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均匀化的概念 1feVFRx' 4zs0+d + VirtualLab光学仿真和设计软件能够设计用于LED和准分子激光均匀化和整形的照明系统。可以通过微型光学元件来实现光束的均匀化和整形，例如： Ox)<"8M • 微透镜阵列 M&iXdw& • 衍射扩散器 Y M o 8C( • 计算机生成的全息图 %R5- 6 • 相位板 @.L#u#
• 单元阵列 ^qL<=UC.
BD"Dz q 红色LED照射衍射扩散器产生的天际线图案 X}GX6qAdt
光学仿真和设计包括: 3uw3 [
SR1 • 衍射 @Mya|zb • 干涉 "C}<umJ' • 空间和时间相干度 3X Y"s" • 像差 1!zd#TX • 偏振 y_: {p5u • 光强 7b~uU@L`
X[/7vSqZ@w 应用 ;Q t%>Uo8
\6AM?}v 用于LED和准分子激光均匀化的微光学照明系统可以用在各个领域，包括： I?1 BGaAA • 信息显示 /\e_B6 pF< • 测量系统 0<V/[$}\D • 室内照明 %S%UMA. • 汽车 e=##X}4zZ • 军事 {yNeZXA> • 光刻 }se3y
w!`e!} 用于白光LED消色差整形的微透镜阵列的3D表面 3B]E2 优点Benefits ByE@4+9
,]t_9B QK 微光学元件的照明系统有以下几大优点： "P c}-& • 可实现LED 和准分子激光的均匀化和整形. `\## M= • 产生任意的二维图案. _*z ^PkH • 对光源辐射特性变化的低灵敏度. F(j;|okf; • 非常紧凑的照明系统. 9y[U\[H  y.( < 包含一个光栅元胞阵列的照明系统 光线追迹模拟
#HP-ne; #
微透镜阵列，也叫做“蝇眼聚光器”可以被用在LED和准分子激光器均质化的各种光学装置中，微透镜阵列有以下光学特性： IPTFx
)]G
• 光分布整形取决于透镜口径和透镜表面. X#by Dg
• 常被用来产生圆形、矩形和六角形光分布. p! k ~uf U
• 可以产生一般的二维图案. jc3Q3Th/zn
• 单色光和白光的整形. CY=lN5!J
 M:.+^.h
六角形透镜阵列可以用来产生六角形光分布. \R9 izuc9
衍射扩散器 ES^J R X
]D~Ibv{Y
衍射扩散器，如相位板和计算机生成全息图，是经过计算机优化的表面轮廓散射元件，衍射扩散器有以下光学性质： P];0,;nF
• Diffuser在一目标平面上产生大量的重叠斑点（衍射级次）. Ne;0fk O
• 生成任意的二维图案. X!{K`~DRX
• 仅用于单色LED或准分子激光. G'Wp)W;])\
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4个高度水平的衍射扩散器的表面轮廓 $[Ut])4
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单元阵列 r(>812^\
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光栅，棱镜和反射镜单元阵列由小矩形单元组成，将光偏转到目标平面上的特定位置。单元阵列具有以下光学特性： k&L/Jzz I
• 通过控制光栅，微棱镜或微反射镜的倾角和周期来将光偏转到目标面上. iW2\;}y
• 光学分辨率取决于单元孔径的衍射. o P
T)vN?
• 产生任意的二维图案. cBbumf 9C
• 用于单色光和白光. [CI0N
I6F
 +2tFX
由LightTrans.设计的光栅单元阵列的SEM成像 q77qdm q7
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