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UeMe4$m 均匀化的概念 ZC*d^n]x. aQ:f"0fL VirtualLab光学仿真和设计软件能够设计用于LED和准分子激光均匀化和整形的照明系统。可以通过微型光学元件来实现光束的均匀化和整形,例如: KAcri<^G • 微透镜阵列 f1$mh1J W • 衍射扩散器 <&%1pZ/6. • 计算机生成的全息图 C'2 =0oou • 相位板 ]q7 LoH'S • 单元阵列 yN<fmi};c %=8(B.I! 红色LED照射衍射扩散器产生的天际线图案 =DTOI 光学仿真和设计包括: KBqaI(( • 衍射 cu?(P;mQi • 干涉 {4aY}=
-Q* • 空间和时间相干度 u=}bq{ • 像差 &E
riskI • 偏振 %O=V4%"m\ • 光强 `$SEkYdt uEGPgYY ( 应用 sLi//P?:t ~yH>Ko9F} 用于LED和准分子激光均匀化的微光学照明系统可以用在各个领域,包括: +Z<Q^5w@ • 信息显示 ' VEr4& • 测量系统 tZ
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• 室内照明 51 +M_~ • 汽车 Z;~[@7` • 军事 q+n1~AT • 光刻 LsQ8sFP_" y2$;t' 用于白光LED消色差整形的微透镜阵列的3D表面 q[OTaSQ~u^ 优点Benefits V<V\0n!0 L##8+OJ.L 微光学元件的照明系统有以下几大优点: X/8iJ-KB • 可实现LED 和准分子激光的均匀化和整形. SKpPR;=q|: • 产生任意的二维图案. +aw>p_\ • 对光源辐射特性变化的低灵敏度. 5J+V:Xu{ • 非常紧凑的照明系统. <h_P+ nz -y*_.Ws9 包含一个光栅元胞阵列的照明系统 光线追迹模拟 微透镜阵列 k
gu[!hD1 +'qX
sfc 微透镜阵列,也叫做“蝇眼聚光器”可以被用在LED和准分子激光器均质化的各种光学装置中,微透镜阵列有以下光学特性: >`<2}Me6 • 光分布整形取决于透镜口径和透镜表面. "x|NG,<[9 • 常被用来产生圆形、矩形和六角形光分布. A$%!9Cma • 可以产生一般的二维图案. YqSXi~. • 单色光和白光的整形. R=?po=
ff}a <w 六角形透镜阵列可以用来产生六角形光分布. U\Ar*b) /T 衍射扩散器 loUl$X.u [)SR$/A 衍射扩散器,如相位板和计算机生成全息图,是经过计算机优化的表面轮廓散射元件,衍射扩散器有以下光学性质: 7IT l3> • Diffuser在一目标平面上产生大量的重叠斑点(衍射级次). d$_q=ywc • 生成任意的二维图案. x]R(twi • 仅用于单色LED或准分子激光. _0W;)v
U7"BlT!V\ 4个高度水平的衍射扩散器的表面轮廓 @\T;PTD- 单元阵列 J/x@$' HD:%Yv 光栅,棱镜和反射镜单元阵列由小矩形单元组成,将光偏转到目标平面上的特定位置。单元阵列具有以下光学特性: 3K#mF7)a • 通过控制光栅,微棱镜或微反射镜的倾角和周期来将光偏转到目标面上. zzfn0g • 光学分辨率取决于单元孔径的衍射. t+ S~u^ • 产生任意的二维图案. .^LL9{? • 用于单色光和白光. [Yy\>
j|&DP-@g/ 由LightTrans.设计的光栅单元阵列的SEM成像 WR
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