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均匀化的概念 x /xd XonI VirtualLab光学仿真和设计软件能够设计用于LED和准分子激光均匀化和整形的照明系统。可以通过微型光学元件来实现光束的均匀化和整形，例如： H?W8_XiN • 微透镜阵列 R[{s\ • 衍射扩散器 M3/ _E7Qoj • 计算机生成的全息图 'n0u6hCSb • 相位板 fKjUEMRK • 单元阵列 ,]qTJ`J
.Pi8c[ 红色LED照射衍射扩散器产生的天际线图案 `dK%I
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光学仿真和设计包括: BaUcmF2Q • 衍射 Gtpl5g QH • 干涉 tv8}O([ • 空间和时间相干度 ew{(@p+$ • 像差 n*vzp?+Y • 偏振 '+* {u]\ • 光强 c2d=dGP>~f
13K fI 应用 gdkQ
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AQa;D2B$ 用于LED和准分子激光均匀化的微光学照明系统可以用在各个领域，包括： / 1R` E 9 • 信息显示 tNbZ {=I> • 测量系统 o2#_CdU • 室内照明 cop \o4ia • 汽车 R@Kzdeo • 军事 =w <;tb • 光刻 i $: QOMA
U" ;8zplU 用于白光LED消色差整形的微透镜阵列的3D表面 fNTe_akp 优点Benefits %a n&lcoX
\>@QJ 微光学元件的照明系统有以下几大优点： h aW*W=kv) • 可实现LED 和准分子激光的均匀化和整形. XAF*jevr • 产生任意的二维图案. _6k ej#o8 • 对光源辐射特性变化的低灵敏度. }4A $j{\ • 非常紧凑的照明系统. smTPca)7s  &q0s8'qA 包含一个光栅元胞阵列的照明系统 光线追迹模拟
236,o
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微透镜阵列，也叫做“蝇眼聚光器”可以被用在LED和准分子激光器均质化的各种光学装置中，微透镜阵列有以下光学特性： 0k\BE\PQk
• 光分布整形取决于透镜口径和透镜表面. N|53|H
• 常被用来产生圆形、矩形和六角形光分布. i r/-zp_
• 可以产生一般的二维图案. Q5~Y;0'
• 单色光和白光的整形. "Gh5
^$w?j
 yE4X6
六角形透镜阵列可以用来产生六角形光分布. fce~a\y0
衍射扩散器 O${B)C,
+#a_Y
衍射扩散器，如相位板和计算机生成全息图，是经过计算机优化的表面轮廓散射元件，衍射扩散器有以下光学性质：
f7_EqS=(
• Diffuser在一目标平面上产生大量的重叠斑点（衍射级次）. 6) _sv tg
• 生成任意的二维图案. x%d\}%]
• 仅用于单色LED或准分子激光. /3mt=1/~{B
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4个高度水平的衍射扩散器的表面轮廓 ) ir*\<6Y=
单元阵列 9C_Vb39::$
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光栅，棱镜和反射镜单元阵列由小矩形单元组成，将光偏转到目标平面上的特定位置。单元阵列具有以下光学特性： v@^P4cu;
• 通过控制光栅，微棱镜或微反射镜的倾角和周期来将光偏转到目标面上. >/5'0n_R
• 光学分辨率取决于单元孔径的衍射. Nxd<#p
• 产生任意的二维图案. ;:5Ahfo \
• 用于单色光和白光. XD= p:Ezh
 i,z^#b7JQ
由LightTrans.设计的光栅单元阵列的SEM成像 8n1<nS<
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