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均匀化的概念 |U_4 8 HA{-XPAWZ VirtualLab光学仿真和设计软件能够设计用于LED和准分子激光均匀化和整形的照明系统。可以通过微型光学元件来实现光束的均匀化和整形，例如： 4*UoTE-g$ • 微透镜阵列 zS:89y< • 衍射扩散器 7p?6j)rj • 计算机生成的全息图 @"}dbW <DV • 相位板 J! 4l-.- • 单元阵列 f77uqv(Y
- (n[^48K 红色LED照射衍射扩散器产生的天际线图案 B;8YX>r
光学仿真和设计包括: JH~v e • 衍射 .P=uR 8 • 干涉 JlsR P • 空间和时间相干度 *JG?^G"l • 像差 S.+)">buH • 偏振 i3.8m => • 光强 r\Wp\LfY&{
N(?yOB4gt 应用 E<3hy
h^P>pI ~ 用于LED和准分子激光均匀化的微光学照明系统可以用在各个领域，包括： tUq* -9
V • 信息显示 Y2Mti- \ • 测量系统 r'hr 'wZ • 室内照明 n=RAE^[ M • 汽车 ]l F'o &v] • 军事 gKg2Ntx j • 光刻 k@5,6s:
DYH-5yX7 用于白光LED消色差整形的微透镜阵列的3D表面 f8 ! PeQ? 优点Benefits ,{c9Lv%@J
~?vm97l 微光学元件的照明系统有以下几大优点： v&(X& q • 可实现LED 和准分子激光的均匀化和整形. J+&AtGq]u • 产生任意的二维图案. J`O4]XRY • 对光源辐射特性变化的低灵敏度. h*h V • 非常紧凑的照明系统. l )z15e5X  jh ]wHG 包含一个光栅元胞阵列的照明系统 光线追迹模拟
? 9i7+Y"
微透镜阵列，也叫做“蝇眼聚光器”可以被用在LED和准分子激光器均质化的各种光学装置中，微透镜阵列有以下光学特性： 2 c'=^0:
• 光分布整形取决于透镜口径和透镜表面. u w+v]y
• 常被用来产生圆形、矩形和六角形光分布. n?pCMS|
• 可以产生一般的二维图案. }i/ &m&VU
• 单色光和白光的整形. 0+8ThZ?n
 Ts;W,pgP
六角形透镜阵列可以用来产生六角形光分布. 0|{U "\
衍射扩散器 mf@YmKbp
MPO!qSS ]
衍射扩散器，如相位板和计算机生成全息图，是经过计算机优化的表面轮廓散射元件，衍射扩散器有以下光学性质： i#1T68y}
• Diffuser在一目标平面上产生大量的重叠斑点（衍射级次）. 8N6a= [fv<
• 生成任意的二维图案. n<CJx+U
• 仅用于单色LED或准分子激光. 5vY h~|
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4个高度水平的衍射扩散器的表面轮廓 % @Ks<"9
单元阵列 .,,?[TI
+M@G 8l
光栅，棱镜和反射镜单元阵列由小矩形单元组成，将光偏转到目标平面上的特定位置。单元阵列具有以下光学特性： &tD`~
• 通过控制光栅，微棱镜或微反射镜的倾角和周期来将光偏转到目标面上. * @G4i
• 光学分辨率取决于单元孔径的衍射. `+B+RQl}[
• 产生任意的二维图案. {<~ XwJ.
• 用于单色光和白光. /^uvY
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由LightTrans.设计的光栅单元阵列的SEM成像 2>fG}qYy$
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