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简介 #4//2N m4Wn$Z 本文提出并演示了一种以二维光栅耦出的光瞳扩展(EPE)系统优化和公差分析的仿真方法。 h0.Fstf] `6mHt6"h 在这个工作流程中,我们将使用3个软件进行不同的工作 ,以实现优化系统的大目标。首先,我们使用 Lumerical 构建光栅模型并使用 RCWA 进行仿真。其次,我们在 OpticStudio 中构建完整的出瞳扩展系统,并动态链接到 Lumerical 以集成精确的光栅模型。最后,optiSLang 用于通过修改光栅模型来全面控制系统级优化,以实现整个出瞳扩展系统所需的光学性能。 \ @N> 38M &ApJ'uC 本篇文章分为上下两个部分(点此查看上部分) ,下将详细描述“第3步:优化设置的内容”。(联系我们获取文章附件) 1wc
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80<t 概述 D hZtiqL#_ 4E
|6l 我们将首先在 Lumerical 和 OpticStudio 中构建仿真系统,它们是动态链接的。 Xp} vJl Xb^\{s?b 然后,OpticStudio 通过 Python 节点链接到 optiSLang 进行优化,如图1所示。 f6L_uk`{ LDBR4@V 8nnkv,wa m]-8?B1`Y 图1 Lumerical通 过动态链接到 OpticStudio,OpticStudio 通过 Python 节点链接到 optiSLang,优化由 optiSLang 控制。 Yn<0D|S;X {my=Li< |