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P| ?nx"c
均匀化的概念 XPq`; <G 2uY:p=DxG9 VirtualLab光学仿真和设计软件能够设计用于LED和准分子激光均匀化和整形的照明系统。可以通过微型光学元件来实现光束的均匀化和整形，例如： Yz0HB EA • 微透镜阵列 !IC
.0I` • 衍射扩散器 JUDZ_cGr • 计算机生成的全息图 X 2| Z! • 相位板 uQW[2f • 单元阵列 ^tm2Duv
d/*EuJYin< 红色LED照射衍射扩散器产生的天际线图案 >2}*L"YC
光学仿真和设计包括: r
z@%rOWV • 衍射 GpO@1 C/ • 干涉 wV$V X • 空间和时间相干度 _uJ6Vy • 像差 Gb Mu;CA • 偏振 W0U|XX!& • 光强 em^2\*sxpA
Ssa /;O2 应用 $1)NYsSH/H
uF|[MWcy0# 用于LED和准分子激光均匀化的微光学照明系统可以用在各个领域，包括： 1ATH$x • 信息显示 e*Nm[*@UW • 测量系统 q4"^G: • 室内照明 (lYC2i_b# • 汽车 sZqi)lo-s • 军事 A"+t[0$. • 光刻 G8^b9xoA+.
:t+Lu H g 用于白光LED消色差整形的微透镜阵列的3D表面 >i61+uzEd+ 优点Benefits Ai)Q(]
x 5U; i 微光学元件的照明系统有以下几大优点： .&^M
Z8 • 可实现LED 和准分子激光的均匀化和整形. p< @+0Uw2 • 产生任意的二维图案. Dn~t _ n • 对光源辐射特性变化的低灵敏度. T[0CD'|E • 非常紧凑的照明系统. J(XK%e[8  }zeKf/?' 包含一个光栅元胞阵列的照明系统 光线追迹模拟
i~HS"n
微透镜阵列，也叫做“蝇眼聚光器”可以被用在LED和准分子激光器均质化的各种光学装置中，微透镜阵列有以下光学特性： \jkDRR[
• 光分布整形取决于透镜口径和透镜表面. c1f`?i} .
• 常被用来产生圆形、矩形和六角形光分布. <sGioMr
• 可以产生一般的二维图案. &j{I G`Trl
• 单色光和白光的整形. ! $o9:[B
 ,Qe`(vU*s
六角形透镜阵列可以用来产生六角形光分布. Z >@\!$Mc
衍射扩散器 1BzU-Ma
*(*XNd||
衍射扩散器，如相位板和计算机生成全息图，是经过计算机优化的表面轮廓散射元件，衍射扩散器有以下光学性质： bV@5B#] 2R
• Diffuser在一目标平面上产生大量的重叠斑点（衍射级次）. i2Gh!5]f
• 生成任意的二维图案. hM(Hq4ed,
• 仅用于单色LED或准分子激光. O} lqY?0*
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4个高度水平的衍射扩散器的表面轮廓 N9 f; X{
单元阵列 rIH+X2 x
I)G.tJZ
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光栅，棱镜和反射镜单元阵列由小矩形单元组成，将光偏转到目标平面上的特定位置。单元阵列具有以下光学特性： G&0JK ,Y
• 通过控制光栅，微棱镜或微反射镜的倾角和周期来将光偏转到目标面上. hA"z0Fszh
• 光学分辨率取决于单元孔径的衍射. KR4 RIJZ_t
• 产生任意的二维图案. (W`=`] !
• 用于单色光和白光. D4GXZX8 K
 lCK:5$
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由LightTrans.设计的光栅单元阵列的SEM成像 A )^A2xZQ
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