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均匀化的概念 =ll=)"O v jT( Q VirtualLab光学仿真和设计软件能够设计用于LED和准分子激光均匀化和整形的照明系统。可以通过微型光学元件来实现光束的均匀化和整形，例如： ][;G=oCT • 微透镜阵列 |=dC
)Azs • 衍射扩散器 -JT/ 9IQ • 计算机生成的全息图 n_u1&a' • 相位板 %r kk> m • 单元阵列 j&R+2%
:6{`~= 红色LED照射衍射扩散器产生的天际线图案 fc_2D|
光学仿真和设计包括: ;GGK`V • 衍射 E=]4ctK • 干涉 *|#T8t,}n • 空间和时间相干度 %^]?5a! • 像差 ZD>a >] • 偏振 <Fz~7WVd • 光强 \ I`p|&vG
^:=f^N=^ 应用 h"+ `13
tBATZ0nK`Q 用于LED和准分子激光均匀化的微光学照明系统可以用在各个领域，包括： I=DxRgt • 信息显示 zj{r^D$ • 测量系统 XT>.`, sv • 室内照明 qJ4T]FVN • 汽车 Zw1U@5}A • 军事 rN)V[5R#M • 光刻 J% H;%ROx
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用于白光LED消色差整形的微透镜阵列的3D表面 _~u2: yl ( 优点Benefits KhbYr$
]b/S6oc6 微光学元件的照明系统有以下几大优点： J %lgR • 可实现LED 和准分子激光的均匀化和整形. Q Fm|-j • 产生任意的二维图案. NB_ )ZEmF • 对光源辐射特性变化的低灵敏度. 2d>hi32I • 非常紧凑的照明系统. 7R4 z}2F2  -_ C#wtC 包含一个光栅元胞阵列的照明系统 光线追迹模拟
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微透镜阵列，也叫做“蝇眼聚光器”可以被用在LED和准分子激光器均质化的各种光学装置中，微透镜阵列有以下光学特性： :#~U<C@o
• 光分布整形取决于透镜口径和透镜表面. <
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• 常被用来产生圆形、矩形和六角形光分布. I
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• 可以产生一般的二维图案. <_Z:'~Zp
• 单色光和白光的整形. gD`>Twa&6
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六角形透镜阵列可以用来产生六角形光分布. U6E\AvbRn
衍射扩散器 XW{>-PBg:
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衍射扩散器，如相位板和计算机生成全息图，是经过计算机优化的表面轮廓散射元件，衍射扩散器有以下光学性质： 'y]\ -T
• Diffuser在一目标平面上产生大量的重叠斑点（衍射级次）. Y6i _!z[V[
• 生成任意的二维图案. 4(6b(]G'#
• 仅用于单色LED或准分子激光. WY^W.1 X
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4个高度水平的衍射扩散器的表面轮廓 Z F7I L
单元阵列 2*"Fu:a"`I
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光栅，棱镜和反射镜单元阵列由小矩形单元组成，将光偏转到目标平面上的特定位置。单元阵列具有以下光学特性： zZcnijWb
• 通过控制光栅，微棱镜或微反射镜的倾角和周期来将光偏转到目标面上. D:^$4}h
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• 光学分辨率取决于单元孔径的衍射. m5mu:
• 产生任意的二维图案. W[EKD 7
• 用于单色光和白光. yz8mP3"c:o
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由LightTrans.设计的光栅单元阵列的SEM成像 ~/^5) g_
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