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均匀化的概念 ^
c pQ*Fz Dg3S n|!f VirtualLab光学仿真和设计软件能够设计用于LED和准分子激光均匀化和整形的照明系统。可以通过微型光学元件来实现光束的均匀化和整形，例如： MkgeECMf • 微透镜阵列 d
4w+5H" u • 衍射扩散器 >Eg/ir0 • 计算机生成的全息图 *@/1] W • 相位板 :tU&d(8 • 单元阵列 gw' u Y$
B64L>7\>` 红色LED照射衍射扩散器产生的天际线图案 .l5y+a'
光学仿真和设计包括: rDFD rviW_ • 衍射 G x /sJ( • 干涉 Z^ynw8k" • 空间和时间相干度 Y ' 7f"W • 像差 T n.Cj5 • 偏振 !iUFD*~r~ • 光强 {R<0 'JU
G u[G_^> 应用 ,l/~epx4v)
8 g0By;h; 用于LED和准分子激光均匀化的微光学照明系统可以用在各个领域，包括： )7!q>^S{ B • 信息显示 lZ]x #v • 测量系统 P`r@<c gb= • 室内照明 r+%:rFeX • 汽车 SNqw 2f5 • 军事 K;kaWV • 光刻 mU0j K@^&M
&/QdG= r + 用于白光LED消色差整形的微透镜阵列的3D表面 WqQAt{W/< 优点Benefits 6[3oOO:uo
.m%/JquMFM 微光学元件的照明系统有以下几大优点： (Z(O7X(/ • 可实现LED 和准分子激光的均匀化和整形. r:pS[f|4\ • 产生任意的二维图案. XG_h\NIL • 对光源辐射特性变化的低灵敏度. fLkZ'~e! • 非常紧凑的照明系统. ;Z>u]uK4+  /zxLnT;
5 包含一个光栅元胞阵列的照明系统 光线追迹模拟
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微透镜阵列，也叫做“蝇眼聚光器”可以被用在LED和准分子激光器均质化的各种光学装置中，微透镜阵列有以下光学特性： Su" 9`
• 光分布整形取决于透镜口径和透镜表面. ZqT8G
• 常被用来产生圆形、矩形和六角形光分布. jw63sn
• 可以产生一般的二维图案. V9aGo#
• 单色光和白光的整形. ;Q *=AW
 Cka&b
六角形透镜阵列可以用来产生六角形光分布. lO^Ly27
衍射扩散器 'Mp8!9=&
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衍射扩散器，如相位板和计算机生成全息图，是经过计算机优化的表面轮廓散射元件，衍射扩散器有以下光学性质： JF{yhx,+ p
• Diffuser在一目标平面上产生大量的重叠斑点（衍射级次）. 2 I:x)
• 生成任意的二维图案. Pn?Uj j v
• 仅用于单色LED或准分子激光. R"@J*\;$T
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4个高度水平的衍射扩散器的表面轮廓 > 4I,9TO
单元阵列 aqL# g18
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光栅，棱镜和反射镜单元阵列由小矩形单元组成，将光偏转到目标平面上的特定位置。单元阵列具有以下光学特性： hG1 \
• 通过控制光栅，微棱镜或微反射镜的倾角和周期来将光偏转到目标面上. GM]" $
• 光学分辨率取决于单元孔径的衍射. ^eF%4DUC;
• 产生任意的二维图案. {WokH;a/
• 用于单色光和白光. PS CzeR
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由LightTrans.设计的光栅单元阵列的SEM成像 etnq{tE5
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