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2:/MN2
均匀化的概念 cB F%])! C(*@-N pf[ VirtualLab光学仿真和设计软件能够设计用于LED和准分子激光均匀化和整形的照明系统。可以通过微型光学元件来实现光束的均匀化和整形，例如： {ro!OuA • 微透镜阵列 t s\>_/ • 衍射扩散器 L?C~
qS2g • 计算机生成的全息图 AG\ 852`1m • 相位板 -&D6w9w • 单元阵列 St&H E:
~(L + 4] 红色LED照射衍射扩散器产生的天际线图案 SVWS O
光学仿真和设计包括: dB/I2uGl> • 衍射 @%G"i:HZ& • 干涉 H1qw1[%0y • 空间和时间相干度 `[:1!I.}- • 像差 JU \J
• 偏振 9l_?n@ • 光强 |A/_Qe|s2
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应用 xWb?i6)z&
LF.~rmPa 用于LED和准分子激光均匀化的微光学照明系统可以用在各个领域，包括： RW [<e • 信息显示 +Qb/:xQu • 测量系统 pz}hh^ ]t • 室内照明 f> [;|r@K • 汽车 ZLX`[ • 军事 xQ
3u • 光刻 mf[79:90^
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. 用于白光LED消色差整形的微透镜阵列的3D表面 uOqDJM'RM 优点Benefits j =% -b]
C\@Y H] 微光学元件的照明系统有以下几大优点： ,;pX.Ob U • 可实现LED 和准分子激光的均匀化和整形. QjN3j*@ • 产生任意的二维图案. "hY^[@7 W • 对光源辐射特性变化的低灵敏度. V="f)'S$ • 非常紧凑的照明系统. }(}vlL  ^l9
*h 包含一个光栅元胞阵列的照明系统 光线追迹模拟
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微透镜阵列，也叫做“蝇眼聚光器”可以被用在LED和准分子激光器均质化的各种光学装置中，微透镜阵列有以下光学特性： ']e4 !
• 光分布整形取决于透镜口径和透镜表面. bO%ck-om!
• 常被用来产生圆形、矩形和六角形光分布. Pm;*Jv%
• 可以产生一般的二维图案. bJ!f,a '/
• 单色光和白光的整形. <[l}^`IC^4
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六角形透镜阵列可以用来产生六角形光分布. 0MGK3o)
衍射扩散器 EoW zHa
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衍射扩散器，如相位板和计算机生成全息图，是经过计算机优化的表面轮廓散射元件，衍射扩散器有以下光学性质： &?sjeC_
• Diffuser在一目标平面上产生大量的重叠斑点（衍射级次）. HTpd~W/\
• 生成任意的二维图案. F4(U~n<
• 仅用于单色LED或准分子激光. ]=<@G.[=
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4个高度水平的衍射扩散器的表面轮廓 "fd=(&
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单元阵列 #N}}8RL
O' U,|A
光栅，棱镜和反射镜单元阵列由小矩形单元组成，将光偏转到目标平面上的特定位置。单元阵列具有以下光学特性： {j*+:Gj0V
• 通过控制光栅，微棱镜或微反射镜的倾角和周期来将光偏转到目标面上. vGp@YABM
• 光学分辨率取决于单元孔径的衍射. 58U[r )/
• 产生任意的二维图案. 8k'em/M ~
• 用于单色光和白光. }kef rT
 98nLj 9
由LightTrans.设计的光栅单元阵列的SEM成像 Q 5TyS8
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