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R2M,VK?Wx
均匀化的概念 z.[L1AGa|s |5g*pX u{ VirtualLab光学仿真和设计软件能够设计用于LED和准分子激光均匀化和整形的照明系统。可以通过微型光学元件来实现光束的均匀化和整形，例如： 9>zN 27 • 微透镜阵列 n>iPA D • 衍射扩散器 i|=}zR • 计算机生成的全息图 ~ |!q>z • 相位板 F3 wRHq • 单元阵列 8N|*n"`}
BNzL+"W 红色LED照射衍射扩散器产生的天际线图案 {d )Et;_
光学仿真和设计包括: mM}|x~\R • 衍射 9 Z#37) • 干涉 !3T x\a`?/ • 空间和时间相干度 2%WZ-l!i • 像差 P.[>x • 偏振 7<N X;Fx • 光强 oWJ}]ip
;tKL/eI 应用 _X@:- _
`knw1,qL" 用于LED和准分子激光均匀化的微光学照明系统可以用在各个领域，包括： Mzb_ o2^( • 信息显示 sIELkF?. • 测量系统 kXG+zs T • 室内照明 i%\nJs* • 汽车 4+ 4? 0R • 军事 Xi0/Wb h\ • 光刻 [N$@nA-d
,lN!XP{M6w 用于白光LED消色差整形的微透镜阵列的3D表面 BkO "{ 优点Benefits gW*ee
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Ssv^W+ 微光学元件的照明系统有以下几大优点： %X . Q\T • 可实现LED 和准分子激光的均匀化和整形. sI^1c$sBN • 产生任意的二维图案. s&fU|Jk8 • 对光源辐射特性变化的低灵敏度. qi/%&)GZ • 非常紧凑的照明系统. yp :yS  4CN8>J'- 包含一个光栅元胞阵列的照明系统 光线追迹模拟
Q"Bgr&RJ
微透镜阵列，也叫做“蝇眼聚光器”可以被用在LED和准分子激光器均质化的各种光学装置中，微透镜阵列有以下光学特性： 3K#e]zoI
• 光分布整形取决于透镜口径和透镜表面. 1,pg:=N 9
• 常被用来产生圆形、矩形和六角形光分布. uAJ _`o[
• 可以产生一般的二维图案. Um9=<*p
• 单色光和白光的整形. |E?%Cj^W
 bz>#}P=58G
六角形透镜阵列可以用来产生六角形光分布. !p9BH6$`
衍射扩散器 #}jf TM
>U) ,^H(
衍射扩散器，如相位板和计算机生成全息图，是经过计算机优化的表面轮廓散射元件，衍射扩散器有以下光学性质：
=,?@p{g}
• Diffuser在一目标平面上产生大量的重叠斑点（衍射级次）. "#m*`n
• 生成任意的二维图案. 6=H-H\iw
• 仅用于单色LED或准分子激光. _wX'u,HrC
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4个高度水平的衍射扩散器的表面轮廓 MM5#B!BB
单元阵列 g js-j{*
>>!+Ri\@
光栅，棱镜和反射镜单元阵列由小矩形单元组成，将光偏转到目标平面上的特定位置。单元阵列具有以下光学特性： mybDK'EW
• 通过控制光栅，微棱镜或微反射镜的倾角和周期来将光偏转到目标面上. ;eA~z"g
• 光学分辨率取决于单元孔径的衍射. %%DK?{jo`
• 产生任意的二维图案. ~S=hxKI
• 用于单色光和白光. &V2G <gm0
 6zNN 8
由LightTrans.设计的光栅单元阵列的SEM成像 h?CNChRJs
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