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均匀化的概念 EW0H"YIC $[VKM|Zjw VirtualLab光学仿真和设计软件能够设计用于LED和准分子激光均匀化和整形的照明系统。可以通过微型光学元件来实现光束的均匀化和整形，例如： e~ W35Y>A • 微透镜阵列 Od>T a_ • 衍射扩散器 O=MO M • 计算机生成的全息图 ;q6: *H / • 相位板 K:V_,[gO • 单元阵列 Zu_m$ Mx
3:Y ZC9 红色LED照射衍射扩散器产生的天际线图案 bb$1RLyRL
光学仿真和设计包括: v~?d7p { • 衍射 s IY `H^ • 干涉 8QE0J$d5 • 空间和时间相干度 &tj0Z: • 像差 J1 a/U@" • 偏振 ya5;C" • 光强 ch 4z{7
m%+W{N4Wb 应用 GW
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tt{,f1v0t 用于LED和准分子激光均匀化的微光学照明系统可以用在各个领域，包括： zn_ InxR • 信息显示 @%O"P9;s • 测量系统 AG x]srl • 室内照明 u !k\W{ • 汽车 yj `b-^$? • 军事 }C}~)qaZv+ • 光刻 sI@m" A
`D>PU@s$nT 用于白光LED消色差整形的微透镜阵列的3D表面 \"V7O'S)& 优点Benefits !\}Dxt
mSY ;hJi 微光学元件的照明系统有以下几大优点： w_ k Hy_) • 可实现LED 和准分子激光的均匀化和整形. UkG|5P` • 产生任意的二维图案. m_W\jz??k • 对光源辐射特性变化的低灵敏度. ]-bA{@tP. • 非常紧凑的照明系统. Z uo7MR  ?NGM<nK;7 包含一个光栅元胞阵列的照明系统 光线追迹模拟
Z WL/ AC
微透镜阵列，也叫做“蝇眼聚光器”可以被用在LED和准分子激光器均质化的各种光学装置中，微透镜阵列有以下光学特性： \'q-Xr'}M
• 光分布整形取决于透镜口径和透镜表面. hWJ\dwF
• 常被用来产生圆形、矩形和六角形光分布. ^e"BY(
• 可以产生一般的二维图案. Gk;== ~
• 单色光和白光的整形. |<\o%89AM
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六角形透镜阵列可以用来产生六角形光分布. 6m_Y%&
衍射扩散器 ' aBX>M
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衍射扩散器，如相位板和计算机生成全息图，是经过计算机优化的表面轮廓散射元件，衍射扩散器有以下光学性质： ^cZF#%k
• Diffuser在一目标平面上产生大量的重叠斑点（衍射级次）. "w*VyD
• 生成任意的二维图案. I? G
m
• 仅用于单色LED或准分子激光. !l?Go<^*L
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4个高度水平的衍射扩散器的表面轮廓 YjdCCju
单元阵列 fZ`b~ZBwIj
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光栅，棱镜和反射镜单元阵列由小矩形单元组成，将光偏转到目标平面上的特定位置。单元阵列具有以下光学特性： ~%qHJ4C
• 通过控制光栅，微棱镜或微反射镜的倾角和周期来将光偏转到目标面上. L p 5LRw
• 光学分辨率取决于单元孔径的衍射. Pz,kSxe=
• 产生任意的二维图案. S)iv k x
• 用于单色光和白光. :U oZ`O~
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由LightTrans.设计的光栅单元阵列的SEM成像 %C" wU AY
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