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n09|Jzv9
均匀化的概念 X5<L B! -W765Y VirtualLab光学仿真和设计软件能够设计用于LED和准分子激光均匀化和整形的照明系统。可以通过微型光学元件来实现光束的均匀化和整形，例如： ]_-$ • 微透镜阵列 i:z A( • 衍射扩散器 1w5p *U0 ; • 计算机生成的全息图 |a"(Ds2U • 相位板 NuXU 2w~ • 单元阵列 Rd#,Tl \
=0v{+ #} 红色LED照射衍射扩散器产生的天际线图案 RhDa`kV%t
光学仿真和设计包括: LB M:>d5 • 衍射 @ B[=`9KF[ • 干涉 /Pf7= P • 空间和时间相干度 ___+5r21\ • 像差 5
WAsEP • 偏振 B
j*X_m • 光强 xbmOch}j6
R'80 { 应用 nF// y}
2<J82(4j 用于LED和准分子激光均匀化的微光学照明系统可以用在各个领域，包括： AM }OL Hj • 信息显示 t>b^S, • 测量系统 @D7cv"
• 室内照明 3 +#bkG • 汽车 >MhkNy • 军事 dvxH:, • 光刻 Vj:PNt[
ZERd#7@m+ 用于白光LED消色差整形的微透镜阵列的3D表面 Rn TP U` 优点Benefits !-7(.i -
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Y^:C[ 微光学元件的照明系统有以下几大优点： qI'a|p4fn? • 可实现LED 和准分子激光的均匀化和整形. -'I)2/%g • 产生任意的二维图案. 8>epKFEg • 对光源辐射特性变化的低灵敏度. }y0UyOa{ C • 非常紧凑的照明系统. xW^<.@Agm  iI _Fbw8 包含一个光栅元胞阵列的照明系统 光线追迹模拟
&2Y>yFB
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微透镜阵列，也叫做“蝇眼聚光器”可以被用在LED和准分子激光器均质化的各种光学装置中，微透镜阵列有以下光学特性： W:tE ?H u
• 光分布整形取决于透镜口径和透镜表面. zU}0AVlIL:
• 常被用来产生圆形、矩形和六角形光分布. CBF>157B
• 可以产生一般的二维图案. 3 Zbvf^
• 单色光和白光的整形. $B(B
 U 26 Iz
六角形透镜阵列可以用来产生六角形光分布. Y${ $7+@
衍射扩散器 ] w')~yk
lc'Jn$O@
衍射扩散器，如相位板和计算机生成全息图，是经过计算机优化的表面轮廓散射元件，衍射扩散器有以下光学性质： )@sz\yI%U
• Diffuser在一目标平面上产生大量的重叠斑点（衍射级次）. $U6)km4
• 生成任意的二维图案. M2m@N-+R
• 仅用于单色LED或准分子激光. SWm dU]
 b. t] p
4个高度水平的衍射扩散器的表面轮廓 uS&bfx2
单元阵列 5ax/jd~}
3XA^{&}
光栅，棱镜和反射镜单元阵列由小矩形单元组成，将光偏转到目标平面上的特定位置。单元阵列具有以下光学特性： 7zNyH(.
• 通过控制光栅，微棱镜或微反射镜的倾角和周期来将光偏转到目标面上. +^%F8GB
• 光学分辨率取决于单元孔径的衍射. {X< t Uco
• 产生任意的二维图案. AFY;;_Xks
• 用于单色光和白光. MqNp*n 2
 'DKP-R"
由LightTrans.设计的光栅单元阵列的SEM成像 q_I ''L
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