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简介 1xh7KBr, BL"7_phM, 本文提出并演示了一种以二维光栅耦出的光瞳扩展(EPE)系统优化和公差分析的仿真方法。 yO* <$otBC/% 在这个工作流程中,我们将使用3个软件进行不同的工作 ,以实现优化系统的大目标。首先,我们使用 Lumerical 构建光栅模型并使用 RCWA 进行仿真。其次,我们在 OpticStudio 中构建完整的出瞳扩展系统,并动态链接到 Lumerical 以集成精确的光栅模型。最后,optiSLang 用于通过修改光栅模型来全面控制系统级优化,以实现整个出瞳扩展系统所需的光学性能。 25@@-2h @ 1-&L-c. 本篇文章分为上下两个部分(点此查看上部分) ,下将详细描述“第3步:优化设置的内容”。(联系我们获取文章附件) >VX'`5r>uw tCar:p4$ 概述 ,H^!G\ PrA(==FX/ 我们将首先在 Lumerical 和 OpticStudio 中构建仿真系统,它们是动态链接的。 0'YJczDq:7 >7S@3,C3ke 然后,OpticStudio 通过 Python 节点链接到 optiSLang 进行优化,如图1所示。 )}t't" LIQ].VxIs xtLP4VL 5Z6MQ`(k 图1 Lumerical通 过动态链接到 OpticStudio,OpticStudio 通过 Python 节点链接到 optiSLang,优化由 optiSLang 控制。 mVh;=>8K @2*Q* 如图2所示,EPE 系统包括两个用于耦入和耦出的光栅。耦出光栅分为几个区,如左侧所示。每个区都将经过优化,以具有不同的光栅形状。右图显示了光在 k 空间中的传播的变化情况。 2% OAQ( #N'9
w . )feZ&G] l=((>^i 图 2 光栅布局图以及光线在K空间的传播 jIVD i~Ld bSz7?NAp 第3步:优化设置(optiSLang) qd#7A ksm {8`$~c 3-2.参数系统 >}W[>WReI 准备好 Python 代码后,我们就可以开始在 optiSLang 中进行优化了。第一步是在 optiSLang 中打开一个空文件,拖动求解器向导,放入 scenery 中,然后选择 Python 集成。 J_m@YkK vLyazVj.. GNq
f Pz\K3- 如下所示,会弹出向导窗口 ,显示 Python 代码。我们将首先通过右键单击变量(如 clen1)来设置参数,然后选择用作参数。我们将对从 clen1 到 power 的所有变量执行此操作。如下所示,所选变量将显示为左列“参数”。 r\Kcg~D> c %Cbq0+2 P=\{ F*r) 设置完参数后,我们应该测试 Python 代码是否可以成功运行。为此,我们应该打开 OpticStudio 并打开交互式扩展模式,如下所示。然后在求解器向导中,我们可以单击向下箭头并选择“Test run with inputs”,如下所示。如果它运行良好,您应该看到,在 OpticStudio 窗口中,交互式扩展的对话框将显示为“已连接”。 _L$a[zH )5gj0#|CG@ Xc}XRKiy{ Zj'%c2U_ 如果测试运行失败,其中一个可能的原因是 Python 环境不对。用户可以更改设置,如下所示,以查看是否可以解决问题。 i1-%#YYF( gZ7R^]
k />/e Gn_DIFa 计算完成后(在我们的测试中大概需要 13 分钟),我们应该在日志中看到消息“Manual test run successfully processed”,如下所示。现在,如果我们转到***.opd文件夹(可以通过右键单击系统头并选择“show working directory”轻松访问),我们可以找到辐照分布被导出到文件夹 w`V6vYd@ “\Parametric_solver_system\design_data”中,这是 Python 代码中指定的路径。 +}a(jO fwV2b<[ v+W'0ymbnV f.+1Ubq!5 类似于对参数的设置,我们可以对结果做相同的操作。在这里,我们将右键单击 Python 代码中的变量“Uniformity”, “Contrast”, 和 “TotalPower”然后选择“Use as response”。然后,这 3 个变量将在 Responses 的右侧列中显示。 |5O>7~Tp f5FEHyj| .g\Oj0Cbxh q CYu@Ho 向导的下一页要求用户定义每个参数的参考值和范围。参考值将只遵循我们在上一步中设置参数时的定义。范围由设计师决定,没有标准参考值。用户可以在下载链接中查看随附的 optiSLang 文件,作为在优化过程中确定范围的参考。请注意,此范围是绝对的。在优化过程中,参数不会突破边界。这与 Zemax OpticStudio 优化的设置不同。 N& |