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均匀化的概念 ]r#tJ T`M aoCyYnZD VirtualLab光学仿真和设计软件能够设计用于LED和准分子激光均匀化和整形的照明系统。可以通过微型光学元件来实现光束的均匀化和整形，例如： ,@2O_O`: • 微透镜阵列 9aXm} • 衍射扩散器 b9:E0/6
• 计算机生成的全息图 ^ 91k@MC • 相位板 m 2 OP=z@) • 单元阵列 yhTe*I=Gk
|" ck;.) 红色LED照射衍射扩散器产生的天际线图案 TeG' cKz
光学仿真和设计包括: Z &PwN r/ • 衍射 T%ha2X= • 干涉 T9(~^}_+9 • 空间和时间相干度 TpnkJygIm • 像差 ME o+S • 偏振 kKCkjA:o## • 光强 0w\gxd~'
(I\aGGW 应用 tFb49zbk
*WOA",gZ 用于LED和准分子激光均匀化的微光学照明系统可以用在各个领域，包括： J4x1qY)Y&v • 信息显示 J]Y." hi • 测量系统 ku\_M • 室内照明 E|Z Y2&J`4 • 汽车 *BSL=8G{ • 军事 ps Yfz)1; • 光刻 dp+wwNe
rj,Sk~0Q 用于白光LED消色差整形的微透镜阵列的3D表面 BPC$ v\a 优点Benefits JP[BSmhAV
qA*QFQ'- 微光学元件的照明系统有以下几大优点： ,Kdvt@vle • 可实现LED 和准分子激光的均匀化和整形. \ar.( J • 产生任意的二维图案. bu\ ,2t}B • 对光源辐射特性变化的低灵敏度. ]1g t|M^ • 非常紧凑的照明系统. %M ~X:A;4  "WK.sBFz4 包含一个光栅元胞阵列的照明系统 光线追迹模拟
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微透镜阵列，也叫做“蝇眼聚光器”可以被用在LED和准分子激光器均质化的各种光学装置中，微透镜阵列有以下光学特性： 0Wk}d(f
• 光分布整形取决于透镜口径和透镜表面. M a_! 1Y
• 常被用来产生圆形、矩形和六角形光分布. !dmI}<@&k
• 可以产生一般的二维图案. BEu9gu
• 单色光和白光的整形. ) D(XDN
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六角形透镜阵列可以用来产生六角形光分布. 3Wa Yeol`
衍射扩散器 pcL02W|J
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衍射扩散器，如相位板和计算机生成全息图，是经过计算机优化的表面轮廓散射元件，衍射扩散器有以下光学性质： [7L1y) I(
• Diffuser在一目标平面上产生大量的重叠斑点（衍射级次）. B YwG\2?~
• 生成任意的二维图案. S[* e K
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• 仅用于单色LED或准分子激光. <y~`J`-
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4个高度水平的衍射扩散器的表面轮廓 !sfUrUu
单元阵列 00<iv"8
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光栅，棱镜和反射镜单元阵列由小矩形单元组成，将光偏转到目标平面上的特定位置。单元阵列具有以下光学特性： 3/4xP|
• 通过控制光栅，微棱镜或微反射镜的倾角和周期来将光偏转到目标面上. d(R3 1G$ kO90
由LightTrans.设计的光栅单元阵列的SEM成像 !%]]lxi
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