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均匀化的概念 sD ,FJ:dy "| W``&pM VirtualLab光学仿真和设计软件能够设计用于LED和准分子激光均匀化和整形的照明系统。可以通过微型光学元件来实现光束的均匀化和整形，例如： Q!v]njCIB7 • 微透镜阵列 (G`O[JF • 衍射扩散器 +U*:WKdI? • 计算机生成的全息图 j`ybz G^ • 相位板 |!.VpN& • 单元阵列 >'|Wrz67Z
n`2LGc[rP 红色LED照射衍射扩散器产生的天际线图案 rWD*DmY@"
光学仿真和设计包括: Y5$VW Ur B • 衍射 L(w ?.)E • 干涉 Onj)AJ9M0r • 空间和时间相干度 71!'k>]h • 像差 d2[R{eNX= • 偏振 + tvWp>T+ • 光强 u<K{=94!e
mZ}C)&,m2 应用 vD p|9VY?
/eNDv(g)M 用于LED和准分子激光均匀化的微光学照明系统可以用在各个领域，包括： "?#O *x • 信息显示 f~Q]"I8w • 测量系统 nZ8f}R!f: • 室内照明 QPJz~;V2 • 汽车 9>hK4&m^ • 军事 2r>I,TNHl • 光刻 $V2.@ X
.YxcXe3# 用于白光LED消色差整形的微透镜阵列的3D表面 Spt;m0W90 优点Benefits Y[Kpd[)[v
+N:=|u.g 微光学元件的照明系统有以下几大优点： wA?q/cw C • 可实现LED 和准分子激光的均匀化和整形. Z }s56{!. • 产生任意的二维图案. >}'WL($5U • 对光源辐射特性变化的低灵敏度. tB==v{t • 非常紧凑的照明系统. (YKkJ  Cso-WG, 包含一个光栅元胞阵列的照明系统 光线追迹模拟
VAet!H +]
微透镜阵列，也叫做“蝇眼聚光器”可以被用在LED和准分子激光器均质化的各种光学装置中，微透镜阵列有以下光学特性： e<1)KqG
• 光分布整形取决于透镜口径和透镜表面. bA8Ro C
• 常被用来产生圆形、矩形和六角形光分布. x I(Y}>
• 可以产生一般的二维图案. @'fWS^ ;&
• 单色光和白光的整形. rugR>&mea
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六角形透镜阵列可以用来产生六角形光分布. 8KyF0r?
衍射扩散器 ;/= 6~%
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衍射扩散器，如相位板和计算机生成全息图，是经过计算机优化的表面轮廓散射元件，衍射扩散器有以下光学性质： ]0@
06G(y
• Diffuser在一目标平面上产生大量的重叠斑点（衍射级次）. Bl!R
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• 生成任意的二维图案. * J|]E(
• 仅用于单色LED或准分子激光. %% A==_b
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4个高度水平的衍射扩散器的表面轮廓 Gn} ^BJN
单元阵列 6qH^&O][
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光栅，棱镜和反射镜单元阵列由小矩形单元组成，将光偏转到目标平面上的特定位置。单元阵列具有以下光学特性： I4\
c+f9
• 通过控制光栅，微棱镜或微反射镜的倾角和周期来将光偏转到目标面上. X w_6SR9C
• 光学分辨率取决于单元孔径的衍射. )h,-zAnZ
• 产生任意的二维图案. 85 <%L:EC
• 用于单色光和白光. unN=yeut
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由LightTrans.设计的光栅单元阵列的SEM成像 T
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