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均匀化的概念 fav5e'[$ bz{^ h' VirtualLab光学仿真和设计软件能够设计用于LED和准分子激光均匀化和整形的照明系统。可以通过微型光学元件来实现光束的均匀化和整形，例如： t =n+3`g • 微透镜阵列 [ rQMD^:M$ • 衍射扩散器 vv+TKO • 计算机生成的全息图 K;oV"KRK • 相位板 H L jvKE=W • 单元阵列 /8xH$n&xoC
;>NP.pnA) 红色LED照射衍射扩散器产生的天际线图案 ,~(|p`
光学仿真和设计包括: }@Xh xZu • 衍射 S Q}S4r • 干涉 vO\:vp4fH • 空间和时间相干度 Y!SE;N& • 像差 Y [W6Sc • 偏振 Hx$.9'Oq\Q • 光强 sffhPX\I
jm+ V$YBP 应用 (tep mcf
'KH
lrmnr 用于LED和准分子激光均匀化的微光学照明系统可以用在各个领域，包括： c Zqfz • 信息显示 >Q;
g0\I_ • 测量系统 -*?p F_*w • 室内照明 n_v02vFAHT • 汽车 .>}BNy • 军事 & x`&03 X • 光刻 rfYP*QQ Y
G'u|Q
mb1 用于白光LED消色差整形的微透镜阵列的3D表面 BU`ckK\( 优点Benefits p"2m90IO
tl| ijR 微光学元件的照明系统有以下几大优点： S+r^B?a<oM • 可实现LED 和准分子激光的均匀化和整形. ^w.]Hd 2 • 产生任意的二维图案. W!t{rI7 2 • 对光源辐射特性变化的低灵敏度. U_]=E<el • 非常紧凑的照明系统. wh%xkXa[ur  j1/+\8Y 包含一个光栅元胞阵列的照明系统 光线追迹模拟
ML=eL*}l
微透镜阵列，也叫做“蝇眼聚光器”可以被用在LED和准分子激光器均质化的各种光学装置中，微透镜阵列有以下光学特性： eH
%Ja[
• 光分布整形取决于透镜口径和透镜表面. E>E*ZZuhj
• 常被用来产生圆形、矩形和六角形光分布. F%
`zs\
• 可以产生一般的二维图案. }`9jH:q-Z
• 单色光和白光的整形. n +2%tW
 '3^Q14`R
六角形透镜阵列可以用来产生六角形光分布. %,0%NjK
衍射扩散器 k0JW[04j
?-f,8Z|h
衍射扩散器，如相位板和计算机生成全息图，是经过计算机优化的表面轮廓散射元件，衍射扩散器有以下光学性质： HmMO*k<6@
• Diffuser在一目标平面上产生大量的重叠斑点（衍射级次）. V@[rf<,
• 生成任意的二维图案. +
~ "5!
• 仅用于单色LED或准分子激光. eTT) P
 pr_> b`p6
4个高度水平的衍射扩散器的表面轮廓 /'ZKS T4
单元阵列 nob0T5G
/ 2xSNalC
光栅，棱镜和反射镜单元阵列由小矩形单元组成，将光偏转到目标平面上的特定位置。单元阵列具有以下光学特性： Nar>FR7ut
• 通过控制光栅，微棱镜或微反射镜的倾角和周期来将光偏转到目标面上. (-,>qMQs
• 光学分辨率取决于单元孔径的衍射. c;9.KCpwx
• 产生任意的二维图案. +y/ 55VLq
• 用于单色光和白光. z8E1 m"
 J? .F\`N)
由LightTrans.设计的光栅单元阵列的SEM成像 49AW6H.JT
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