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GP?M!C,/}k
均匀化的概念 lku[dQdk C8 Q a$._ VirtualLab光学仿真和设计软件能够设计用于LED和准分子激光均匀化和整形的照明系统。可以通过微型光学元件来实现光束的均匀化和整形，例如： / aZ+T5O • 微透镜阵列 zg Nc4B • 衍射扩散器 =5/9%P8j9 • 计算机生成的全息图 {^CY..3
A • 相位板 lij.N) E • 单元阵列 !F A]
YQHw1 红色LED照射衍射扩散器产生的天际线图案 Ta(Y:*Ri
光学仿真和设计包括: jL%x7?*U0 • 衍射 o0i fp=V
y • 干涉 N G " C& v • 空间和时间相干度 rH_\ d?b • 像差 \;qW 3~ • 偏振 kYG/@7f/ • 光强 +
+M$#Er&
Y G@t5j#b 应用 5*l T.
3Z5D)zuc 用于LED和准分子激光均匀化的微光学照明系统可以用在各个领域，包括： i V'k}rXC • 信息显示 VH9dleZ • 测量系统 xTj|dza • 室内照明 i~I%D%; • 汽车 $ M`hh{ - • 军事 [@J/eWB • 光刻 (.D~0a JU
pR(jglm7- 用于白光LED消色差整形的微透镜阵列的3D表面 '*5 i)^ 优点Benefits -I8=T]_D
_ P0T)-X\( 微光学元件的照明系统有以下几大优点： dIN$)?aB0 • 可实现LED 和准分子激光的均匀化和整形. r_
I5. gK • 产生任意的二维图案. ?9e_gV{&; • 对光源辐射特性变化的低灵敏度. 't:; irLW. • 非常紧凑的照明系统. 1oR7iD^  U#lCj0iUt, 包含一个光栅元胞阵列的照明系统 光线追迹模拟
cpL7 !>^=
微透镜阵列，也叫做“蝇眼聚光器”可以被用在LED和准分子激光器均质化的各种光学装置中，微透镜阵列有以下光学特性： _K]_
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• 光分布整形取决于透镜口径和透镜表面. uatm/o^~,
• 常被用来产生圆形、矩形和六角形光分布. (SpX w,:
• 可以产生一般的二维图案. %|auAq&w
• 单色光和白光的整形. z[b@ V
 Y~c|hf L
六角形透镜阵列可以用来产生六角形光分布. e>6y% v;
衍射扩散器 $ `ov4W
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衍射扩散器，如相位板和计算机生成全息图，是经过计算机优化的表面轮廓散射元件，衍射扩散器有以下光学性质： .B7,j %1r
• Diffuser在一目标平面上产生大量的重叠斑点（衍射级次）. :flx6,7D
• 生成任意的二维图案. {m4b(t`xw
• 仅用于单色LED或准分子激光. s^Y"' ` +
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4个高度水平的衍射扩散器的表面轮廓 ,]|#[ 8
单元阵列 Vc 1\i
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光栅，棱镜和反射镜单元阵列由小矩形单元组成，将光偏转到目标平面上的特定位置。单元阵列具有以下光学特性： T -.%
• 通过控制光栅，微棱镜或微反射镜的倾角和周期来将光偏转到目标面上. #eoome2Q
• 光学分辨率取决于单元孔径的衍射. Bo)3!wO8
• 产生任意的二维图案. 2^r <{0@n
• 用于单色光和白光. `g(Y*uCp
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由LightTrans.设计的光栅单元阵列的SEM成像 3x`|
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