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4JQ`&:?r 均匀化的概念 ~ z&A e8uIh[+ 0 VirtualLab光学仿真和设计软件能够设计用于LED和准分子激光均匀化和整形的照明系统。可以通过微型光学元件来实现光束的均匀化和整形,例如: GBOmVQ $Hb • 微透镜阵列 %-p{?=:K • 衍射扩散器 ]?^xc[ • 计算机生成的全息图 sTstc+w • 相位板 w\;9&;; • 单元阵列 Tq_X8X#p >oaEG5%d 红色LED照射衍射扩散器产生的天际线图案 5i-;bLm 光学仿真和设计包括:
o*ED!y7 • 衍射 |DS@90} • 干涉 !!X9mI|2| • 空间和时间相干度 92ww[+RQ@ • 像差 6@*;Wk~ • 偏振 34M.xB • 光强 |}y}o:( ph (k2cb 应用 3EX&.OL! %1+~(1P 用于LED和准分子激光均匀化的微光学照明系统可以用在各个领域,包括: fU7:3"|s8 • 信息显示 _<}5[(qu • 测量系统 Wk#-LkI • 室内照明 gJ~*rWBK: • 汽车 ij5=f0^4. • 军事 :q[n1
O[Ch • 光刻 ;m:GUp^[ 3Ty{8oUs^ 用于白光LED消色差整形的微透镜阵列的3D表面
{h+E&u[zL 优点Benefits {+mkXp])R L"<Eov6 微光学元件的照明系统有以下几大优点: 0c6AQP"=V • 可实现LED 和准分子激光的均匀化和整形. YHtI% • 产生任意的二维图案. K T72D • 对光源辐射特性变化的低灵敏度. vszAr(
t • 非常紧凑的照明系统. fx"+ZR `l#$l3v+ 包含一个光栅元胞阵列的照明系统 光线追迹模拟 微透镜阵列 #{cpG2Rs O*CX@Ne
微透镜阵列,也叫做“蝇眼聚光器”可以被用在LED和准分子激光器均质化的各种光学装置中,微透镜阵列有以下光学特性: {!bJ.O
l • 光分布整形取决于透镜口径和透镜表面. {NqGWkGt*b • 常被用来产生圆形、矩形和六角形光分布. ?
NK}q\$ • 可以产生一般的二维图案. 2n:J7PGD • 单色光和白光的整形. A'R sy6
Io X9yGq 六角形透镜阵列可以用来产生六角形光分布. \uIC<#o"N 衍射扩散器 y9 '3vZ Nn\\}R 衍射扩散器,如相位板和计算机生成全息图,是经过计算机优化的表面轮廓散射元件,衍射扩散器有以下光学性质: xF31%b`z: • Diffuser在一目标平面上产生大量的重叠斑点(衍射级次). OB@t(KNx*P • 生成任意的二维图案. .HJHJ.Js8X • 仅用于单色LED或准分子激光. &y+*3,!n8
5-po>1g' 4个高度水平的衍射扩散器的表面轮廓 ;$;/#8`> 单元阵列 BJrNbo;T a-5$GvG 光栅,棱镜和反射镜单元阵列由小矩形单元组成,将光偏转到目标平面上的特定位置。单元阵列具有以下光学特性: bx6}zkf& • 通过控制光栅,微棱镜或微反射镜的倾角和周期来将光偏转到目标面上. m,q<R1 • 光学分辨率取决于单元孔径的衍射. :|Ty 0>k • 产生任意的二维图案. F+r6/e6a • 用于单色光和白光. .H.v c_/
m<ruFxY 由LightTrans.设计的光栅单元阵列的SEM成像 TC}u[kM
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