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4? {*( 内容简介 &5/JfNe3 Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 --/-D5 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 m9g^ -X 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 Ao!=um5D J )tPl<lb 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 7sN0`7 目录 c+;S<g0 Preface 1 <W|1<=z( 内容简介 2 0(vdkC4\A 目录 i Et0&E 1 引言 1 j}RM.C\7 2 光学薄膜基础 2 _U=S]2QW 2.1 一般规则 2 O<iI 2.2 正交入射规则 3 /T#o<D 2.3 斜入射规则 6 "sIN86pCs 2.4 精确计算 7 #x|VfN5f 2.5 相干性 8 qqD0R*(C 2.6 参考文献 10 wKrdcWI,Z 3 Essential Macleod的快速预览 10 J<-Fua^ 4 Essential Macleod的特点 32 iXnx1w 4.1 容量和局限性 33 }JJ::*W2n 4.2 程序在哪里? 33 DsG !S* 4.3 数据文件 35 [R$liN99z; 4.4 设计规则 35 .)nCOwR6p 4.5 材料数据库和资料库 37 a5I%RY 4.5.1材料损失 38 *hl<Y,W( 4.5.1材料数据库和导入材料 39 :9O|l)N)W= 4.5.2 材料库 41 Q}ZBr^*]1e 4.5.3导出材料数据 43 a~F u 4.6 常用单位 43 !z.^(Tj 4.7 插值和外推法 46 =~;zVP 4.8 材料数据的平滑 50 mlmnkgl
] 4.9 更多光学常数模型 54 2q$X>ImI$ 4.10 文档的一般编辑规则 55 6z`8cI+LRw 4.11 撤销和重做 56 x6~Fb~aP 4.12 设计文档 57 uyvs kz\ 4.10.1 公式 58 aEZJNWv 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 td`wNy\ 4.10.3 沉积密度 59 I@c0N*( 4.10.4 平行和楔形介质 60 5\5~L 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 hAYQ6g$A 4.10.4 性能 61 s~#?9vW 4.10.5 保存设计和性能 64 9`E-dr9 4.10.6 默认设计 64 Q)9369<A 4.11 图表 64 E'fX&[ 4.11.1 合并曲线图 67 r6<ArX$Yl 4.11.2 自适应绘制 68 8*"rZh}' 4.11.3 动态绘图 68 6pe4Ni7I2 4.11.4 3D绘图 69 G+;g:_E= 4.12 导入和导出 73 1gL8$.B? 4.12.1 剪贴板 73 ~'|&{-< 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 Vc{/o=1u 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 mrX}\p 4.13 背景 77 I *1# 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 /}[zA@ 4.15 生成Rugate 84 Y}*Ctdrl 4.16 参考文献 91 s@R3#"I 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 ;9
R40qi 5.1 Jobs 92 '$lw[1 5.2 创建一个新Job(工作) 93 >l6XZQ
> 5.3 输入材料 94 mT}Aje-L 5.4 设计数据文件夹 95 <`^>bv9 5.5 默认设计 95 pZW}^kg= 6 细化和合成 97 7?)m(CFy 6.1 优化介绍 97 #=>kw^5 6.2 细化 (Refinement) 98 eDvXU_yA 6.3 合成 (Synthesis) 100 ^D0/H
N 6.4 目标和评价函数 101 gDgP;id 6.4.1 目标输入 102 ]ZBgE\[ 6.4.2 目标 103 r(748Qc4f? 6.4.3 特殊的评价函数 104 K1CMLX]m 6.5 层锁定和连接 104 R?i-"JhW 6.6 细化技术 104 <$Xn:B<H 6.6.1 单纯形 105 us(sZG 6.6.1.1 单纯形参数 106 #IcT
@( 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 >0[qi1 6.6.2.1 Optimac参数 108 ^2P;CAjj-
6.6.3 模拟退火算法 109 P1vF{e 6.6.3.1 模拟退火参数 109 WllCcD1 6.6.4 共轭梯度 111 m^(E:6T 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 KX&Od@cQ$ 6.6.5 拟牛顿法 112 1WZKQeOo 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 Fvcq^uZ 6.6.6 针合成 113 r5<e}t- 6.6.6.1 针合成参数 114 ;L MEU_ 6.6.7 差分进化 114 .l" _K 6.6.8非局部细化 115 LKoM\g( 6.6.8.1非局部细化参数 115 Xb8:*Y1' 6.7 我应该使用哪种技术? 116 C: TuC5Sr 6.7.1 细化 116 ZnxOa 6.7.2 合成 117 \Mh4X`<e 6.8 参考文献 117 :zS>^RE 7 导纳图及其他工具 118 L.R\]+$U2 7.1 简介 118 t~udfOvY 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 |ij W_r 7.2.1 四分之一波长规则 119 j8F~j?%! 7.2.2 导纳图 120 4l#T_y 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 1-ndJ@Wlz 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 8=b{'s^^F 7.5 斜入射导纳图 141 #m[w=Pu} 7.6 对称周期 141 GHJQ d&G8G 7.7 参考文献 142 Ynt&cdK9 8 典型的镀膜实例 143 *+zy\AhkP 8.1 单层抗反射薄膜 145 0 VWCm( f- 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 I NFzX 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 UeC%Wa<[ 8.4 W-膜层 148 p>w~T#17 8.5 V-膜层 149 n[S4180 9< 8.6 V-膜层高折射基底 150 KD<; ?oN<O 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 \3@2rW"5 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 zrWq!F*-V\ 8.9 四层抗反射薄膜 153 6H . L!tUI 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 (urfaZ;@+ 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 3IRRFIiO 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 EIVQu~,H 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 RF\1.HJG 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 ML9T(th6v 8.15十五层宽带抗反射膜 159 4YB7og%P 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 Cq~ah 8.17 1/4波长堆栈 162 kcZ;SYosj 8.18 陷波滤波器 163 Rqd %#v 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 (J?}eb;>n 8.20 褶皱 165 _tR.RAaa" 8.21 消偏振分光器1 169 lpX p)r+ 8.22 消偏振分光器2 171 `U?H^,FVA 8.23 消偏振立体分光器 172 |4 d{X@`& 8.24 消偏振截止滤光片 173 *<h 8.25 立体偏振分束器1 174 E.G h@i 8.26 立方偏振分束器2 177 @a7(*<". 8.27 相位延迟器 178 SS<+fWXE 8.28 红外截止器 179 `'tw5} 8.29 21层长波带通滤波器 180 cB9KHq B 8.30 49层长波带通滤波器 181 sD8xH 8.31 55层短波带通滤波器 182 {D_4~heF 8.32 47 红外截止器 183 e&]`X HC9 8.33 宽带通滤波器 184 b~jvmcr 8.34 诱导透射滤波器 186 86)
3XE[5 8.35 诱导透射滤波器2 188 t+TbCe 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 ![."xHVeL 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 =B 4g EWR 8.35 增益平坦滤波器 193 e7j]BzGvl 8.38 啁啾反射镜 1 196 7>e~i, 8.39 啁啾反射镜2 198 QW"6] 8.40 啁啾反射镜3 199 >c'_xa?^G 8.41 带保护层的铝膜层 200 j~0ZE
-e 8.42 增加铝反射率膜 201 m3v*,~ 8.43 参考文献 202 < c4RmnA 9 多层膜 204 /dP8F 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 (nZ=9+j]d 9.2 内部透过率 204 %A[p!U 9.3 内部透射率数据 205 !`S%l1[Z 9.4 实例 206 Zp(P)Obs# 9.5 实例2 210 QCY{D@7T 9.6 圆锥和带宽计算 212 .$x[!fuuR& 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 7!840 :a?+ 10 光学薄膜的颜色 216 (P!reYyM 10.1 导言 216 y:`` |*+ 10.2 色彩 216 'krMVC- 10.3 主波长和纯度 220
J5_
qqD) 10.4 色相和纯度 221 LB ^^e"
10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 })u}PQ 10.6 色差 226 dfkTDG+ 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 ~q%9zO' 10.8 颜色渲染指数 234 7VZ JGRnn 10.9 色差计算 235 _e@qv;* 10.10 参考文献 236 wyhf:!-I 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 _!g
NF= 11.1 短脉冲 238 D]`B;aE>A* 11.2 群速度 239 HG6{`i 11.3 群速度色散 241 u2\qg;dP 11.4 啁啾(chirped) 245 |JQP7z6j] 11.5 光学薄膜—相变 245 <"Cwy0V kp 11.6 群延迟和延迟色散 246 3jdB8a]T_ 11.7 色度色散 246 ?GfA;O 11.8 色散补偿 249 JfINAaboi 11.9 空间光线偏移 256 4qXUk:C@m
11.10 参考文献 258 "._WdY[ 12 公差与误差 260 %v)'`|i 12.1 蒙特卡罗模型 260 n&78~@H 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 _89G2)U=C 12.2.1 误差工具 267 $ u.T1v 12.2.2 灵敏度工具 271 :
MmXH&yR 12.2.2.1 独立灵敏度 271 t-'GRme 12.2.2.2 灵敏度分布 275 m%(JRh 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 nMvIL2:3 12.3 参考文献 276 v#2qwd3x 13 Runsheet 与Simulator 277 9wJmX<Rm 13.1 原理介绍 277 |]3);^0 13.2 截止滤光片设计 277 4<>:] 14 光学常数提取 289 K}(n;6\ 14.1 介绍 289 }$c( $ 14.2 电介质薄膜 289 e Em0c]]9 14.3 n 和k 的提取工具 295 %}5"5\Zz 14.4 基底的参数提取 302 _~q^YZ 14.5 金属的参数提取 306 )Nd:PnA 14.6 不正确的模型 306 EUS]Se2 14.7 参考文献 311 :DpK{$eCb 15 反演工程 313 0J-ux"kfI 15.1 随机性和系统性 313 X}FF4jE]D( 15.2 常见的系统性问题 314 *
rANf&y 15.3 单层膜 314 kx(:Z8DX 15.4 多层膜 314 &WU*cfJn)A 15.5 含义 319 O5*uL{pvT{ 15.6 反演工程实例 319 Q&a<9e& 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 ?qW|k6{O 15.6.2 反演工程提取折射率 327 a~EEow;A 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 <aD+Ki6 16.1 光学性质的热致偏移 329 Lcb59Cs6e 16.2 应力工具 335 ({b/J0<@D 16.3 均匀性误差 339 M8Lj*JN 16.3.1 圆锥工具 339 5h7DVr! 16.3.2 波前问题 341 J(VZa_ 16.4 参考文献 343 /VZU3p<~ 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 9h=WWu', 17.1 引言 345 jC8BLyGE_ 17.2 操作数 345 xT>V;aa\ 18 如何在Function中编写脚本 351 78#ud15Ml 18.1 简介 351 HJrg 18.2 什么是脚本? 351 5X-{|r3q 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 V1qHl5" 18.4 基础 352 .}>[Kr 18.4.1 Classes(类别) 352 JPzPL\ 18.4.2 对象 352 @"2-tn@q_ 18.4.3 信息(Messages) 352 t!N>0]:mo 18.4.4 属性 352 7si.] 18.4.5 方法 353 'z5 ;o:T 18.4.6 变量声明 353 H9[.#+ln 18.5 创建对象 354 +y#979A, 18.5.1 创建对象函数 355 \MPy"uC 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 svgi!= 18.5.3 丢弃对象 356 v1rGq 18.5.4 总结 356 .{>-.& 18.6 脚本中的表格 357 nTlrG6 18.6.1 方法1 357 PrxXL/6 18.6.2 方法2 357 Rznr9L 18.7 2D Plots in Scripts 358 [%q":Ig 18.8 3D Plots in Scripts 359 a$A
S?`L 18.9 注释 360 XA%?35v~ 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 "0mR*{nF 18.11 一个更高级的脚本 362 b,`N;* 18.12 <esc>键 364 >cLZP#^\2E 18.13 包含文件 365 kXRD_B5& 18.14 脚本被优化调用 366 ibL;99 # 18.15 脚本中的对话框 368 `R;XN- 18.15.1 介绍 368 m0YDO0 18.15.2 消息框-MsgBox 368 ~Q\[b%>J 18.15.3 输入框函数 370 GM~jR-FZ 18.15.4 自定义对话框 371 Pr'py 18.15.5 对话框编辑器 371 KDk^)zv%! 18.15.6 控制对话框 377 wDzS<mm 18.15.7 更高级的对话框 380 0KEl+ 18.16 Types语句 384 Jr
zU-g 18.17 打开文件 385 "
8v 18.18 Bags 387 wvY$s; 18.13 进一步研究 388 3f
x!\ 19 vStack 389 +(T,d ]o] 19.1 vStack基本原理 389 $:/1U$ 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 PeZ=ONY5 19.3 五棱镜 393 ]RJ2`xf 19.4 光束距离 396 4BX*-t 19.5 误差 399 s RB8 jY 19.6 二向分色棱镜 399 57rP@,vj 19.7 偏振泄漏 404 O,PHAwVG%L 19.8 波前误差—相位 405 Hr'#0fW 19.9 其它计算参数 405 r\?*?sL 20 报表生成器 406 p+Xz9A" 20.1 入门 406 -)/>qFj) 20.2 指令(Instructions) 406 3dfSu' 20.3 页面布局指令 406 A2 rRYzN; 20.4 常见的参数图和三维图 407 ,KWeW^z'7 20.5 表格中的常见参数 408 TDFv\y}yc 20.6 迭代指令 408 ? IWS 20.7 报表模版 408 dx#N)? 20.8 开始设计一个报表模版 409 6$Y1[ 21 一个新的project 413 Oi RqqD 21.1 创建一个新Job 414 G1BVI:A&S 21.2 默认设计 415 wlJ_,wA 21.3 薄膜设计 416 <=lP6B 21.4 误差的灵敏度计算 420 v~SN2,h 21.5 显色指数计算 422 %"tf`,d~3 21.6 电场分布 424 YN^8s 后记 426 p O.8>C%
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