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均匀化的概念 [W[{
4 Xu rd <m:r VirtualLab光学仿真和设计软件能够设计用于LED和准分子激光均匀化和整形的照明系统。可以通过微型光学元件来实现光束的均匀化和整形，例如： (vXr2Z<l • 微透镜阵列 uvys>]+ • 衍射扩散器 s%[ F,hQRk • 计算机生成的全息图 %6K7uvTq • 相位板 ,'L>:pF3 • 单元阵列 ?K1B^M=8
2y [Q 红色LED照射衍射扩散器产生的天际线图案 6BE,L
光学仿真和设计包括:
)p& g!qA • 衍射 '
jciX]g • 干涉 E)b$;' • 空间和时间相干度 d^=BXC oC • 像差 >P6"-x,[" • 偏振 ]8G 'R-8} • 光强 C6+ 5G-Z
P^ Hgm 应用 Q *M# e
Mf5j'n 用于LED和准分子激光均匀化的微光学照明系统可以用在各个领域，包括： 1"
'3/MFQ8 • 信息显示 VQ = • 测量系统 5Cf !NNV • 室内照明 sz7*x{E • 汽车 mh+T!v$[n) • 军事 aq,1'~8 XR • 光刻 @N'n>8 Wn
_[:6.oNjIe 用于白光LED消色差整形的微透镜阵列的3D表面 u=`H n-( 优点Benefits X$};K \I
5"%.8P 微光学元件的照明系统有以下几大优点： d3%qYL_+a • 可实现LED 和准分子激光的均匀化和整形. %-hSa~20 • 产生任意的二维图案. {X, %GI • 对光源辐射特性变化的低灵敏度. !Vpi1N\ • 非常紧凑的照明系统. ]:%DDlRb  v>X!/if<y 包含一个光栅元胞阵列的照明系统 光线追迹模拟
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微透镜阵列，也叫做“蝇眼聚光器”可以被用在LED和准分子激光器均质化的各种光学装置中，微透镜阵列有以下光学特性： F`=p/IAJK
• 光分布整形取决于透镜口径和透镜表面. FvT&nb{
• 常被用来产生圆形、矩形和六角形光分布. G?4@[m
• 可以产生一般的二维图案. jaS<*_~#R
• 单色光和白光的整形. ]2zM ~
 A;cA|`b
六角形透镜阵列可以用来产生六角形光分布. }G4I9Py
衍射扩散器 aIgexi,
}i9:k kfq2
衍射扩散器，如相位板和计算机生成全息图，是经过计算机优化的表面轮廓散射元件，衍射扩散器有以下光学性质： UiU/p
• Diffuser在一目标平面上产生大量的重叠斑点（衍射级次）. >N&{DJmD
• 生成任意的二维图案. q@.>eB'92P
• 仅用于单色LED或准分子激光. >Eh U{@Y
 s,R:D).
4个高度水平的衍射扩散器的表面轮廓 u%-]-:c
单元阵列 hs6pp/h>
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光栅，棱镜和反射镜单元阵列由小矩形单元组成，将光偏转到目标平面上的特定位置。单元阵列具有以下光学特性： U~
X
• 通过控制光栅，微棱镜或微反射镜的倾角和周期来将光偏转到目标面上. 2gWR2 H@
• 光学分辨率取决于单元孔径的衍射. t{;2$z 0
• 产生任意的二维图案. 9.)z]Gav
• 用于单色光和白光. &%J{uRp
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由LightTrans.设计的光栅单元阵列的SEM成像 T;M
;c. U
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