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MA+{7 [ 内容简介 `st^i$A Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 @W.0YU0|J 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 ?
4v"y@v 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 |'QgL0?
1 ~s$< 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 y.aeXlc[ 目录 z{(c-7* Preface 1 WqRaD=R->; 内容简介 2 L"It0C 目录 i )Im3';qt 1 引言 1 92D :!C 2 光学薄膜基础 2 c:u2a/Q? 2.1 一般规则 2 91oAg[@4G 2.2 正交入射规则 3 ]L;X Aj? 2.3 斜入射规则 6 #gSIa6z1W 2.4 精确计算 7 3e?a$~9 2.5 相干性 8 83pXj=k< 2.6 参考文献 10 w)<h$<tU 3 Essential Macleod的快速预览 10 eMOnzW|h 4 Essential Macleod的特点 32 H|8i|vbi 4.1 容量和局限性 33 ^K?Mq1"Db 4.2 程序在哪里? 33 ?{(Jy* 4.3 数据文件 35 =SK{|fBB 4.4 设计规则 35 4mci@1K#^ 4.5 材料数据库和资料库 37 w1,6%?p(O 4.5.1材料损失 38 P~@.(hed 4.5.1材料数据库和导入材料 39 uuf+M-P 4.5.2 材料库 41 %Hpz^<` 4.5.3导出材料数据 43 8C4v 4.6 常用单位 43 KY9&Ky+2 B 4.7 插值和外推法 46 Rf#t|MW*# 4.8 材料数据的平滑 50 0#!Z1:Y 4.9 更多光学常数模型 54 .]LP327u 4.10 文档的一般编辑规则 55 *k
!zdV 4.11 撤销和重做 56 icXeB_&cS 4.12 设计文档 57 yr
q){W 4.10.1 公式 58 kWxcB7)uk 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 5@`DS-7h 4.10.3 沉积密度 59 a3B^RbDP&8 4.10.4 平行和楔形介质 60 8gXf4A(N 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 8]A`WDO3 4.10.4 性能 61 Pi'[d7o 4.10.5 保存设计和性能 64 P3+?gW' 4.10.6 默认设计 64 ^ jT1q_0 4.11 图表 64 Wu
U_RE 4.11.1 合并曲线图 67 TU O*w 4.11.2 自适应绘制 68 ,_U3p , 4.11.3 动态绘图 68 9Fh1rZD< 4.11.4 3D绘图 69 *K=Yrisz 4.12 导入和导出 73 [8rl{~9E 4.12.1 剪贴板 73 #2Z\K>L 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 ?gl[=N V 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 S1E=EVG 4.13 背景 77 V38v2LI 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 7gP8K`w?[ 4.15 生成Rugate 84 t_{rKb,
4.16 参考文献 91 vj+ S 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 rRd8W}B 5.1 Jobs 92 0|OmQ\SQ 5.2 创建一个新Job(工作) 93 '/GZ,~q 5.3 输入材料 94 &?#!%Ds 5.4 设计数据文件夹 95 t.6gyrV7>< 5.5 默认设计 95 ALl0(<u67 6 细化和合成 97 p WLFJH}N 6.1 优化介绍 97 8L,i}hIo. 6.2 细化 (Refinement) 98 Y]9C 8c) 6.3 合成 (Synthesis) 100 +EP=uV9t 6.4 目标和评价函数 101 >n6yKcjY] 6.4.1 目标输入 102 SAtK 'Jx[ 6.4.2 目标 103 6),VN>j 6.4.3 特殊的评价函数 104 1`l10f qU 6.5 层锁定和连接 104 MP%pEUomev 6.6 细化技术 104 2[TssJQ 6.6.1 单纯形 105 ZY{zFg9 6.6.1.1 单纯形参数 106 N83g=[ 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 [;qZu`n> 6.6.2.1 Optimac参数 108 %N0cp@Vz 6.6.3 模拟退火算法 109 &Ez]pKjB 6.6.3.1 模拟退火参数 109 -40OS=wpA 6.6.4 共轭梯度 111 qFg"!w 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 E|5lm 6.6.5 拟牛顿法 112 @Sd l~'" 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 N
cnL -k. 6.6.6 针合成 113 V.12 6.6.6.1 针合成参数 114 dRPX`%J 6.6.7 差分进化 114 6n5>{X 6.6.8非局部细化 115 [SA$d`B/ 6.6.8.1非局部细化参数 115 0
|Y'@& 6.7 我应该使用哪种技术? 116 -3eHJccB 6.7.1 细化 116 oar`xH$C 6.7.2 合成 117 k{d)'\FM 6.8 参考文献 117 8
!+eq5S3 7 导纳图及其他工具 118 &W:R#/| 7.1 简介 118 g
xf|L>= 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 7(<z= F 7.2.1 四分之一波长规则 119 { 0vHgi 7.2.2 导纳图 120 (b4;c=<[{ 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 7l|D!`BS 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 :c^9\8S
7.5 斜入射导纳图 141 2$%E:J+2:$ 7.6 对称周期 141 Y~ ( <H e? 7.7 参考文献 142 _Vf0MU;3f+ 8 典型的镀膜实例 143 EABy<i 8.1 单层抗反射薄膜 145 O]N
8QH 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 =x3ZQA 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 9;k!dM 8.4 W-膜层 148 !
fSM6Vo 8.5 V-膜层 149 E2a00i/9Y 8.6 V-膜层高折射基底 150 D?<R5zp 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 2Ed 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 2h^9lrQcQG 8.9 四层抗反射薄膜 153 _aLml9f
W 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 Nq=r404 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 A-XWG9nL 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 FsyM{LT 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 Bk9? = 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 \"^.>+ 8.15十五层宽带抗反射膜 159 T($6L7 j9 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 ZQQ0} 8.17 1/4波长堆栈 162 FELTmQUV 8.18 陷波滤波器 163 sHi *\ 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 MEZc/Ru-[ 8.20 褶皱 165 &@anv.D 8.21 消偏振分光器1 169 c _faW 8.22 消偏振分光器2 171 g<"k\qs7 8.23 消偏振立体分光器 172 eX9Hwq4X44 8.24 消偏振截止滤光片 173 !1s^TB>N 8.25 立体偏振分束器1 174 F4%vEn\! 8.26 立方偏振分束器2 177 Q-,,Kn 8.27 相位延迟器 178 @p}"B9h*^ 8.28 红外截止器 179 bPHqZ*f 8.29 21层长波带通滤波器 180 wqyrs|P 8.30 49层长波带通滤波器 181 }|W n6X 8.31 55层短波带通滤波器 182 GDUOUl& 8.32 47 红外截止器 183 Z?}yPsOb 8.33 宽带通滤波器 184 hR1n@/nh 8.34 诱导透射滤波器 186 S66..sa 8.35 诱导透射滤波器2 188 O3>m,v 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 *MBu5
+u%e 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 `[*n UdG 8.35 增益平坦滤波器 193 39+6ZTqx 8.38 啁啾反射镜 1 196 "\l O1D 8.39 啁啾反射镜2 198 PfKF!/c
B 8.40 啁啾反射镜3 199 0Zq jq0O# 8.41 带保护层的铝膜层 200 *tD`X(K 8.42 增加铝反射率膜 201 V<+=t{ 8.43 参考文献 202 2/]74d8 9 多层膜 204 &/7D4!N] 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 rIg5Wcd 9.2 内部透过率 204 8A 3pYW- 9.3 内部透射率数据 205 UZ"jQJQ 9.4 实例 206 @Ht7^rz+S 9.5 实例2 210 t@(`24 9.6 圆锥和带宽计算 212 _,m|gr,S 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 [`eqma 10 光学薄膜的颜色 216 c+^#(OB 10.1 导言 216 D'!
v9} 10.2 色彩 216 <7;AK!BH 10.3 主波长和纯度 220 bim
82<F 10.4 色相和纯度 221 ;=?f0z< 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 xc HG5bg| 10.6 色差 226 ."#M
X! 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 g[d.lJ=Q-N 10.8 颜色渲染指数 234 0;bi*2U 10.9 色差计算 235 And|T 6u 10.10 参考文献 236 UJWkG^? 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 =h<LlI^v 11.1 短脉冲 238 P e\AH 11.2 群速度 239 Z.]=u(=a 11.3 群速度色散 241 _FJ,, /~ 11.4 啁啾(chirped) 245 TL?(0]Hfe 11.5 光学薄膜—相变 245 GWU"zWli]z 11.6 群延迟和延迟色散 246 d,R 11.7 色度色散 246 z+Cw*v\Y 11.8 色散补偿 249 P})Iwk|Z 11.9 空间光线偏移 256 V*bX>D/ 11.10 参考文献 258 UY!N"[& 12 公差与误差 260 {4@+
2)l 12.1 蒙特卡罗模型 260 keBf^NY 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 4%3R}-'mh 12.2.1 误差工具 267 b&l/)DU 12.2.2 灵敏度工具 271 opKk#40 12.2.2.1 独立灵敏度 271 9EE},D 12.2.2.2 灵敏度分布 275 h5:>o 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 d0;$k, 12.3 参考文献 276 DeAi'"& 13 Runsheet 与Simulator 277 (|F } B 13.1 原理介绍 277 FHu
-'; 13.2 截止滤光片设计 277 Ev R6^n/ 14 光学常数提取 289 sU/R$Nbr 14.1 介绍 289 Dj~]] 14.2 电介质薄膜 289 <#hltPyh 14.3 n 和k 的提取工具 295 ?ep'R&NV 14.4 基底的参数提取 302 "0nT:!BZ 14.5 金属的参数提取 306 i09w(k? 14.6 不正确的模型 306 ~_z"So'|F_ 14.7 参考文献 311 ,EAf/2C 15 反演工程 313 !w!}`|q 15.1 随机性和系统性 313 I.M@we/bR} 15.2 常见的系统性问题 314 JVoW*uA 15.3 单层膜 314 RO([R=.`/ 15.4 多层膜 314 4rmSo^vK 15.5 含义 319 _ 2WG6y; 15.6 反演工程实例 319 P?y3YxS 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 T JB)]d< 15.6.2 反演工程提取折射率 327 RW!_ZzZ 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 gm-I)z!tz 16.1 光学性质的热致偏移 329 g `)5g5 16.2 应力工具 335 q\B048~KK 16.3 均匀性误差 339 u]B15mT? 16.3.1 圆锥工具 339 Xy74D/ocui 16.3.2 波前问题 341 ~4YLPMGKl 16.4 参考文献 343 AX Y.80+ 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 =
}&@XRLJ 17.1 引言 345 C/JeD-JG 17.2 操作数 345 jAa{;p"jU 18 如何在Function中编写脚本 351 _::q
S! 18.1 简介 351 Y=%SK8]Q; 18.2 什么是脚本? 351 D*>EWlZ 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 aXoD{zA 18.4 基础 352 uG|d7LS,% 18.4.1 Classes(类别) 352 \WDL?(G< 18.4.2 对象 352 %<g(EKl 18.4.3 信息(Messages) 352 "!9hcv-; 18.4.4 属性 352 [|=#~(yYQ 18.4.5 方法 353 WMo 18.4.6 变量声明 353 0g-bApxz*& 18.5 创建对象 354 IZ$7'Mo86 18.5.1 创建对象函数 355 >t[beRcR6 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 .%.kEJh` 18.5.3 丢弃对象 356 t8"*jt 18.5.4 总结 356 [3yzVcr~4 18.6 脚本中的表格 357 BEQ$p)
h 18.6.1 方法1 357 M
`QYrH 18.6.2 方法2 357 -:hiLZJ7- 18.7 2D Plots in Scripts 358 B@:c8}2. 18.8 3D Plots in Scripts 359 BZ] 6W/0 18.9 注释 360 ')d&:K*M 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 `]Uu` b 18.11 一个更高级的脚本 362 LqH<HGMFD 18.12 <esc>键 364 &B^zu+J 18.13 包含文件 365 p19[qy~. 18.14 脚本被优化调用 366 d},IQ,Az:Z 18.15 脚本中的对话框 368 (RDY-~#~ 18.15.1 介绍 368 kWF/SsE 18.15.2 消息框-MsgBox 368 0{ZYYB&"~J 18.15.3 输入框函数 370 s`j QX\{ 18.15.4 自定义对话框 371 P87!+pB( 18.15.5 对话框编辑器 371 c)d*[OI8 18.15.6 控制对话框 377 A@8Ot-t:\2 18.15.7 更高级的对话框 380 %idn7STJ} 18.16 Types语句 384 CQf<En|1 18.17 打开文件 385 61Z#;2] 18.18 Bags 387 F{#m~4O 18.13 进一步研究 388 IL:d`Kbqf 19 vStack 389 thoAEG80 19.1 vStack基本原理 389 4"OUmh9LHB 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 >&@hm4 19.3 五棱镜 393 y_^w| 19.4 光束距离 396 ?_\t7f 19.5 误差 399 }{! #`'s 19.6 二向分色棱镜 399 yIab3/#` 19.7 偏振泄漏 404 xW$F-n 19.8 波前误差—相位 405 C~do*rnM^ 19.9 其它计算参数 405 Sv*@ 3x 20 报表生成器 406
h8b*=oq 20.1 入门 406 T;cyU9 20.2 指令(Instructions) 406 ]!u12^A{ 20.3 页面布局指令 406 hK!Z~
20.4 常见的参数图和三维图 407 -#=y 20.5 表格中的常见参数 408 0p8Z l 20.6 迭代指令 408 i[:S *`@S 20.7 报表模版 408 ;l^4/BR 20.8 开始设计一个报表模版 409 <@BzF0 21 一个新的project 413 'Zq$W]i 21.1 创建一个新Job 414 l!n<.tQW 21.2 默认设计 415 #q;hX;Va 21.3 薄膜设计 416 f@ &?K< 21.4 误差的灵敏度计算 420 x.V6C0|6" 21.5 显色指数计算 422 Bg^k~NX% 21.6 电场分布 424 vepZod}D 后记 426 x^UE4$oo
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