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均匀化的概念 v %?y5w >Xz=E0;^Ua VirtualLab光学仿真和设计软件能够设计用于LED和准分子激光均匀化和整形的照明系统。可以通过微型光学元件来实现光束的均匀化和整形，例如： 3K{XT) , • 微透镜阵列 | aAu 4 • 衍射扩散器 0wFa7PyG? • 计算机生成的全息图 >Q(+H-w • 相位板 ?(C(9v O • 单元阵列 `/|S.a#g
|AosZeO_ 红色LED照射衍射扩散器产生的天际线图案 Z`_ `^ \"
光学仿真和设计包括: l7{]jKJu e • 衍射 w@K4u{| • 干涉 4[\$3t.L • 空间和时间相干度 5,Q3#f~! • 像差 *
': LBc=% • 偏振 y#Cp Vm#!> • 光强 K BUClx?
t>f61<27eB 应用 A$6T)
{"^LUw8fd 用于LED和准分子激光均匀化的微光学照明系统可以用在各个领域，包括： ,5Vc
• 信息显示 [Ej#NHs • 测量系统 m7dpr$J • 室内照明 $`KddW0_ • 汽车 "-y 2E n • 军事 !b !C+ \v • 光刻 4yZ'+\ +I
5g x9W\a ? 用于白光LED消色差整形的微透镜阵列的3D表面 L9lN AiOH 优点Benefits rL kU I G
8vk*", 微光学元件的照明系统有以下几大优点： 9 +z5 $ • 可实现LED 和准分子激光的均匀化和整形. >DFpL$oP • 产生任意的二维图案. zC@ ziH>{] • 对光源辐射特性变化的低灵敏度. 'zRi ;:UHA • 非常紧凑的照明系统. o {W4@:Ib  ] "ZL<?3g 包含一个光栅元胞阵列的照明系统 光线追迹模拟
@&I7z ,
微透镜阵列，也叫做“蝇眼聚光器”可以被用在LED和准分子激光器均质化的各种光学装置中，微透镜阵列有以下光学特性： *Ce8(
"v,
• 光分布整形取决于透镜口径和透镜表面. xJ-(]cO'
• 常被用来产生圆形、矩形和六角形光分布. sIVVF#0}]
• 可以产生一般的二维图案. cWNZ +Q8Y
• 单色光和白光的整形. ;)6L X-
 # NoY}*
六角形透镜阵列可以用来产生六角形光分布. 3`Ug]<m
衍射扩散器 qD/GYqv m
Q3@MRR^tY
衍射扩散器，如相位板和计算机生成全息图，是经过计算机优化的表面轮廓散射元件，衍射扩散器有以下光学性质： I.4o9Z[?
• Diffuser在一目标平面上产生大量的重叠斑点（衍射级次）. iY|zv|;]=
• 生成任意的二维图案. LTn@OhC
• 仅用于单色LED或准分子激光. (0wQ [(
 A^m]DSF OO
4个高度水平的衍射扩散器的表面轮廓 z<3{.e\e
单元阵列 v+), uj
%OV)O -
光栅，棱镜和反射镜单元阵列由小矩形单元组成，将光偏转到目标平面上的特定位置。单元阵列具有以下光学特性： mJ'Q9x"
• 通过控制光栅，微棱镜或微反射镜的倾角和周期来将光偏转到目标面上. P' ";L6h
• 光学分辨率取决于单元孔径的衍射. 1X ?9Ji)h
• 产生任意的二维图案. m
L#%H(
• 用于单色光和白光. tRUGgf`
 GlVb |O"
由LightTrans.设计的光栅单元阵列的SEM成像 &N +,{7.
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