06Cb 微光学元件的照明系统有以下几大优点： "97sH_
, • 可实现LED 和准分子激光的均匀化和整形. jxK
`ShW= • 产生任意的二维图案. 0Dd8c \J • 对光源辐射特性变化的低灵敏度. RaiYq#X/ • 非常紧凑的照明系统. Ow 0~sFz  _)CCD33$ 包含一个光栅元胞阵列的照明系统 光线追迹模拟
Y(JZP\Tf_N
微透镜阵列，也叫做“蝇眼聚光器”可以被用在LED和准分子激光器均质化的各种光学装置中，微透镜阵列有以下光学特性： PtjAu
• 光分布整形取决于透镜口径和透镜表面. ,[n=PJV w/
• 常被用来产生圆形、矩形和六角形光分布. lz).=N}m
• 可以产生一般的二维图案. H2_6m5[&,
• 单色光和白光的整形. gYL#} ) g
X/!Y mV !
六角形透镜阵列可以用来产生六角形光分布. F0xm% ?
衍射扩散器 BQMo*I>I
UuJ gB)
衍射扩散器，如相位板和计算机生成全息图，是经过计算机优化的表面轮廓散射元件，衍射扩散器有以下光学性质： ZB}zT9JaE
• Diffuser在一目标平面上产生大量的重叠斑点（衍射级次）. Ob'[W;p)[w
• 生成任意的二维图案. ]:6IW:
• 仅用于单色LED或准分子激光. C-2#-{<
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4个高度水平的衍射扩散器的表面轮廓 Dk~
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单元阵列 `?N|{kb
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光栅，棱镜和反射镜单元阵列由小矩形单元组成，将光偏转到目标平面上的特定位置。单元阵列具有以下光学特性： QswFISch
• 通过控制光栅，微棱镜或微反射镜的倾角和周期来将光偏转到目标面上. n%dh| j2u
• 光学分辨率取决于单元孔径的衍射. btf]~YN
• 产生任意的二维图案. LZPLz@=&]
• 用于单色光和白光. 5X`m.lhUc
 xqVIw!J?/}
由LightTrans.设计的光栅单元阵列的SEM成像
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