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均匀化的概念 @:&+wq_>A^ |^Es6 .~ VirtualLab光学仿真和设计软件能够设计用于LED和准分子激光均匀化和整形的照明系统。可以通过微型光学元件来实现光束的均匀化和整形，例如： ?C:fP`j: • 微透镜阵列 w8
$Qh%J'< • 衍射扩散器 %SGO"*_ • 计算机生成的全息图 <.b$
gX • 相位板 ^wa9zs2s;/ • 单元阵列 [,^dM:E /
Lf#G?]@ 红色LED照射衍射扩散器产生的天际线图案 j6vZ{Fx;w
光学仿真和设计包括: (;&?B.<\: • 衍射 !yX<v%>_0 • 干涉 SN(=e#ljE • 空间和时间相干度 dSVu_*y • 像差 lM,zTNu-z • 偏振 iyYY)roB • 光强 V|\A?
8 >Z$/1Mh 应用 &8_;:
Jche 79B 用于LED和准分子激光均匀化的微光学照明系统可以用在各个领域，包括： rx> Tc#g • 信息显示 J'yN' 0 • 测量系统 ]7 kGHIJ| • 室内照明 $
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• 汽车 1bg@[YN!; • 军事 !rg0U<bO! • 光刻 |OZ>/l {
$|(|Qzi% 用于白光LED消色差整形的微透镜阵列的3D表面 9>3Ltnn0 优点Benefits
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xY0QGQc a 微光学元件的照明系统有以下几大优点： i ?>>
9f@F • 可实现LED 和准分子激光的均匀化和整形. yvWzc
uL# • 产生任意的二维图案. `B\KS*Gya# • 对光源辐射特性变化的低灵敏度. = 6<w'> • 非常紧凑的照明系统. I"so bZ`  xd fvme[ 包含一个光栅元胞阵列的照明系统 光线追迹模拟
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微透镜阵列，也叫做“蝇眼聚光器”可以被用在LED和准分子激光器均质化的各种光学装置中，微透镜阵列有以下光学特性： {O kik}Oh
• 光分布整形取决于透镜口径和透镜表面. NB5L{Gf6-
• 常被用来产生圆形、矩形和六角形光分布. u45h{i-e
• 可以产生一般的二维图案. 7 G[ GHc>
• 单色光和白光的整形. ZqbM%(=z(`
 {0 vbC/?]
六角形透镜阵列可以用来产生六角形光分布. h0 GdFWN
衍射扩散器 $^=jPk]+
"gN* J)!x
衍射扩散器，如相位板和计算机生成全息图，是经过计算机优化的表面轮廓散射元件，衍射扩散器有以下光学性质： y- <PsP-I
• Diffuser在一目标平面上产生大量的重叠斑点（衍射级次）. aI{@]hCo
• 生成任意的二维图案. ,}IER
• 仅用于单色LED或准分子激光. df4^C->:
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4个高度水平的衍射扩散器的表面轮廓 |<3Q+EB^
单元阵列 3]`qnSYBv
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光栅，棱镜和反射镜单元阵列由小矩形单元组成，将光偏转到目标平面上的特定位置。单元阵列具有以下光学特性： k[ffs}
• 通过控制光栅，微棱镜或微反射镜的倾角和周期来将光偏转到目标面上. t6bWSz0
• 光学分辨率取决于单元孔径的衍射. c+b:K
• 产生任意的二维图案. )/WA)fWkT
• 用于单色光和白光. ccN &h
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由LightTrans.设计的光栅单元阵列的SEM成像 F*4Qa
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