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3V=(P.A Tm 内容简介 w2*.3I,~)B Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 $ti*I;)h4 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 V11(EZJ/j 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 vW6
a=j8 ]U[y3 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 Xjb 4dip 目录 Xae0xs Preface 1 b"D? @dGB, 内容简介 2 ~K'e}<-G 目录 i RF3?q6j , 1 引言 1 7D'-^#S5 2 光学薄膜基础 2 'XW[uK]w) 2.1 一般规则 2 -,xCUG<g 2.2 正交入射规则 3 H~Z$ pk% 2.3 斜入射规则 6 y{&k`H 2.4 精确计算 7 4%! #=JCl 2.5 相干性 8
Zl,c+/ 2.6 参考文献 10 %>,B1nt 3 Essential Macleod的快速预览 10 #Z;6f{yWf 4 Essential Macleod的特点 32 8H2zMIB 4.1 容量和局限性 33 XKp$v']u 4.2 程序在哪里? 33 K4T#8K]aZF 4.3 数据文件 35 oJ\)-qSf 4.4 设计规则 35 oZM6%-@qi 4.5 材料数据库和资料库 37 $qz(9M(m# 4.5.1材料损失 38 b5!\"v4c 4.5.1材料数据库和导入材料 39 T,'{0q 4.5.2 材料库 41 l>(w] 4.5.3导出材料数据 43 u_kcuN\Sq
4.6 常用单位 43 {?2jvv 4.7 插值和外推法 46 K&L9Ue 4.8 材料数据的平滑 50 VSm[80iR0 4.9 更多光学常数模型 54 \R!.VL3Tx$ 4.10 文档的一般编辑规则 55 Qu 7#^%= 4.11 撤销和重做 56 Iw07P2 4.12 设计文档 57 B #o/3 4.10.1 公式 58 3K{XT), 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 ^oZz,q
4.10.3 沉积密度 59 0wFa7PyG? 4.10.4 平行和楔形介质 60 [_$r- FA 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 :S['hBMN 4.10.4 性能 61 wEQ7=Gyx 4.10.5 保存设计和性能 64 |AosZeO_ 4.10.6 默认设计 64 kzky{0yKk= 4.11 图表 64 m7~<z>5$ 4.11.1 合并曲线图 67 ]YQ!i@Y 4.11.2 自适应绘制 68 w)Rtt 9 4.11.3 动态绘图 68 ,s=jtK 4.11.4 3D绘图 69 ]mfI$p% 4.12 导入和导出 73 *
':LBc=% 4.12.1 剪贴板 73 D)kh"cK*1 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 tVAWc$3T 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 t>f61<27eB 4.13 背景 77 A$6T) 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 {"^LUw8fd 4.15 生成Rugate 84 bHJKX>@{ 4.16 参考文献 91 [Ej#NHs 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 m7dpr$J 5.1 Jobs 92 Nu/D$m'PY 5.2 创建一个新Job(工作) 93 ,H_b@$]n8 5.3 输入材料 94 ym\AVRO{ 5.4 设计数据文件夹 95 >"OwdAvX 5.5 默认设计 95 | c:E)S\ 6 细化和合成 97 P M
x`PB 6.1 优化介绍 97 -K"" 4SC2 6.2 细化 (Refinement) 98 PIZnzZ@Z; 6.3 合成 (Synthesis) 100 rP5&&Hso 6.4 目标和评价函数 101 asT/hsSNS 6.4.1 目标输入 102 ( M > C 6.4.2 目标 103 2s^9q9NS" 6.4.3 特殊的评价函数 104 Dw%V.J/&o 6.5 层锁定和连接 104 . J/x@ 6.6 细化技术 104 b`W2^/D 6.6.1 单纯形 105 |"K< 6.6.1.1 单纯形参数 106 ;~A-32;Y4 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 oVD)Fb%[i9 6.6.2.1 Optimac参数 108 `[OJ)tHE 6.6.3 模拟退火算法 109 J|O=w( 6.6.3.1 模拟退火参数 109 tK
$r_* 6.6.4 共轭梯度 111 NWSm 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 [N35.O6P6u 6.6.5 拟牛顿法 112 .5S< G)Ja
6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 *btLd7c% 6.6.6 针合成 113 "8.to=Lx 6.6.6.1 针合成参数 114 !Q/%N# 6.6.7 差分进化 114 (f-Mm0%[ 6.6.8非局部细化 115 QNN*/n 6.6.8.1非局部细化参数 115 B%]yLJ 6.7 我应该使用哪种技术? 116 [!g$|
6.7.1 细化 116 8\AyKw 6.7.2 合成 117 Mu1H*;_8 6.8 参考文献 117 ~PTqR2x 7 导纳图及其他工具 118 C >@T+xOZ 7.1 简介 118 )s#NQ.T[ 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 wsfN \6e 7.2.1 四分之一波长规则 119 ;0Vyim)S] 7.2.2 导纳图 120 B}:/2?gQ 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 6~oo.6bA 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 $]
gwaJ: 7.5 斜入射导纳图 141 bu2@~ 7.6 对称周期 141 =7e|e6 7.7 参考文献 142 kVqRl%/3Tb 8 典型的镀膜实例 143 }L!%^siG_ 8.1 单层抗反射薄膜 145 5W Z9z-6 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 j O-H1@; 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 N!W# N$ 8.4 W-膜层 148 L~Hl?bK 8.5 V-膜层 149 C;m,{MD 8.6 V-膜层高折射基底 150 Gz_[|,i 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 !1X^lFf;~ 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 4lb(qKea 8.9 四层抗反射薄膜 153 j;BMuLTm1 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 q2$-U& 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 V[Z^Z 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 Tc3~~ X 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 k2-:!IE 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 rnkq. 8.15十五层宽带抗反射膜 159 UI?AM 34 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 ,GU|3 8.17 1/4波长堆栈 162 dj;Zzt3 8.18 陷波滤波器 163 z#j)uD 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 >u-6,[(5X* 8.20 褶皱 165 342m=7lK 8.21 消偏振分光器1 169 FX
yyY-(O 8.22 消偏振分光器2 171 hx5oTJR 8.23 消偏振立体分光器 172 YKWiZ 8.24 消偏振截止滤光片 173 #GlQwk3 8.25 立体偏振分束器1 174 cn3F3@_"\ 8.26 立方偏振分束器2 177 xn&$qLB 8.27 相位延迟器 178 id" -eMwp 8.28 红外截止器 179 >RTmfV 8.29 21层长波带通滤波器 180 ZaZm$.s n 8.30 49层长波带通滤波器 181 @[2Go}VF 8.31 55层短波带通滤波器 182 d3IMQ_k 8.32 47 红外截止器 183 p`PBPlUn 8.33 宽带通滤波器 184 `\pv^#5HV9 8.34 诱导透射滤波器 186 AeZ__X 8.35 诱导透射滤波器2 188 Y30T>5 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 kp$w)%2JW 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 k$NNpv&;d
8.35 增益平坦滤波器 193 D,c53B6M 8.38 啁啾反射镜 1 196 `w;8xD( 8.39 啁啾反射镜2 198 v90)G8|q 8.40 啁啾反射镜3 199 K:cZq3F 8.41 带保护层的铝膜层 200 }~akVh`3 8.42 增加铝反射率膜 201 h{5K9$9= 8.43 参考文献 202 f6*6 *= 9 多层膜 204 } vzNh_ 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 $*k9e ^{S 9.2 内部透过率 204 l$\OSG 9.3 内部透射率数据 205 rD?G7l<~>_ 9.4 实例 206 lG>,&( 9.5 实例2 210 T`7HQf ; 9.6 圆锥和带宽计算 212 jMAZ4M 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 X9S`#N 10 光学薄膜的颜色 216 - Mubq 10.1 导言 216 3+uCTn0% 10.2 色彩 216 6!;eJYj, 10.3 主波长和纯度 220 N}/|B} 10.4 色相和纯度 221 d'okXCG 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 5Xr<~xr 10.6 色差 226 5L!cS+QNU 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 e6(Pw20)s 10.8 颜色渲染指数 234 |GLh|hr 10.9 色差计算 235 2K~<_.S 10.10 参考文献 236 li +MnLt 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 gd,3}@@SH 11.1 短脉冲 238 w{$X
:Z 11.2 群速度 239 {~y,.[Ga 11.3 群速度色散 241 M#CYDEB 11.4 啁啾(chirped) 245 <j<V{Wc 11.5 光学薄膜—相变 245 bgNN0,+8 11.6 群延迟和延迟色散 246 ~M!9E]) 11.7 色度色散 246 |RS(QU<QE 11.8 色散补偿 249 ~B2,edkM 11.9 空间光线偏移 256 S!r,p}; 11.10 参考文献 258 er44s^$ 12 公差与误差 260 CBrC
12.1 蒙特卡罗模型 260 d7
W[.M$] 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 (]}52%~ 12.2.1 误差工具 267 pOKs VS%fT 12.2.2 灵敏度工具 271 +bhR[V{0g 12.2.2.1 独立灵敏度 271 zcrM3`Zh 12.2.2.2 灵敏度分布 275 6oA2"!u^w 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 ,'%wadOo 12.3 参考文献 276 2Vwv#NAV k 13 Runsheet 与Simulator 277 QO;OeMQv% 13.1 原理介绍 277
4Y/kf%]]A 13.2 截止滤光片设计 277 jY|fP!?[ 14 光学常数提取 289 \v]esIP5R' 14.1 介绍 289 5IJm_oy 14.2 电介质薄膜 289 +~{Honj[ 14.3 n 和k 的提取工具 295 U{[ g"_+~ 14.4 基底的参数提取 302 qPvWb1H: 14.5 金属的参数提取 306 =K:)%Qh 14.6 不正确的模型 306 ,Qb(uirl] 14.7 参考文献 311 m~;}8ObQE 15 反演工程 313 .gP}/dj 15.1 随机性和系统性 313 02RZ>m+ 15.2 常见的系统性问题 314 nPRv.h 15.3 单层膜 314 v\}s(X(J 15.4 多层膜 314 xro%AM 15.5 含义 319 ,VYUQE>\
15.6 反演工程实例 319 0Uf.aP 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 hziPHuK9, 15.6.2 反演工程提取折射率 327 $eU oFa5A 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 O}Mu_edM 16.1 光学性质的热致偏移 329 A(84cmq!q 16.2 应力工具 335 Py^fWQ5I~% 16.3 均匀性误差 339 Ss$/Bh>hN 16.3.1 圆锥工具 339 ON-zhT?v 16.3.2 波前问题 341 H)rE-7(f! 16.4 参考文献 343
A}l+BIt 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 |1/UC"f 17.1 引言 345 qdQQt5Y'm 17.2 操作数 345 |]UR&* 18 如何在Function中编写脚本 351 <oKoz0! 18.1 简介 351 !V~,aoKTj 18.2 什么是脚本? 351 Gzw9E.Hk 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 `iZ){JfAH 18.4 基础 352 y{k65dk- 18.4.1 Classes(类别) 352 6cVJu%<V 18.4.2 对象 352 F[5sFkM7 18.4.3 信息(Messages) 352 'Z}3XVZEN 18.4.4 属性 352 \NF5)]: 18.4.5 方法 353 !l|fzS8g 18.4.6 变量声明 353 ZFFKv 18.5 创建对象 354 *$ kpSph 18.5.1 创建对象函数 355 #O,;3S 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 SCq:jI 18.5.3 丢弃对象 356 /3KPK4!m 18.5.4 总结 356 (`)ZR%i 18.6 脚本中的表格 357 Gv\:Agi 18.6.1 方法1 357 Yj{-|2YzL 18.6.2 方法2 357
HE{JiAf 18.7 2D Plots in Scripts 358 4Je[!X@C 18.8 3D Plots in Scripts 359 H/''lI{k) 18.9 注释 360 -
U Elu4n& 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 $i9</Es
P 18.11 一个更高级的脚本 362 |6o!]~&e$1 18.12 <esc>键 364 q445$ndCT 18.13 包含文件 365 bB+ 4 18.14 脚本被优化调用 366 n]x%xnt 18.15 脚本中的对话框 368 FnWN]9 18.15.1 介绍 368 @aC9O9|~ 18.15.2 消息框-MsgBox 368 !e?2
x@J 18.15.3 输入框函数 370 ,vcd>"PK 18.15.4 自定义对话框 371 KJYcP72P 18.15.5 对话框编辑器 371 Rc2JgV 18.15.6 控制对话框 377 _uq[D`= 18.15.7 更高级的对话框 380 (b#4Z 18.16 Types语句 384 a\ZNN k 18.17 打开文件 385 mhW*rH*m 18.18 Bags 387 IcJQC 18.13 进一步研究 388 ]S+KH
\2 19 vStack 389 r0/aw
19.1 vStack基本原理 389 wB+X@AA 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 zFm:=,9 19.3 五棱镜 393 rGmxK|R 19.4 光束距离 396 wzf 19.5 误差 399 wO&+Bb\= 19.6 二向分色棱镜 399 K:q|M?_ 19.7 偏振泄漏 404 &HB!6T/ 19.8 波前误差—相位 405 5*\]F} 19.9 其它计算参数 405 %X**( 20 报表生成器 406 KXT9Wt= 20.1 入门 406 {wh, "Ok_ 20.2 指令(Instructions) 406 BF/l#)$yK 20.3 页面布局指令 406 ?)O!(=6%' 20.4 常见的参数图和三维图 407 *X\J[$! 20.5 表格中的常见参数 408 $!7$0WbC 20.6 迭代指令 408 ?bGk%jjHXM 20.7 报表模版 408 CLgfNrW~ 20.8 开始设计一个报表模版 409 U(:Di]>{ 21 一个新的project 413 ZtGtJV"H 21.1 创建一个新Job 414 2*5pjd{Kt 21.2 默认设计 415 h'.B-y~c 21.3 薄膜设计 416 C;I:?4 21.4 误差的灵敏度计算 420 ows3% 21.5 显色指数计算 422
;[B-!F> 21.6 电场分布 424 gTb%c84 后记 426 1O2jvt7M
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