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~MhgAC 内容简介 .0
s[{x Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 Xq,UV 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 >~5lYD 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 cPq Dsl3 <G~}N 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 .~. ``a 目录 IpWy)B>Fl3 Preface 1 UCn*UX 内容简介 2 MX!u$ei 目录 i ;-KAUgL2 1 引言 1 0%xR<<gir 2 光学薄膜基础 2 yn/?=
?0 2.1 一般规则 2 GOy=p3mQ 2.2 正交入射规则 3 j3x^<a\gJ 2.3 斜入射规则 6 (C`FicY 2.4 精确计算 7 pg~zUOY 2.5 相干性 8 }+91s'/c 2.6 参考文献 10 AT B\^;n. 3 Essential Macleod的快速预览 10 Q_&}^ 4 Essential Macleod的特点 32 w]>"'o{{ 4.1 容量和局限性 33 Gnbfy4Z 4.2 程序在哪里? 33 ]d@^i)2LF 4.3 数据文件 35 qwq/Xcv 4.4 设计规则 35 $Wit17j 4.5 材料数据库和资料库 37 ?HrK\f3wWO 4.5.1材料损失 38 {&2$[g=[ ^ 4.5.1材料数据库和导入材料 39 tcBC!_vF 4.5.2 材料库 41 .:}.b"%m 4.5.3导出材料数据 43 1)TK01R8 4.6 常用单位 43 vkd[:CC 4.7 插值和外推法 46 '[Mlmgc5 4.8 材料数据的平滑 50 :s'o~
4.9 更多光学常数模型 54 xGYSi5}z 4.10 文档的一般编辑规则 55 ZCy`2Fir 4.11 撤销和重做 56 &w+;N5}3 4.12 设计文档 57 -1qZqU$h 4.10.1 公式 58 fCgBH~w,9 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 ry.;u*F 4.10.3 沉积密度 59 *#3*;dya] 4.10.4 平行和楔形介质 60 C=fsJ=a5; 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 $/u1chf 4.10.4 性能 61 5Z/yhF.{ 4.10.5 保存设计和性能 64 Dt.0YKF 4.10.6 默认设计 64 lj.nCV_ 4.11 图表 64 ;mEwQ 4.11.1 合并曲线图 67 T}C2e! _O 4.11.2 自适应绘制 68 r& vFikIz 4.11.3 动态绘图 68 7OB%A& 4.11.4 3D绘图 69 Q*]$)D3n 4.12 导入和导出 73 Lj}>Xy(7< 4.12.1 剪贴板 73 C>.e+V+': 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 B\\6# 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 !Citzor 4.13 背景 77 #@ 9)h 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 ]b 3/Es+ 4.15 生成Rugate 84 >A-<ZS*N 4.16 参考文献 91 6gXIt9B.h$ 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 $tI]rU 5.1 Jobs 92 Y 4d3n 5.2 创建一个新Job(工作) 93 >D 97c|?c 5.3 输入材料 94 g3Z:{@m 5.4 设计数据文件夹 95 wZ#Rlv,3Wa 5.5 默认设计 95 ).LTts7c 6 细化和合成 97 pgT9hle/ 6.1 优化介绍 97 COR;e`%, 6.2 细化 (Refinement) 98 8O>}k 6.3 合成 (Synthesis) 100 -;^;2#](g 6.4 目标和评价函数 101 oizT-8i@N 6.4.1 目标输入 102 d')-7C 6.4.2 目标 103 /D<"wF }@J 6.4.3 特殊的评价函数 104 2K;#Evn'j 6.5 层锁定和连接 104 )l_@t(_ 6.6 细化技术 104 g?B3!,!9 6.6.1 单纯形 105 rz6uDJ" 6.6.1.1 单纯形参数 106 ] /+D^6 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 []|;qHhC~( 6.6.2.1 Optimac参数 108 wJgX/W 6.6.3 模拟退火算法 109 } ^i b 6.6.3.1 模拟退火参数 109 9:5:`'b 6.6.4 共轭梯度 111 SyO79e*t 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 Ir5WN_EaS 6.6.5 拟牛顿法 112 ~4\,&HH 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 Z?oG*G: 6.6.6 针合成 113 qos`!=g? 6.6.6.1 针合成参数 114 [*)Z!) 6.6.7 差分进化 114 .x!T+`l>8I 6.6.8非局部细化 115 H6gU?9% 6.6.8.1非局部细化参数 115 I^D0<lHl~ 6.7 我应该使用哪种技术? 116 RsW9:*R 6.7.1 细化 116 YzAFC11, 6.7.2 合成 117 'Hw4j:pS 6.8 参考文献 117 H6&7\Wbk 7 导纳图及其他工具 118 6 "U8V?E 7.1 简介 118 f6!D L< 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 . w H*sb 7.2.1 四分之一波长规则 119 |ETiLR=& 7.2.2 导纳图 120 mf' ]O, 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 *#y;8 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 HRB[GP+ 7.5 斜入射导纳图 141 !g>.i` 7.6 对称周期 141 aQ#qRkI 7.7 参考文献 142 ?7[alV ~ 8 典型的镀膜实例 143 WA$JI@g 8.1 单层抗反射薄膜 145 &3Z?UhH 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 a{SBCy 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 [BM*oEFPB* 8.4 W-膜层 148 T@[! A); 8.5 V-膜层 149 fQ 7vL~E 8.6 V-膜层高折射基底 150 N
j4IQ<OV 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 0:&ZnE}## 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 b.F^vv"]] 8.9 四层抗反射薄膜 153 G^wtE90 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 ~ttY(wCV 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 K>2 #UzW 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 Kmz7c| 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 FJNF%a)x2I 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 PXzT6) 8.15十五层宽带抗反射膜 159 T[?6[,. 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 _q?<at}y 8.17 1/4波长堆栈 162 0)!Ll*L!p 8.18 陷波滤波器 163 1mH%H*# 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 ^YvB9XN 8.20 褶皱 165 X"q!Y#) 8.21 消偏振分光器1 169 a%BeqSZh 8.22 消偏振分光器2 171 FP^{=0 8.23 消偏振立体分光器 172 ]3Dl)[R
8.24 消偏振截止滤光片 173 Ad$n4Ze 8.25 立体偏振分束器1 174 AoaN22 8.26 立方偏振分束器2 177 xJZ@DR,# 8.27 相位延迟器 178 2;`=P5V 8.28 红外截止器 179 %7hB&[ 5 8.29 21层长波带通滤波器 180 2Y!S_Hw8 8.30 49层长波带通滤波器 181 Bi3+)k>u7 8.31 55层短波带通滤波器 182 LN2D 8.32 47 红外截止器 183 Oco YV J 8.33 宽带通滤波器 184 =Gk/k}1 8.34 诱导透射滤波器 186 J#2!ZQE
3 8.35 诱导透射滤波器2 188 C'A]i5 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 wsU V;S*X% 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 _7T@5\b:; 8.35 增益平坦滤波器 193 jZoNi 8.38 啁啾反射镜 1 196 !0,Mp@ j/ 8.39 啁啾反射镜2 198 EGq;7l6u&? 8.40 啁啾反射镜3 199 [&?8,Q( 8.41 带保护层的铝膜层 200 sj?3M@l95W 8.42 增加铝反射率膜 201 2[fN\e{ 8.43 参考文献 202 j2l55@ 9 多层膜 204 X+k}2HvNG 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 WQNE2Q 9.2 内部透过率 204 Xjio Z 9.3 内部透射率数据 205 Gfp1mev 9.4 实例 206 X^9d/}uTa 9.5 实例2 210 eP.Vd7ky 9.6 圆锥和带宽计算 212 k>jbcSY(z< 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 llV3ka^! 10 光学薄膜的颜色 216 ;6ecrQMw& 10.1 导言 216 eM7Bc4V 10.2 色彩 216 6[E| 10.3 主波长和纯度 220 9`//^8G:= 10.4 色相和纯度 221 6]zd.W 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 YW@#91. 10.6 色差 226 `+:.L>5([ 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 ig LMv+{ 10.8 颜色渲染指数 234 ^ci3F<?Q= 10.9 色差计算 235 *+'2?* 10.10 参考文献 236 "P-lSF?T 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 *=V7@o 11.1 短脉冲 238 W|:lVAP.|} 11.2 群速度 239 me6OPc;:! 11.3 群速度色散 241 C;QAT 11.4 啁啾(chirped) 245 +
b$=[nfG 11.5 光学薄膜—相变 245 \#-W
< 11.6 群延迟和延迟色散 246 65h @}9,U 11.7 色度色散 246 +Q=1AXe 11.8 色散补偿 249 ]u l$* 11.9 空间光线偏移 256 `@[c8j7 11.10 参考文献 258 B+C);WQ, 12 公差与误差 260 Uy
? 12.1 蒙特卡罗模型 260 ,lA.C%4au~ 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 6
5y+Z 12.2.1 误差工具 267 mbnV[ 12.2.2 灵敏度工具 271 {!|}=45Z 12.2.2.1 独立灵敏度 271 rqPFU6 12.2.2.2 灵敏度分布 275 >>aq,pH 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 )[mwP.T= 12.3 参考文献 276 G7--v,R1x 13 Runsheet 与Simulator 277 7XKY]|S,' 13.1 原理介绍 277 \0lnxLA 13.2 截止滤光片设计 277 pj4!:{.; 14 光学常数提取 289 Hqnxq 14.1 介绍 289 2aJS{[ 14.2 电介质薄膜 289 8]4U`\k4 14.3 n 和k 的提取工具 295 :=%0Mb: 14.4 基底的参数提取 302 ZxV"(\$n 14.5 金属的参数提取 306 I$E.s*B9 14.6 不正确的模型 306 b@3_L4~ 14.7 参考文献 311 pfu1O6R 15 反演工程 313 JpsPNa 15.1 随机性和系统性 313 ~4P%%b0,o 15.2 常见的系统性问题 314 I;Vu W 15.3 单层膜 314 pdJ/&ufh 15.4 多层膜 314 lWBb4 !l 15.5 含义 319 bAKiq}xG%i 15.6 反演工程实例 319 MlLb|!,)T 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 |6=p{y 15.6.2 反演工程提取折射率 327 N2.AKH 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 ={LMdC~5X 16.1 光学性质的热致偏移 329 >.dWjb6t 16.2 应力工具 335 \J+* 16.3 均匀性误差 339 "4vy lHIo 16.3.1 圆锥工具 339 s
w39\urf 16.3.2 波前问题 341 F(na{<g}; 16.4 参考文献 343 kP/M<X" 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 6s0_#wZC 17.1 引言 345 5M9 I, 17.2 操作数 345 0b4R 18 如何在Function中编写脚本 351 22f`LoM 18.1 简介 351 [<'-yQ{l\ 18.2 什么是脚本? 351 5@^ dgq 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 Q{B}ef 18.4 基础 352 LM&y@"wfm 18.4.1 Classes(类别) 352 CHV*vU<N 18.4.2 对象 352 $Of0n` e 18.4.3 信息(Messages) 352 !"8fdSfg
w 18.4.4 属性 352 p~*UpU8u 18.4.5 方法 353 ,t\* ZTt$ 18.4.6 变量声明 353 R(n^)^? 18.5 创建对象 354 V+I|1{@i0 18.5.1 创建对象函数 355 `7/Y@}n 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 2h[85\4 18.5.3 丢弃对象 356 [HCAmnb 18.5.4 总结 356 i hh/sPi 18.6 脚本中的表格 357 sZW^!z 18.6.1 方法1 357 1Bpv"67 18.6.2 方法2 357 5Ri6Z#qm 18.7 2D Plots in Scripts 358 e9Nk3Sj] 18.8 3D Plots in Scripts 359 gn3jy^5 18.9 注释 360 meOMq1 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 Zh_|m#) 18.11 一个更高级的脚本 362 JPGzrEaZ 18.12 <esc>键 364 i\W/C 18.13 包含文件 365 >@"Oe 18.14 脚本被优化调用 366 irN6g#B?
18.15 脚本中的对话框 368 T0&f8 18.15.1 介绍 368 C-iK$/U 18.15.2 消息框-MsgBox 368 ;]_o4e6\p 18.15.3 输入框函数 370 A^p[52` 18.15.4 自定义对话框 371 {J^lX/D 18.15.5 对话框编辑器 371 n> ^[T[.S 18.15.6 控制对话框 377 1UKg=A-q 18.15.7 更高级的对话框 380 (
H6c{'& 18.16 Types语句 384 :>+s0~ 18.17 打开文件 385 cK 06]-Y 18.18 Bags 387 1x[)/@.'f 18.13 进一步研究 388 rL}YLR 19 vStack 389 ?2>FdtH 19.1 vStack基本原理 389 nxr!`^Mne 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 ;pnD0bH 19.3 五棱镜 393 jAud {m*T 19.4 光束距离 396 /{|fyKo\? 19.5 误差 399 Zfyo-Wk 19.6 二向分色棱镜 399 L:9F:/G 19.7 偏振泄漏 404 H/Llj.-jg 19.8 波前误差—相位 405 23h%
< , 19.9 其它计算参数 405 K# Jk _"W 20 报表生成器 406 L(U"U#QZ 20.1 入门 406 Fy.\7CL> 20.2 指令(Instructions) 406 5< ja3 20.3 页面布局指令 406 @'|)~,"bx 20.4 常见的参数图和三维图 407 KCWc`Oz 20.5 表格中的常见参数 408 Ntbg`LGf'! 20.6 迭代指令 408 mW:!M!kk 20.7 报表模版 408 z`\F@pX%wC 20.8 开始设计一个报表模版 409 x:QgjK 21 一个新的project 413 zD<or&6 21.1 创建一个新Job 414 f4BnX(1u 21.2 默认设计 415 VqS#waNrx 21.3 薄膜设计 416 |_yYLYH'
21.4 误差的灵敏度计算 420 aJcf`<p 21.5 显色指数计算 422 HQB(* 21.6 电场分布 424 ahPoEh 后记 426 z(H^..<!5
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