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均匀化的概念 zoZ<)x=; DX}B0B VirtualLab光学仿真和设计软件能够设计用于LED和准分子激光均匀化和整形的照明系统。可以通过微型光学元件来实现光束的均匀化和整形，例如： iq"ob8. • 微透镜阵列 #NvQmz?J? • 衍射扩散器 0]AN; • 计算机生成的全息图 4_PCq Ep) • 相位板 Ih.rC>)rx • 单元阵列 d_Q*$Iz)3
Bo`Tl1K# 红色LED照射衍射扩散器产生的天际线图案 |K L')&"
光学仿真和设计包括: t})lr\ • 衍射 X E|B)Q( • 干涉 Rn`ld@=p[ • 空间和时间相干度 LHh5 v"zjG • 像差 P$Z} • 偏振 {5^ K Xj$B • 光强 n X0HT
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!FTNmyM~F 应用 s \[LpLt
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5FZgN 用于LED和准分子激光均匀化的微光学照明系统可以用在各个领域，包括： NS`07 #z^ • 信息显示 7 vn%kW=$ • 测量系统 opsQn\4DZ? • 室内照明 )4l>XlQ& • 汽车 %2f//SZ: • 军事 gtiE hCF2W • 光刻 [r)e P({
N X pmT4 用于白光LED消色差整形的微透镜阵列的3D表面 1y
J5l,q 优点Benefits bEm7QgV{X
BZK2$0 微光学元件的照明系统有以下几大优点： zuSq+px L@ • 可实现LED 和准分子激光的均匀化和整形. .evbE O 5 • 产生任意的二维图案. ,57$N&w • 对光源辐射特性变化的低灵敏度. O] Y v • 非常紧凑的照明系统. <$%X<sDkq  k1)%.pt% 包含一个光栅元胞阵列的照明系统 光线追迹模拟
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微透镜阵列，也叫做“蝇眼聚光器”可以被用在LED和准分子激光器均质化的各种光学装置中，微透镜阵列有以下光学特性： ='Q{R*u
• 光分布整形取决于透镜口径和透镜表面. A /(lK q
• 常被用来产生圆形、矩形和六角形光分布. 'Gx$Bj
• 可以产生一般的二维图案. )p<WDiX1!e
• 单色光和白光的整形. a5 @ z:i
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六角形透镜阵列可以用来产生六角形光分布. 7p.>\YtoR}
衍射扩散器 ,R?np9wc
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衍射扩散器，如相位板和计算机生成全息图，是经过计算机优化的表面轮廓散射元件，衍射扩散器有以下光学性质： y%S1ZT ScO
• Diffuser在一目标平面上产生大量的重叠斑点（衍射级次）. !gF9k8\Yr$
• 生成任意的二维图案. )=J5\3O*x
• 仅用于单色LED或准分子激光. )KE [!ofD
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4个高度水平的衍射扩散器的表面轮廓 <A >)[u
单元阵列 VIC0}LT0R
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光栅，棱镜和反射镜单元阵列由小矩形单元组成，将光偏转到目标平面上的特定位置。单元阵列具有以下光学特性： <[Q3rJ
• 通过控制光栅，微棱镜或微反射镜的倾角和周期来将光偏转到目标面上. R x7X_A}
• 光学分辨率取决于单元孔径的衍射. o! OMm!
• 产生任意的二维图案. D-2.fjo9!
• 用于单色光和白光. ).5RPAP
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由LightTrans.设计的光栅单元阵列的SEM成像 eujK4s
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