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均匀化的概念 ng/h6
S 5Xr})% L VirtualLab光学仿真和设计软件能够设计用于LED和准分子激光均匀化和整形的照明系统。可以通过微型光学元件来实现光束的均匀化和整形，例如： __eB 7]#E • 微透镜阵列 +c /!R|h=S • 衍射扩散器 $e+4Kt
, • 计算机生成的全息图 Vz0 (D • 相位板 p0W < K • 单元阵列 yf&_l^!
*` mxv0w~( 红色LED照射衍射扩散器产生的天际线图案 PESvx>:
光学仿真和设计包括: Z-lhJ<0/Pa • 衍射 Gx$m"Jeq\ • 干涉 .tKBmq0xo" • 空间和时间相干度 =CO Qv= GT • 像差 C7F\Y1Wj • 偏振 mn03KF=n] • 光强 ,Z
@I" &H
E{[Y8U1n 应用
{J)%6eL?
JkN*hm? 用于LED和准分子激光均匀化的微光学照明系统可以用在各个领域，包括： <.Z h{"$qo • 信息显示 7 q!==P= • 测量系统 C-A?
mIC • 室内照明 8x- 19# • 汽车 /:] <z6R • 军事 y0Gblza • 光刻 2H w 7V 3q
842v^ 2 用于白光LED消色差整形的微透镜阵列的3D表面 !U:&8 Le 优点Benefits Ms +ekY)
#/ePpSyD 微光学元件的照明系统有以下几大优点： OD7^*j(p` • 可实现LED 和准分子激光的均匀化和整形. q)9n%- YgP • 产生任意的二维图案. 7[P- ;8)tq • 对光源辐射特性变化的低灵敏度. "Y^j=?1k • 非常紧凑的照明系统. LU;zpXg\  bvJ@H
Z$ 包含一个光栅元胞阵列的照明系统 光线追迹模拟
F?tWx+N<{
微透镜阵列，也叫做“蝇眼聚光器”可以被用在LED和准分子激光器均质化的各种光学装置中，微透镜阵列有以下光学特性： aV7VbC
• 光分布整形取决于透镜口径和透镜表面. } F0<8L6%
• 常被用来产生圆形、矩形和六角形光分布. ;o'r@4^&$R
• 可以产生一般的二维图案. ]VQd *~ -
• 单色光和白光的整形. =PY{Elf
 E9mu:T
六角形透镜阵列可以用来产生六角形光分布. ROn@tW
衍射扩散器 p?#T^{Quz~
C_>XtcU
衍射扩散器，如相位板和计算机生成全息图，是经过计算机优化的表面轮廓散射元件，衍射扩散器有以下光学性质： B-_b.4ND)
• Diffuser在一目标平面上产生大量的重叠斑点（衍射级次）. & xB*Shp,B
• 生成任意的二维图案. LI@BB:)[
• 仅用于单色LED或准分子激光. Wk7E&?-:6
 D'u7"^=
4个高度水平的衍射扩散器的表面轮廓 z/"*-+j
单元阵列 NA2={RB;
,ja!OZ0$
光栅，棱镜和反射镜单元阵列由小矩形单元组成，将光偏转到目标平面上的特定位置。单元阵列具有以下光学特性： B<L7`xL
• 通过控制光栅，微棱镜或微反射镜的倾角和周期来将光偏转到目标面上. k
L6s 49
• 光学分辨率取决于单元孔径的衍射. 2DPv7\fW
• 产生任意的二维图案. 'WhJ}Uo\
• 用于单色光和白光. d'Bxi"K
 >v, si].
由LightTrans.设计的光栅单元阵列的SEM成像 ?Xvy0/s5
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