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均匀化的概念 @D~+D@i$TW w zqd
g VirtualLab光学仿真和设计软件能够设计用于LED和准分子激光均匀化和整形的照明系统。可以通过微型光学元件来实现光束的均匀化和整形，例如： BBR" HMa4 • 微透镜阵列 )R8%'X;U • 衍射扩散器 = Y /fF • 计算机生成的全息图 r<X 4ER • 相位板 "WbVCT'i • 单元阵列 Va@6=U7c
mvq7G 红色LED照射衍射扩散器产生的天际线图案 4[#6<Ixf
光学仿真和设计包括: =vr Y{5!> • 衍射 6UW:l|}4#2 • 干涉 9#&W!f*qO| • 空间和时间相干度 /X^3=-{8 • 像差 +an^e' • 偏振 %U5P} • 光强 J, 0pe\5
i&pJg 1 应用 wY3|#P
CDV
2:iYYRrg 用于LED和准分子激光均匀化的微光学照明系统可以用在各个领域，包括： _+\:OB[Y • 信息显示 ~llMr l7 • 测量系统 t1w2u . ] • 室内照明 xY2}Wr
j, • 汽车 j&dx[4|m:h • 军事 c K[R1 ReH • 光刻 xaWGa1V'z
+[whh 用于白光LED消色差整形的微透镜阵列的3D表面 )
\-96 xd 优点Benefits 7Ai o`&^
G(As%r] 微光学元件的照明系统有以下几大优点： 9p2>`L • 可实现LED 和准分子激光的均匀化和整形. 2 2GnbA7O • 产生任意的二维图案. df4sOqU • 对光源辐射特性变化的低灵敏度. eu}Fd@ GO • 非常紧凑的照明系统. %6A-OF  Y9i9Uc.] 包含一个光栅元胞阵列的照明系统 光线追迹模拟
5#0A`QO
微透镜阵列，也叫做“蝇眼聚光器”可以被用在LED和准分子激光器均质化的各种光学装置中，微透镜阵列有以下光学特性： m<4s*q0\i
• 光分布整形取决于透镜口径和透镜表面. r(:
8!=~K
• 常被用来产生圆形、矩形和六角形光分布. 3 >Q@r>c
• 可以产生一般的二维图案. .-SF$U_P*a
• 单色光和白光的整形. %2Epgh4?
 .Vo"A uC}
六角形透镜阵列可以用来产生六角形光分布. 3@^>#U
衍射扩散器 TBZ-1 7+
#\p P2
衍射扩散器，如相位板和计算机生成全息图，是经过计算机优化的表面轮廓散射元件，衍射扩散器有以下光学性质： cBifZv*l
• Diffuser在一目标平面上产生大量的重叠斑点（衍射级次）. ~reQV6oQua
• 生成任意的二维图案. (PS$e~H s
• 仅用于单色LED或准分子激光. m ~u|VgD
 0)d?Y
4个高度水平的衍射扩散器的表面轮廓 vWU%ST
单元阵列 :1aL9 fT
\6 \hnP
光栅，棱镜和反射镜单元阵列由小矩形单元组成，将光偏转到目标平面上的特定位置。单元阵列具有以下光学特性： `'p`PyMt`
• 通过控制光栅，微棱镜或微反射镜的倾角和周期来将光偏转到目标面上. Fn:.Y8%-
• 光学分辨率取决于单元孔径的衍射. Fweh =v
• 产生任意的二维图案. }RcK_w@Jx)
• 用于单色光和白光. 8[{|xh(
 )A="eW_>
由LightTrans.设计的光栅单元阵列的SEM成像 uR#'lb`3
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