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eHROBxH& 均匀化的概念 iDR6?f P R]VTV7D VirtualLab光学仿真和设计软件能够设计用于LED和准分子激光均匀化和整形的照明系统。可以通过微型光学元件来实现光束的均匀化和整形,例如: ;y,NC2Xj • 微透镜阵列 :28@J?jjO • 衍射扩散器 6DO0zNTY • 计算机生成的全息图 ,@,LD u • 相位板 DlS&qFs • 单元阵列 Lo5Jb6nm z}mvX.j7 红色LED照射衍射扩散器产生的天际线图案 -|$* l
Q 光学仿真和设计包括: 2:n|x5\H • 衍射 ;HT0w_, • 干涉 w=gQ3j#s • 空间和时间相干度 o8mo=V4j • 像差 |H<|{{E • 偏振 `lvh\[3^ • 光强 0vcET( +%x^ RV} 应用 SUSc zAu}hVcW 用于LED和准分子激光均匀化的微光学照明系统可以用在各个领域,包括: O<Jwaap • 信息显示 gnYnL8l`J • 测量系统 IS .g);Gj • 室内照明 I S.F • 汽车 T?ZOHH8 • 军事 .k
p$oAL • 光刻 ]zX\8eHp! |@OJ~5H/{ 用于白光LED消色差整形的微透镜阵列的3D表面 s%FP6u7[i 优点Benefits -uO%[/h;N G)jG!`I 微光学元件的照明系统有以下几大优点: %{=4Fa(Jux • 可实现LED 和准分子激光的均匀化和整形. %~ ;nlDw • 产生任意的二维图案. EP/&m|o|G • 对光源辐射特性变化的低灵敏度. 2c!h2$w • 非常紧凑的照明系统. !Q[;5Lqt s}Xi2^x 包含一个光栅元胞阵列的照明系统 光线追迹模拟 微透镜阵列 `9]P/J^ (=6P]~, 微透镜阵列,也叫做“蝇眼聚光器”可以被用在LED和准分子激光器均质化的各种光学装置中,微透镜阵列有以下光学特性: `x5ll;"J • 光分布整形取决于透镜口径和透镜表面. ]cS&8{ ^2 • 常被用来产生圆形、矩形和六角形光分布. gt#MeU • 可以产生一般的二维图案. _QD/!~O • 单色光和白光的整形. 7^`RP e^a+
U<1}I.hDJ 六角形透镜阵列可以用来产生六角形光分布. >9<_s
^_ 衍射扩散器 axHxqhO7zp iJ5e1R8tN 衍射扩散器,如相位板和计算机生成全息图,是经过计算机优化的表面轮廓散射元件,衍射扩散器有以下光学性质: U$MWsDn
• Diffuser在一目标平面上产生大量的重叠斑点(衍射级次). C+}CU} • 生成任意的二维图案. Vj#%B.#Zbf • 仅用于单色LED或准分子激光. L;
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;:-}z.7Y 4个高度水平的衍射扩散器的表面轮廓 6(!,H<bON 单元阵列 B/kcb(5v :zRB)hd 光栅,棱镜和反射镜单元阵列由小矩形单元组成,将光偏转到目标平面上的特定位置。单元阵列具有以下光学特性: k?!TjBKm • 通过控制光栅,微棱镜或微反射镜的倾角和周期来将光偏转到目标面上. oiIt3<BX • 光学分辨率取决于单元孔径的衍射. IEKMa • 产生任意的二维图案. bkJwP s • 用于单色光和白光. O@G<B8U,K
8JQ<LrIt9 由LightTrans.设计的光栅单元阵列的SEM成像
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