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87/!u]q 均匀化的概念 pNOVyyo>BW &cjE+ VirtualLab光学仿真和设计软件能够设计用于LED和准分子激光均匀化和整形的照明系统。可以通过微型光学元件来实现光束的均匀化和整形,例如: RwH<JaL: • 微透镜阵列 DzZ)aE • 衍射扩散器 @ljvTgZ(X • 计算机生成的全息图 }yCw|B|a • 相位板 -Cb<T"7 • 单元阵列 !J34yro+s sZ,MN F8i 红色LED照射衍射扩散器产生的天际线图案 dcFqK~ 光学仿真和设计包括: L*ZC`
.h • 衍射 ];bl;BP • 干涉 rm7$i9DH2 • 空间和时间相干度 btq`[gAF\ • 像差 wi#]*\N\9 • 偏振 S
("Zzq` • 光强 l2DhFt$!= tK<GU.+ 应用 :n3)vK +39Vxe:Oy 用于LED和准分子激光均匀化的微光学照明系统可以用在各个领域,包括: G)(\!0pNZ • 信息显示 ],*^wQ • 测量系统 >*xa\ve • 室内照明 5XO eYO{ • 汽车 FHNK%Ko • 军事 :Zy7h7P,lT • 光刻 `aFy2x`3 Da)rzr|}>3 用于白光LED消色差整形的微透镜阵列的3D表面 32_{nLV$[ 优点Benefits 4X2XSK4 &9CKI/K: 微光学元件的照明系统有以下几大优点: v1hrRf2< • 可实现LED 和准分子激光的均匀化和整形. ALw5M'6q0\ • 产生任意的二维图案. GW]E,a • 对光源辐射特性变化的低灵敏度. K)2ZH@ • 非常紧凑的照明系统. uN`{; Av &Mset^o 包含一个光栅元胞阵列的照明系统 光线追迹模拟 微透镜阵列 Gt&x< CIt>D'/YT 微透镜阵列,也叫做“蝇眼聚光器”可以被用在LED和准分子激光器均质化的各种光学装置中,微透镜阵列有以下光学特性: LGN,8v<W( • 光分布整形取决于透镜口径和透镜表面. mU1lEx$ • 常被用来产生圆形、矩形和六角形光分布. 6qA48:/F= • 可以产生一般的二维图案. M\wIpRD, • 单色光和白光的整形. a:jRQ-F)
r`]&{0}23 六角形透镜阵列可以用来产生六角形光分布. <BIj
a 衍射扩散器 $or?7 w> fH.:#O: 衍射扩散器,如相位板和计算机生成全息图,是经过计算机优化的表面轮廓散射元件,衍射扩散器有以下光学性质: %Z-^Bu8;y • Diffuser在一目标平面上产生大量的重叠斑点(衍射级次). !F0MLvdX7^ • 生成任意的二维图案. %?^T^P • 仅用于单色LED或准分子激光. V:h-K`~/
GS |sx 4个高度水平的衍射扩散器的表面轮廓 9X8{"J 单元阵列 7<Fp3N 3 (~/VP3.S 光栅,棱镜和反射镜单元阵列由小矩形单元组成,将光偏转到目标平面上的特定位置。单元阵列具有以下光学特性: o5 6_t{< • 通过控制光栅,微棱镜或微反射镜的倾角和周期来将光偏转到目标面上. .O[RE_j • 光学分辨率取决于单元孔径的衍射. $'3`$
• 产生任意的二维图案. W G2 E3y • 用于单色光和白光. .I{b]6
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xXzLT 由LightTrans.设计的光栅单元阵列的SEM成像 !dfc1 UjB
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