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N SI$uS6
均匀化的概念 OlI|.~ ](-zt9,
N; VirtualLab光学仿真和设计软件能够设计用于LED和准分子激光均匀化和整形的照明系统。可以通过微型光学元件来实现光束的均匀化和整形，例如： @~sJ
((G[5 • 微透镜阵列 y\k#83aU| • 衍射扩散器
>cw%ckE • 计算机生成的全息图 [_P ZdIN • 相位板 Ht pZ5 • 单元阵列 wwUa+6?
Q #IlUo 红色LED照射衍射扩散器产生的天际线图案 #g=7fu{n:
光学仿真和设计包括: O/ybqU\7 • 衍射 y rH@:D/ • 干涉 &PZ&'N|P • 空间和时间相干度 6
);8z!+ • 像差 iC2``[m" • 偏振 4 ))Z Bq? • 光强 eI%9.Cx#I
?sD4S 应用 2fN2!OT
#|8Ia:=s 用于LED和准分子激光均匀化的微光学照明系统可以用在各个领域，包括： LT[g
+zGB • 信息显示 ?&U g"$v • 测量系统 FNlS) Bs • 室内照明 uHeKttR- • 汽车 s k_TKN`+ • 军事 }iIZA>eF • 光刻 J~}sQ{ 0
+cWo^ d. 用于白光LED消色差整形的微透镜阵列的3D表面 z|bAZKSRYx 优点Benefits ;-kC&GZf
O#Ma Z.= 微光学元件的照明系统有以下几大优点： :_k5[KT.]9 • 可实现LED 和准分子激光的均匀化和整形. L0.F }~S • 产生任意的二维图案. qf
T71o( • 对光源辐射特性变化的低灵敏度. *q; u%; 4 • 非常紧凑的照明系统. -kzp >=  BD , J4xH; 包含一个光栅元胞阵列的照明系统 光线追迹模拟
ij5|P4Eka
微透镜阵列，也叫做“蝇眼聚光器”可以被用在LED和准分子激光器均质化的各种光学装置中，微透镜阵列有以下光学特性： 4ibOVBG:*,
• 光分布整形取决于透镜口径和透镜表面. fDjJ dRS"
• 常被用来产生圆形、矩形和六角形光分布. |W*#N8I P
• 可以产生一般的二维图案. \r1nMw 3&
• 单色光和白光的整形. r(j :C%?}C
 G,!{Q''w
六角形透镜阵列可以用来产生六角形光分布. \& /V p`
衍射扩散器 <c%
d k/f_m
衍射扩散器，如相位板和计算机生成全息图，是经过计算机优化的表面轮廓散射元件，衍射扩散器有以下光学性质： = IJ}b=:
• Diffuser在一目标平面上产生大量的重叠斑点（衍射级次）. 4OeH}@ a
• 生成任意的二维图案. :'2h0
5R
• 仅用于单色LED或准分子激光. HSR,moI
 IN_O!c0e
4个高度水平的衍射扩散器的表面轮廓 H
S)$|m_
单元阵列 AO]k*N,N
LEuDDJ -
光栅，棱镜和反射镜单元阵列由小矩形单元组成，将光偏转到目标平面上的特定位置。单元阵列具有以下光学特性： U4=m>Ty
• 通过控制光栅，微棱镜或微反射镜的倾角和周期来将光偏转到目标面上. A01PEVd@A
• 光学分辨率取决于单元孔径的衍射. >N~orSw%
• 产生任意的二维图案. 1>=%TIO)
• 用于单色光和白光. 6L"b O'_5K
 )=nB32~J"
由LightTrans.设计的光栅单元阵列的SEM成像 'i <%kL@
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