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均匀化的概念 X CB?ll*^ ?9j {V7h VirtualLab光学仿真和设计软件能够设计用于LED和准分子激光均匀化和整形的照明系统。可以通过微型光学元件来实现光束的均匀化和整形，例如： ofc.zwH • 微透镜阵列 ske@uzAz • 衍射扩散器 g]mtFrP • 计算机生成的全息图 B,$l4m4 • 相位板 Rz%e>) • 单元阵列 .W\ve >;
$* MCU nl 红色LED照射衍射扩散器产生的天际线图案 4YG/` P
光学仿真和设计包括: 8$P>wCK\l • 衍射 wWW~_zP0 • 干涉 9 G?ldp8 • 空间和时间相干度 `cP <}^] • 像差 e]+OO
g& • 偏振 L6:h.1 U$ • 光强 <T,A&`/
?4t-caK^u 应用 `qpc*en f0
";3*?/uM 用于LED和准分子激光均匀化的微光学照明系统可以用在各个领域，包括： BWPP5X9 • 信息显示 Hy; Hs # • 测量系统 /4S;QEv • 室内照明 ^z1IN-Tm/ • 汽车 3 &&+Y X • 军事 ucYkxi`x • 光刻 f*((;*n ;
6 / g%\ka 用于白光LED消色差整形的微透镜阵列的3D表面 g1m-+a 优点Benefits B l.u=I:Y4
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tDx 微光学元件的照明系统有以下几大优点： ^i%A7pg • 可实现LED 和准分子激光的均匀化和整形. AMlV%U# • 产生任意的二维图案. Ng<1Sd|MV • 对光源辐射特性变化的低灵敏度. [5ethM
• 非常紧凑的照明系统. X33v:9=  S0w> hr 包含一个光栅元胞阵列的照明系统 光线追迹模拟
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微透镜阵列，也叫做“蝇眼聚光器”可以被用在LED和准分子激光器均质化的各种光学装置中，微透镜阵列有以下光学特性： tiQ;#p7%
• 光分布整形取决于透镜口径和透镜表面. *$,+ `+
• 常被用来产生圆形、矩形和六角形光分布. nnCug
• 可以产生一般的二维图案. v#w _eqg
• 单色光和白光的整形. Rq)BssdF
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六角形透镜阵列可以用来产生六角形光分布. s3t!<9[m
衍射扩散器 Ueyw;Y
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衍射扩散器，如相位板和计算机生成全息图，是经过计算机优化的表面轮廓散射元件，衍射扩散器有以下光学性质： iLq#\8t^
• Diffuser在一目标平面上产生大量的重叠斑点（衍射级次）. *K!++k!Ixa
• 生成任意的二维图案. /)#8)"`nT
• 仅用于单色LED或准分子激光. D&{
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4个高度水平的衍射扩散器的表面轮廓 L'kq>1QWf
单元阵列 KsdG(.I+ek
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光栅，棱镜和反射镜单元阵列由小矩形单元组成，将光偏转到目标平面上的特定位置。单元阵列具有以下光学特性： bkQ3c-C<
• 通过控制光栅，微棱镜或微反射镜的倾角和周期来将光偏转到目标面上. B4W\
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• 光学分辨率取决于单元孔径的衍射. (Pi-uL<[a
• 产生任意的二维图案. av' *u
• 用于单色光和白光. 2_pz 3<,\
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由LightTrans.设计的光栅单元阵列的SEM成像 Ti= 3y497S
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