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均匀化的概念 JvUHoc$sI 7f=9(Z j VirtualLab光学仿真和设计软件能够设计用于LED和准分子激光均匀化和整形的照明系统。可以通过微型光学元件来实现光束的均匀化和整形，例如： .>zkS*oX4z • 微透镜阵列 A[d'*n[ • 衍射扩散器 hG'2(Y! • 计算机生成的全息图 yC =vTzzp • 相位板 kLY9#p=X • 单元阵列 = &aD!nTx
Y@%6*uTLa 红色LED照射衍射扩散器产生的天际线图案 NOmSLIgt7
光学仿真和设计包括: ,v1-y
?kB • 衍射 dR /UXzrc • 干涉 .yj=*N. • 空间和时间相干度 o9HDxS$~^ • 像差 [dL?N • 偏振
aEZn6k1 • 光强 e;}5~dSi
d0Kg,HB 应用 zT+yZA.L
c l 7+DAE 用于LED和准分子激光均匀化的微光学照明系统可以用在各个领域，包括： 1J *wW# e • 信息显示 !r!Mq~X<= • 测量系统 &(^>}&XS.< • 室内照明 XWy
iS\ • 汽车 _5YL !v& • 军事 <db/. A3 • 光刻 nt[0krG
;%z0iZmg 用于白光LED消色差整形的微透镜阵列的3D表面 izW l5}+'B 优点Benefits "RX?"pB
UZX)1?U 微光学元件的照明系统有以下几大优点： Tx_(^K • 可实现LED 和准分子激光的均匀化和整形. /7"1\s0 U • 产生任意的二维图案. ti#sh{t • 对光源辐射特性变化的低灵敏度. @ Q1jH~t • 非常紧凑的照明系统. &s;%(c04A  YXg
uw7%\ 包含一个光栅元胞阵列的照明系统 光线追迹模拟
I~qiF%?d
微透镜阵列，也叫做“蝇眼聚光器”可以被用在LED和准分子激光器均质化的各种光学装置中，微透镜阵列有以下光学特性： cnPX vD^kY
• 光分布整形取决于透镜口径和透镜表面. !^fJAtCN]
• 常被用来产生圆形、矩形和六角形光分布. M>J ADt_]
• 可以产生一般的二维图案. KE3
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• 单色光和白光的整形. ;Gs**BB&
J3.Q8f
六角形透镜阵列可以用来产生六角形光分布. 4vQHr!$Ep
衍射扩散器 pNJM]-D]m~
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衍射扩散器，如相位板和计算机生成全息图，是经过计算机优化的表面轮廓散射元件，衍射扩散器有以下光学性质： 8W[]#~77b
• Diffuser在一目标平面上产生大量的重叠斑点（衍射级次）. l >(G3l Iw
• 生成任意的二维图案. "qm> z@K
• 仅用于单色LED或准分子激光. !Cy2>6v7
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4个高度水平的衍射扩散器的表面轮廓 FVmg &[
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单元阵列 `k| nf9_
9|WWA %p
光栅，棱镜和反射镜单元阵列由小矩形单元组成，将光偏转到目标平面上的特定位置。单元阵列具有以下光学特性： S+y2eP G
• 通过控制光栅，微棱镜或微反射镜的倾角和周期来将光偏转到目标面上. uRy6~'
• 光学分辨率取决于单元孔径的衍射. y&Hh8|'mC
• 产生任意的二维图案. /a|NGh%
• 用于单色光和白光. c6m,oS^
 .Ks vRx
由LightTrans.设计的光栅单元阵列的SEM成像 KRZV9AJ
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