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~S=hxKI 均匀化的概念 W``e6RX- Z1OcGRN! VirtualLab光学仿真和设计软件能够设计用于LED和准分子激光均匀化和整形的照明系统。可以通过微型光学元件来实现光束的均匀化和整形,例如: nl?|X2?C • 微透镜阵列 $~9U-B\ • 衍射扩散器 q$HBPR4h • 计算机生成的全息图 kW(8i}bg • 相位板 hA~}6Qn • 单元阵列 v=W%|iZ .^v7LF]Q 红色LED照射衍射扩散器产生的天际线图案 }M9'N%PU 光学仿真和设计包括: I~mw\K{.3M • 衍射 82w<q( • 干涉 ll5Kd=3 • 空间和时间相干度 ^.<IT" • 像差 |0Zj/1<$ • 偏振 $[1 M2>[ • 光强 T&0tW"r? <LLSUk/ 应用 JE?XZp@V *'`-plS7 用于LED和准分子激光均匀化的微光学照明系统可以用在各个领域,包括: Ep'C FNbtW • 信息显示 )
.]Z}g& • 测量系统 #p[=iP • 室内照明 g1}RA@9 • 汽车 * dNMnZ@Y • 军事 Sa@Xh,y Z • 光刻 ;aFQP:l/ 2s(K4~e e 用于白光LED消色差整形的微透镜阵列的3D表面 |Rab'9U^ 优点Benefits hz/5k%%UX =!{dKz-& 微光学元件的照明系统有以下几大优点: !}vz_6) • 可实现LED 和准分子激光的均匀化和整形. ,*bxNs'/ • 产生任意的二维图案. jwE<}y
I • 对光源辐射特性变化的低灵敏度. mqE&phF, • 非常紧凑的照明系统. 2xjS;lpw z#-&M J 包含一个光栅元胞阵列的照明系统 光线追迹模拟 微透镜阵列 9wAP%xh ~E`l4'g? 微透镜阵列,也叫做“蝇眼聚光器”可以被用在LED和准分子激光器均质化的各种光学装置中,微透镜阵列有以下光学特性: ricDP 9#a • 光分布整形取决于透镜口径和透镜表面. +^"|FtKhE • 常被用来产生圆形、矩形和六角形光分布. M$?~C~b!* • 可以产生一般的二维图案. jUfc&bi3 • 单色光和白光的整形. yC _X@o-n
,v^it+Jc' 六角形透镜阵列可以用来产生六角形光分布.
M,6AD] 衍射扩散器 4e5Ka{# < 6DExsB~@ 衍射扩散器,如相位板和计算机生成全息图,是经过计算机优化的表面轮廓散射元件,衍射扩散器有以下光学性质: [qb#>P2G3 • Diffuser在一目标平面上产生大量的重叠斑点(衍射级次). vu*08<M~i| • 生成任意的二维图案. \C>I6{ • 仅用于单色LED或准分子激光. t[DXG2&
H-S28%. 4个高度水平的衍射扩散器的表面轮廓 K1 $Z=]a+ 单元阵列 .vb*|So 3|~(9b{+ 光栅,棱镜和反射镜单元阵列由小矩形单元组成,将光偏转到目标平面上的特定位置。单元阵列具有以下光学特性: }2{%V^D)r • 通过控制光栅,微棱镜或微反射镜的倾角和周期来将光偏转到目标面上. LS \4y&J40 • 光学分辨率取决于单元孔径的衍射. ?Jx8z`( • 产生任意的二维图案. |fa3;8!96 • 用于单色光和白光. 3)`}#` T
&K\di*kN 由LightTrans.设计的光栅单元阵列的SEM成像 kdF#Nm
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