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CD\k.
均匀化的概念 *5$$C&@o9 o#X|4bES VirtualLab光学仿真和设计软件能够设计用于LED和准分子激光均匀化和整形的照明系统。可以通过微型光学元件来实现光束的均匀化和整形，例如： 0*66m:C2 • 微透镜阵列 p)d0ZAs • 衍射扩散器 nwlo,[ • 计算机生成的全息图 hcEU kD • 相位板 *@J • 单元阵列 uf;^yQi
7xAzd#
c?= 红色LED照射衍射扩散器产生的天际线图案 #un#~s
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光学仿真和设计包括: ~Uw **PT3M • 衍射 A&#P=m j • 干涉 5gP#V
K • 空间和时间相干度 5}3Q}o# • 像差 eWvL(2`T x • 偏振 m2[q*k]AtS • 光强 d[+ xLa
>W,1s 应用 Ds|/\cI$%a
HFD5* Z~M 用于LED和准分子激光均匀化的微光学照明系统可以用在各个领域，包括： A~ugx~S0 • 信息显示 L1 "y5HJ • 测量系统 .d:sQ\k~= • 室内照明 OM!CP'u#{ • 汽车 S r)rKc • 军事 y0vo-)E]-] • 光刻 >#z*gCO 5,
wy5vn?T@ 用于白光LED消色差整形的微透镜阵列的3D表面 IS0RhtGy/ 优点Benefits / [YH
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T)Byws 微光学元件的照明系统有以下几大优点： 9.R )iA • 可实现LED 和准分子激光的均匀化和整形. tp2CMJc{L • 产生任意的二维图案. {l= ! • 对光源辐射特性变化的低灵敏度. WAlsh • 非常紧凑的照明系统. M$ L1!o1Xf  "=I
ioY 包含一个光栅元胞阵列的照明系统 光线追迹模拟
L*t n>AO
微透镜阵列，也叫做“蝇眼聚光器”可以被用在LED和准分子激光器均质化的各种光学装置中，微透镜阵列有以下光学特性： T_CYSS|fX
• 光分布整形取决于透镜口径和透镜表面. $F EG0&
• 常被用来产生圆形、矩形和六角形光分布. PdG:aGQ>
• 可以产生一般的二维图案. kQXtO )
• 单色光和白光的整形. Hw8`/'M=%5
 \;x+KD
六角形透镜阵列可以用来产生六角形光分布. hA)tad]
衍射扩散器 L_uliBn
gc@,lNmi
衍射扩散器，如相位板和计算机生成全息图，是经过计算机优化的表面轮廓散射元件，衍射扩散器有以下光学性质： Ie> )U)/$
• Diffuser在一目标平面上产生大量的重叠斑点（衍射级次）. .3k"1I
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• 生成任意的二维图案. kB d #=J
• 仅用于单色LED或准分子激光. j;eR9jI$T
 b@@`2O3"
4个高度水平的衍射扩散器的表面轮廓 5DKR1z:
单元阵列 CN0&uyu#4
UX=JWb_uGm
光栅，棱镜和反射镜单元阵列由小矩形单元组成，将光偏转到目标平面上的特定位置。单元阵列具有以下光学特性： \3w=')({
• 通过控制光栅，微棱镜或微反射镜的倾角和周期来将光偏转到目标面上. 4`uI)N(}*
• 光学分辨率取决于单元孔径的衍射. 5!,`LM9
• 产生任意的二维图案. ;bq_Y/"
• 用于单色光和白光. 5% C-eB
 n\ aG@X%oq
由LightTrans.设计的光栅单元阵列的SEM成像 {zhN>n_
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