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7<^'DOs 内容简介 }C=Quy%Z< Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 (FM4 ^#6 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 fucUwf\_ 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 N g58/}zO ;5<P|:^ 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 q#;BhPc 目录 FI\IY
R Preface 1 1+R:3(AC 内容简介 2 'KSa8;:=C 目录 i ]} '^` 1 引言 1 ^rL,&rk 2 光学薄膜基础 2 dY1J<L}") 2.1 一般规则 2 "cwR^DoD& 2.2 正交入射规则 3 /E)9v$! 2.3 斜入射规则 6 >&BrCu[u 2.4 精确计算 7 [d}qG#N 2.5 相干性 8 e{5,'(1] 2.6 参考文献 10 x7f:F. 3 Essential Macleod的快速预览 10 3Q",9(D 4 Essential Macleod的特点 32 ~u!gUJ: 4.1 容量和局限性 33 @\ }sb] 4.2 程序在哪里? 33 QW2?n`Fa9- 4.3 数据文件 35 P2Onkl 4.4 设计规则 35 4K E)g 4.5 材料数据库和资料库 37 M^uU4My 4.5.1材料损失 38 5lO^;.cS, 4.5.1材料数据库和导入材料 39 w}d}hI 4.5.2 材料库 41 N?$7Z v[G 4.5.3导出材料数据 43 qh$X^%g 4.6 常用单位 43 )Lb72;!? 4.7 插值和外推法 46 .?f:Nb.O 4.8 材料数据的平滑 50 J2'K?|,m 4.9 更多光学常数模型 54 |-n
('gQ[ 4.10 文档的一般编辑规则 55 57U%` 4.11 撤销和重做 56 $R"; 4.12 设计文档 57 E[UO5X
4.10.1 公式 58 HM):" 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 IQIbz{bMx 4.10.3 沉积密度 59 dsK/6yu 4.10.4 平行和楔形介质 60 @LcT-3 u 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 lj*8mS/;h 4.10.4 性能 61 :Dayv6g 4.10.5 保存设计和性能 64 q@%h^9. 4.10.6 默认设计 64 WV2~(/hX& 4.11 图表 64 )=Zsv40O 4.11.1 合并曲线图 67 FOSbe] 4.11.2 自适应绘制 68 p'80d: 4.11.3 动态绘图 68 b_vVB`> 4.11.4 3D绘图 69 *qG$19b 4.12 导入和导出 73 O4E(R?wd 4.12.1 剪贴板 73 awFhz 6 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 Jh?z=JY 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 :c=v} 4.13 背景 77 HVGr-/ 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 3%2jwR 4.15 生成Rugate 84 x<s|vgl| 4.16 参考文献 91 7WP%J-
5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 |Ytg 5.1 Jobs 92 -E]Sk&4Gj 5.2 创建一个新Job(工作) 93 y:,9I`aW 5.3 输入材料 94 <5I1 DF[ 5.4 设计数据文件夹 95 5U~OP 5.5 默认设计 95 y
AOg\+ 6 细化和合成 97 <m0{'xw 6.1 优化介绍 97 U*qNix 6.2 细化 (Refinement) 98 -;>#3O- 6.3 合成 (Synthesis) 100 ib]vX- 6.4 目标和评价函数 101 (z2Z)_6L*L 6.4.1 目标输入 102 MRs,l' 6.4.2 目标 103 74_xR 6.4.3 特殊的评价函数 104 ~:EW>Fq%i 6.5 层锁定和连接 104 O3Uh+gKQ 6.6 细化技术 104 qg4fR' i 6.6.1 单纯形 105 YjLe(+WQ 6.6.1.1 单纯形参数 106 (Y2mmd 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 sAYV)w3u" 6.6.2.1 Optimac参数 108 7)J6/(' 6.6.3 模拟退火算法 109 {zP#woz2Q 6.6.3.1 模拟退火参数 109 |sf*hlrJ 6.6.4 共轭梯度 111 i3PKqlp. 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 4LsHs 6.6.5 拟牛顿法 112 U^rm:*f 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 P"F{=\V1`< 6.6.6 针合成 113 k_?~<vTM 6.6.6.1 针合成参数 114 ]'k[u 6.6.7 差分进化 114 6IP$n($2 6.6.8非局部细化 115 Yj|]Uff8O 6.6.8.1非局部细化参数 115 .45^=2NGmQ 6.7 我应该使用哪种技术? 116 Z>2]Xx%
\ 6.7.1 细化 116 ]*;F. pZ 6.7.2 合成 117 Q0~j$Jc 6.8 参考文献 117 2]2H++ 7 导纳图及其他工具 118 >zmzK{A= 7.1 简介 118 #*2Rp8n 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 FZXyfZw!| 7.2.1 四分之一波长规则 119 DMd ,8W7a 7.2.2 导纳图 120 =IHje;s 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 O@jqdJu 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 "-
eZZEl( 7.5 斜入射导纳图 141 *vnXlV4L 7.6 对称周期 141 yN\e{;z` 7.7 参考文献 142 }1U*A#aN7K 8 典型的镀膜实例 143 =nU/ [T. 8.1 单层抗反射薄膜 145 ZJ(rG((! 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 a2yE:16o6 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 i8~$o:&HT 8.4 W-膜层 148 } 0M{A+ 8.5 V-膜层 149 vv.PF~: 8.6 V-膜层高折射基底 150 f^9&WT 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 Rri`dmH 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 vZkXt!%) 8.9 四层抗反射薄膜 153 8!zbF<W9 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 G {b:i8}l 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 PAZ$_eSK6 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 {DBIonY]; 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 S|K}k:v8 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 vM`~)rO@! 8.15十五层宽带抗反射膜 159 z[9UQU~x? 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 /IR#A%U 8.17 1/4波长堆栈 162 6OB" , 8.18 陷波滤波器 163 Mw^*yW 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 <>=mCZ2 8.20 褶皱 165 jN/ j\x' 8.21 消偏振分光器1 169 8_xLl2 8.22 消偏振分光器2 171 (oaYF+T 8.23 消偏振立体分光器 172 3t(c_:[% 8.24 消偏振截止滤光片 173 ^od<JD4 8.25 立体偏振分束器1 174 'jvpNn 8.26 立方偏振分束器2 177 ut&/\k=N 8.27 相位延迟器 178 Y~qb;N\ 8.28 红外截止器 179 FifbxL 8.29 21层长波带通滤波器 180 o\6iq 8.30 49层长波带通滤波器 181 ^8K/xo- 8.31 55层短波带通滤波器 182 ctI{^f: 8.32 47 红外截止器 183 9y~"|t 8.33 宽带通滤波器 184 4#)6.f~ 8.34 诱导透射滤波器 186 P5?<_x0v4b 8.35 诱导透射滤波器2 188 ,X/- 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 }9&9G% 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 n%$ &=-Fk 8.35 增益平坦滤波器 193 lS9n@ 8.38 啁啾反射镜 1 196 #I%s3 8.39 啁啾反射镜2 198 ^Mytp> 7 8.40 啁啾反射镜3 199 {gU&%j 8.41 带保护层的铝膜层 200 =u|~
<zQw 8.42 增加铝反射率膜 201 8_Z/ o5s 8.43 参考文献 202 YBjdp=als 9 多层膜 204 V3.t;.@ 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 sN/+ 9.2 内部透过率 204 keCRvl Z4 9.3 内部透射率数据 205 Cs1>bpY*R6 9.4 实例 206 kso*} uh0 9.5 实例2 210 97LpY_sU 9.6 圆锥和带宽计算 212 ]vo_gKZ 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 4~|<`vqN 10 光学薄膜的颜色 216 36$[ 10.1 导言 216 Z[ZDQ o1 10.2 色彩 216 !ALZBB .r( 10.3 主波长和纯度 220 LE;g
0s 10.4 色相和纯度 221 A6p`ma $L 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 l[YEKg 10.6 色差 226 urZ8j?}c 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 (|u31[ 10.8 颜色渲染指数 234 g>0vm2| 10.9 色差计算 235 EUcKN1 10.10 参考文献 236 {9'M0= 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 EW(J5/mn 11.1 短脉冲 238 Yx%bn?%;& 11.2 群速度 239 [m2+9MMl 11.3 群速度色散 241 !O)qYmK]| 11.4 啁啾(chirped) 245 PRr*]$\&Mj 11.5 光学薄膜—相变 245 xPC"c* 11.6 群延迟和延迟色散 246 U[||~FW' 11.7 色度色散 246 `ROG~0lN( 11.8 色散补偿 249 `X8@/wf# 11.9 空间光线偏移 256 LWmB,
Zf/ 11.10 参考文献 258 &<1`O 12 公差与误差 260 FPv"N'/ 12.1 蒙特卡罗模型 260 Y25uU%6t_ 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 )[&zCqDc 12.2.1 误差工具 267 #`ejU &!6 12.2.2 灵敏度工具 271 \:/Lc{*}MD 12.2.2.1 独立灵敏度 271 |wp,f%WK 12.2.2.2 灵敏度分布 275 _\zQ"y|G 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 3S"] u} 12.3 参考文献 276 d3^7ag% 13 Runsheet 与Simulator 277 IeTdN_8 13.1 原理介绍 277 sb.J
bE8
13.2 截止滤光片设计 277 AsxD}Nw[Z* 14 光学常数提取 289 ?R'Y?b 14.1 介绍 289 Pe$6s:|NS 14.2 电介质薄膜 289 #oV+@D` 14.3 n 和k 的提取工具 295 \l,rpVv5m 14.4 基底的参数提取 302 s3
B'>RG} 14.5 金属的参数提取 306 )K0i@hM(n 14.6 不正确的模型 306 wCb(>pL0 14.7 参考文献 311 yyP-=Lhmo= 15 反演工程 313 GP,<`l& 15.1 随机性和系统性 313 @x{`\AM|% 15.2 常见的系统性问题 314 ;y1Q6eN 15.3 单层膜 314 &Lj@9\Dh 15.4 多层膜 314 reiU%C 15.5 含义 319 UA-7nb 15.6 反演工程实例 319 ..qd,9H 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 A
Y9
9!p 15.6.2 反演工程提取折射率 327 tP(h9|[N 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 I:=dG[\h2 16.1 光学性质的热致偏移 329 ?IW_O~Js 16.2 应力工具 335 1W,(\'^R 16.3 均匀性误差 339 74J@F2g}? 16.3.1 圆锥工具 339 AEg(m<t 16.3.2 波前问题 341 ;O=h$8] 16.4 参考文献 343 7P**:b 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 !:0v{ZQ 17.1 引言 345 !1Y&Y@ze 17.2 操作数 345 g>j| ]6 18 如何在Function中编写脚本 351 NiSO'=y$n 18.1 简介 351 @WOM#Kc 18.2 什么是脚本? 351 p
EusTP 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 ?IhB-fd>@ 18.4 基础 352 %&+59vq 18.4.1 Classes(类别) 352 nC njq= 18.4.2 对象 352 ]r/^9XaqtA 18.4.3 信息(Messages) 352 Fo|xzLm9*| 18.4.4 属性 352 m $dV< 18.4.5 方法 353 _D;@v?n6!O 18.4.6 变量声明 353 fZN><3MO> 18.5 创建对象 354 M\2"gT-LV 18.5.1 创建对象函数 355 5ukp^OxE 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 p 2O~>97t1 18.5.3 丢弃对象 356 +c$I&JO 18.5.4 总结 356 ocQWQ 18.6 脚本中的表格 357 1~yZ T 18.6.1 方法1 357 B6M+mx"G 18.6.2 方法2 357 1{PG>W 18.7 2D Plots in Scripts 358 gS9>N/b| 18.8 3D Plots in Scripts 359 Z~u9VYi! 18.9 注释 360 q31>uF 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 4<S' 18.11 一个更高级的脚本 362 mY-hN| 18.12 <esc>键 364 (?i[jO||B 18.13 包含文件 365 k&6I f0i 18.14 脚本被优化调用 366 ^twivNB 18.15 脚本中的对话框 368 $P {K2"Oc 18.15.1 介绍 368 T0QvnIaP 18.15.2 消息框-MsgBox 368 *b|NjwmB 18.15.3 输入框函数 370 ~)X[(T{ 18.15.4 自定义对话框 371 ?ny= 18.15.5 对话框编辑器 371 4g` jd 18.15.6 控制对话框 377 I9
64 18.15.7 更高级的对话框 380 !]koSw} 18.16 Types语句 384 +]wuJSxc 18.17 打开文件 385 X_ TiqV 18.18 Bags 387 N$I03m 18.13 进一步研究 388 k4\UK#ODe 19 vStack 389 w4};q%OBj 19.1 vStack基本原理 389 W6/ @W 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 S]>wc
yy=n 19.3 五棱镜 393 J7$_VP 19.4 光束距离 396 4[2_,9} 19.5 误差 399 X@wm1{! 19.6 二向分色棱镜 399 b{Zpux+ 19.7 偏振泄漏 404 2&LQg=O 19.8 波前误差—相位 405 ][@F 19.9 其它计算参数 405
6ghx3_%w 20 报表生成器 406 MZ4c{@Tg 20.1 入门 406 DtxE@, 20.2 指令(Instructions) 406 kdrod [S 20.3 页面布局指令 406 p.K*UP 20.4 常见的参数图和三维图 407 nvq3* 20.5 表格中的常见参数 408 4B[D/kIg 20.6 迭代指令 408 iz^qR={bW 20.7 报表模版 408 XEH}4;C'{ 20.8 开始设计一个报表模版 409 l|`^*%W@u6 21 一个新的project 413 ?+C V1 ] 21.1 创建一个新Job 414 qYB~VE03 21.2 默认设计 415 n D6G 21.3 薄膜设计 416 ](0mjE04<d 21.4 误差的灵敏度计算 420 4`v!Z#e/aX 21.5 显色指数计算 422 @tT-JwU 21.6 电场分布 424 d5m`Bm-{ 后记 426 3{7T4p.G
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