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Hn/t'D3
均匀化的概念 G_F_TNO
3f`Uoh+ VirtualLab光学仿真和设计软件能够设计用于LED和准分子激光均匀化和整形的照明系统。可以通过微型光学元件来实现光束的均匀化和整形，例如： + ~V%R{h • 微透镜阵列 +6WjOcu • 衍射扩散器 o,i_py • 计算机生成的全息图 D$FTnY • 相位板 qz` -?,pF • 单元阵列 MHpGG00,
Xe4 红色LED照射衍射扩散器产生的天际线图案 C6>_ wl]
光学仿真和设计包括: {MtJP:8Jp • 衍射 9O- otAGM • 干涉 #66i! } • 空间和时间相干度 (6f D5XtS • 像差 Aw7N'0K9UN • 偏振 %s}{5Qcl/ • 光强 O]I AIM
5B~]%_gZr 应用 ^2 dQVV.
D&fOZVuqZ 用于LED和准分子激光均匀化的微光学照明系统可以用在各个领域，包括： Csu9u'.V • 信息显示 );HhV,$n • 测量系统 [Vbd su9 • 室内照明 c6b51)sQ" • 汽车 ;Q t%>Uo8 • 军事 !}}
)f/ • 光刻 o5]-Kuw`
8}BM`@MG 用于白光LED消色差整形的微透镜阵列的3D表面 iklZ[G%A0 优点Benefits zSA"f_ e
ByE@4+9 微光学元件的照明系统有以下几大优点： A#`$#CO • 可实现LED 和准分子激光的均匀化和整形. J<0sT=/2$ • 产生任意的二维图案. OeGLMDw • 对光源辐射特性变化的低灵敏度. O\!'Ds+gX • 非常紧凑的照明系统. P\@kqf~p C  a Y4v '[ 包含一个光栅元胞阵列的照明系统 光线追迹模拟
M:.+^.h
微透镜阵列，也叫做“蝇眼聚光器”可以被用在LED和准分子激光器均质化的各种光学装置中，微透镜阵列有以下光学特性： pq_U?_5Z'r
• 光分布整形取决于透镜口径和透镜表面. 'PrBa[%
• 常被用来产生圆形、矩形和六角形光分布. o;DK]o>kH
• 可以产生一般的二维图案. e KuF7Oo
• 单色光和白光的整形. (:]+IjnE
 w)&4i$Lk6
六角形透镜阵列可以用来产生六角形光分布. #" "T>+
衍射扩散器 cBbumf 9C
h=6D=6c
衍射扩散器，如相位板和计算机生成全息图，是经过计算机优化的表面轮廓散射元件，衍射扩散器有以下光学性质： 2&pE
• Diffuser在一目标平面上产生大量的重叠斑点（衍射级次）. gB%"JDn8
• 生成任意的二维图案. W!"QtEJ,
• 仅用于单色LED或准分子激光. s1sn, ?
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4个高度水平的衍射扩散器的表面轮廓 qnQ".
单元阵列 o\><e1P
#Muh|P]%\
光栅，棱镜和反射镜单元阵列由小矩形单元组成，将光偏转到目标平面上的特定位置。单元阵列具有以下光学特性： | Vlx :
• 通过控制光栅，微棱镜或微反射镜的倾角和周期来将光偏转到目标面上. o7Z 8O,;
• 光学分辨率取决于单元孔径的衍射. k;J DVRL
• 产生任意的二维图案. 4i&Rd1#0dI
• 用于单色光和白光. Dk$<fMS,7c
 9
!UNO
由LightTrans.设计的光栅单元阵列的SEM成像 .v}| Tp&k
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