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均匀化的概念 {LiJ=Ebt C[,h! VirtualLab光学仿真和设计软件能够设计用于LED和准分子激光均匀化和整形的照明系统。可以通过微型光学元件来实现光束的均匀化和整形，例如： h^(U:M=A • 微透镜阵列 <ci( 5M • 衍射扩散器 Ze%S<xT!O • 计算机生成的全息图 Ou1k SG|kM • 相位板 } `L;. 9 • 单元阵列 7D<Aa?cv_l
l0G{{R 0Y 红色LED照射衍射扩散器产生的天际线图案 zmQQ/ 7K
光学仿真和设计包括: Ei:m@} g • 衍射 p8 S~`fjV • 干涉 Vl$RMW@Ds • 空间和时间相干度 oPs asa • 像差 t ? &; • 偏振 5: 38}p9` • 光强 O_ r-(wE4
km BA 应用 |34k;l]E
O)^F z: 用于LED和准分子激光均匀化的微光学照明系统可以用在各个领域，包括： {KSLB8gtL • 信息显示 jA^yUd- • 测量系统 .K^gh$z! • 室内照明 KOR*y(* 8 • 汽车 ipu~T ) } • 军事 nEU H; z • 光刻 dgQ<>+9]6
w y|b Hkr_ 用于白光LED消色差整形的微透镜阵列的3D表面 M`7lYw\Or! 优点Benefits @=g{4(zR ^
^VzhjKSu 微光学元件的照明系统有以下几大优点： Bs3&y Eq( • 可实现LED 和准分子激光的均匀化和整形. 86KK Y2 • 产生任意的二维图案. ~W"@[*6w • 对光源辐射特性变化的低灵敏度. .,VLQ btg • 非常紧凑的照明系统. b$Ei>%'/";  [fwk[qFa 包含一个光栅元胞阵列的照明系统 光线追迹模拟
BC#`S&R
微透镜阵列，也叫做“蝇眼聚光器”可以被用在LED和准分子激光器均质化的各种光学装置中，微透镜阵列有以下光学特性： 7<:o4\q?m
• 光分布整形取决于透镜口径和透镜表面. ;fQIaE&H
• 常被用来产生圆形、矩形和六角形光分布. Bvj
• 可以产生一般的二维图案. nql{k/6
• 单色光和白光的整形. $? Z}hU
 ijcF[bm E
六角形透镜阵列可以用来产生六角形光分布. 25 U+L
衍射扩散器 non5e)w3@
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衍射扩散器，如相位板和计算机生成全息图，是经过计算机优化的表面轮廓散射元件，衍射扩散器有以下光学性质： wKpD++k
• Diffuser在一目标平面上产生大量的重叠斑点（衍射级次）. Z" l].\=
F
• 生成任意的二维图案. $PlMyLu7jc
• 仅用于单色LED或准分子激光. M`iE'x
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4个高度水平的衍射扩散器的表面轮廓 S%?%06$
单元阵列 9 %Vy,
D#,A_GA{A
光栅，棱镜和反射镜单元阵列由小矩形单元组成，将光偏转到目标平面上的特定位置。单元阵列具有以下光学特性： re4z>O*
• 通过控制光栅，微棱镜或微反射镜的倾角和周期来将光偏转到目标面上. Ew;AYZX
• 光学分辨率取决于单元孔径的衍射. 7uu\R=$
• 产生任意的二维图案. WS@"8+re;
• 用于单色光和白光. ".pQM.T
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由LightTrans.设计的光栅单元阵列的SEM成像 8F$]@0v`%
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