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7+ TiyY]K
均匀化的概念 b*fgv9Kh' @;xMs8@ VirtualLab光学仿真和设计软件能够设计用于LED和准分子激光均匀化和整形的照明系统。可以通过微型光学元件来实现光束的均匀化和整形，例如： )Dp/('Z2 • 微透镜阵列 X0;4_,= • 衍射扩散器 GsbAlNP • 计算机生成的全息图 `dMqe\o%! • 相位板 YJS{i • 单元阵列 e7fiGl
v1k)hFjPK 红色LED照射衍射扩散器产生的天际线图案 49Df?sx
光学仿真和设计包括: wfL-oi '5 • 衍射 #eU.p&Zc • 干涉 C.^Ven • 空间和时间相干度 .O*bILU • 像差 &L t[WT$ • 偏振 gw`B "c| • 光强 @\o z4^
cWGDee( 应用 }),w1/#5u8
b96%") 用于LED和准分子激光均匀化的微光学照明系统可以用在各个领域，包括： <D&)OxEn\ • 信息显示 &~U Jf4b|A • 测量系统 i`/+, < • 室内照明 FG3UZVUg9 • 汽车 6qe*@ o • 军事 e}@)z3Q<l • 光刻 KV|}# <dD
-S ,ln 用于白光LED消色差整形的微透镜阵列的3D表面 ~'5 优点Benefits ;Z j]~|
bsxTqJ 微光学元件的照明系统有以下几大优点： 1iL 'V-y • 可实现LED 和准分子激光的均匀化和整形. J`IDlGFYp • 产生任意的二维图案. 4`N t{ • 对光源辐射特性变化的低灵敏度. 58%'UwKn • 非常紧凑的照明系统. '6$*YN&5  j`
E + qk 包含一个光栅元胞阵列的照明系统 光线追迹模拟
E@a3~a
微透镜阵列，也叫做“蝇眼聚光器”可以被用在LED和准分子激光器均质化的各种光学装置中，微透镜阵列有以下光学特性： P3
c\S[F
• 光分布整形取决于透镜口径和透镜表面. .yT8NTu~0j
• 常被用来产生圆形、矩形和六角形光分布. SxyONp.$\
• 可以产生一般的二维图案. (v R 9H(#
• 单色光和白光的整形. Y=Z1Tdxa|
 EA.D}X C
六角形透镜阵列可以用来产生六角形光分布. z PEg
衍射扩散器 Cp^@zw*/
+,:^5 {9{
衍射扩散器，如相位板和计算机生成全息图，是经过计算机优化的表面轮廓散射元件，衍射扩散器有以下光学性质： + SZYg[
• Diffuser在一目标平面上产生大量的重叠斑点（衍射级次）. KucV3-I
• 生成任意的二维图案. d1!i(MaV!
• 仅用于单色LED或准分子激光. DlMe5=n -u
 6m .k;'
4个高度水平的衍射扩散器的表面轮廓 V~GWl1#7
单元阵列 =k 3!RW'
o01kYBD
光栅，棱镜和反射镜单元阵列由小矩形单元组成，将光偏转到目标平面上的特定位置。单元阵列具有以下光学特性： SUWD]k >PH
• 通过控制光栅，微棱镜或微反射镜的倾角和周期来将光偏转到目标面上. J" j.'.
• 光学分辨率取决于单元孔径的衍射. WqxUX H
• 产生任意的二维图案. +^rh[>W
• 用于单色光和白光. " " O"
 JO&JP 3N1
由LightTrans.设计的光栅单元阵列的SEM成像 OQ :dJe6
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