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V C2 4sU
均匀化的概念 g!?:Ye`5 ]yx$( 6_U VirtualLab光学仿真和设计软件能够设计用于LED和准分子激光均匀化和整形的照明系统。可以通过微型光学元件来实现光束的均匀化和整形，例如： r^3a cXl
• 微透镜阵列 $RIecv<e_ • 衍射扩散器 !Wy6/F@ Z • 计算机生成的全息图 z$/_I0[ • 相位板 R`DKu= • 单元阵列 HkUWehVm
MGR!Z@ 1y 红色LED照射衍射扩散器产生的天际线图案 C)@y5. G;
光学仿真和设计包括: 6@{(;~r • 衍射 uW@oyZUj • 干涉 ES.fOdx • 空间和时间相干度 bm?sbE • 像差 (Pf+0,2 • 偏振 7=TF .TW)
• 光强 i|w81p^o
)Ch2E|C?=8 应用 LcB]Xdsa(
-0$55pa/@: 用于LED和准分子激光均匀化的微光学照明系统可以用在各个领域，包括： *W0y: 3dB3 • 信息显示 6K-_pg] • 测量系统 K9$ >Yxe| • 室内照明 P"y`A}Bx • 汽车 %C~1^9uq • 军事 +*ZO&yJQ^< • 光刻 Y;@>b{s
`\T]ej}zvI 用于白光LED消色差整形的微透镜阵列的3D表面 (@ <lRA
^ 优点Benefits 'IZI:V"
dJ 2Hr;L c 微光学元件的照明系统有以下几大优点： p^%YBY#,H • 可实现LED 和准分子激光的均匀化和整形. -xSA • 产生任意的二维图案. wRcAX%n& • 对光源辐射特性变化的低灵敏度. JJ}0gZ • 非常紧凑的照明系统. <>s`\ %  4zev^FR 包含一个光栅元胞阵列的照明系统 光线追迹模拟
L;Vo Jf
微透镜阵列，也叫做“蝇眼聚光器”可以被用在LED和准分子激光器均质化的各种光学装置中，微透镜阵列有以下光学特性： Q&wB $*u
• 光分布整形取决于透镜口径和透镜表面. ,0*&OXt
• 常被用来产生圆形、矩形和六角形光分布. x }\64
• 可以产生一般的二维图案. %W%9j#!aN
• 单色光和白光的整形. < tF9V Jq
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六角形透镜阵列可以用来产生六角形光分布. @R/07&lBR
衍射扩散器 0 fF(Z0R,
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衍射扩散器，如相位板和计算机生成全息图，是经过计算机优化的表面轮廓散射元件，衍射扩散器有以下光学性质： n[ T[DCQ,
• Diffuser在一目标平面上产生大量的重叠斑点（衍射级次）. <3xyjX' NE
• 生成任意的二维图案. =|M >l
• 仅用于单色LED或准分子激光. (qqOjz
 P3c R l']
4个高度水平的衍射扩散器的表面轮廓 //T>G_1
单元阵列 {["\.ZS|
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D-3'l&
光栅，棱镜和反射镜单元阵列由小矩形单元组成，将光偏转到目标平面上的特定位置。单元阵列具有以下光学特性： [5zx17'
• 通过控制光栅，微棱镜或微反射镜的倾角和周期来将光偏转到目标面上. o.w\l\
• 光学分辨率取决于单元孔径的衍射. ^B(V4-|
• 产生任意的二维图案. YP .5fq:
• 用于单色光和白光. ?o oe'V@
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由LightTrans.设计的光栅单元阵列的SEM成像 xC*6vH]?
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