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均匀化的概念 ! !KA9mP 4fR}+[~2 VirtualLab光学仿真和设计软件能够设计用于LED和准分子激光均匀化和整形的照明系统。可以通过微型光学元件来实现光束的均匀化和整形，例如： `#g62wb,HY • 微透镜阵列 q7#4e?1 • 衍射扩散器 Ka4KsJN • 计算机生成的全息图 u)X] ]6YJ • 相位板 Fy6(N{hql • 单元阵列 . 5_zh;
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4` X]$. 红色LED照射衍射扩散器产生的天际线图案 l.>3gjr
光学仿真和设计包括: v.Vd js • 衍射 ffH]`N • 干涉 ]cmq • 空间和时间相干度 ;L`N F" • 像差 f*%Y]XL; % • 偏振 &eA!h • 光强 )(/Bw&$
l b9O 应用 #qnK nxD
,%^qzoZnT 用于LED和准分子激光均匀化的微光学照明系统可以用在各个领域，包括： /z)H7s+ • 信息显示 >LAhc 7I • 测量系统 = JW.1 ;
• 室内照明 .wpp)M.w;H • 汽车 6C pn::WW} • 军事 R9q9cB i3 • 光刻 Dug{)h_2
NScUlR"nE 用于白光LED消色差整形的微透镜阵列的3D表面 Z@ dS,M* 优点Benefits 1m{c8Z.h/d
:OKU@l | 微光学元件的照明系统有以下几大优点： }i F|NI V • 可实现LED 和准分子激光的均匀化和整形. BD_"w]bqD • 产生任意的二维图案. $/)0iL{0 • 对光源辐射特性变化的低灵敏度. XS_Ib\-50 • 非常紧凑的照明系统. (>,}C/-UG  Qd"R@+i 包含一个光栅元胞阵列的照明系统 光线追迹模拟
)e?6 Ncy
微透镜阵列，也叫做“蝇眼聚光器”可以被用在LED和准分子激光器均质化的各种光学装置中，微透镜阵列有以下光学特性： V9\y*6#Y,
• 光分布整形取决于透镜口径和透镜表面. C"cBlru8B
• 常被用来产生圆形、矩形和六角形光分布. na`8ulN_
• 可以产生一般的二维图案. |h 3`z
• 单色光和白光的整形. ;\],R.!
 lxh}N,
六角形透镜阵列可以用来产生六角形光分布. .t9*wz
衍射扩散器 /4Sul*{hc
rx\f:-3g
衍射扩散器，如相位板和计算机生成全息图，是经过计算机优化的表面轮廓散射元件，衍射扩散器有以下光学性质： %7SGQE#W_~
• Diffuser在一目标平面上产生大量的重叠斑点（衍射级次）. 1
F+$\fLr
• 生成任意的二维图案. d-ML[^G
• 仅用于单色LED或准分子激光. aSM S uX8
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4个高度水平的衍射扩散器的表面轮廓 oFDJwOJ'Bj
单元阵列
B@K =^77
JfVGs;_,
光栅，棱镜和反射镜单元阵列由小矩形单元组成，将光偏转到目标平面上的特定位置。单元阵列具有以下光学特性： _OY<Hb3%M
• 通过控制光栅，微棱镜或微反射镜的倾角和周期来将光偏转到目标面上. Aw,#oG {N
• 光学分辨率取决于单元孔径的衍射. dMDSyd <(
• 产生任意的二维图案. Rap =&
• 用于单色光和白光. E>L_$J -A-
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由LightTrans.设计的光栅单元阵列的SEM成像 g7`uWAxZa
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