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]o,) #/' $ 内容简介 + 6r@HK`,t Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 W'gCFX 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 y*Ex5N~JC 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 2Y 6/,W 2U~oWg2P 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 Ta/G 目录 Ks7s2 vK^ Preface 1 qf24l&} 内容简介 2 /^/'9}7 目录 i %*}JDx#@ 1 引言 1 lzS"NHs<g( 2 光学薄膜基础 2 A.WJ#1i}E 2.1 一般规则 2 rX;(48Y 2.2 正交入射规则 3 dhm; 2.3 斜入射规则 6 ctt5t 2.4 精确计算 7
& k1Ez 2.5 相干性 8 i7 p#%2 2.6 参考文献 10 Zls4@/\Q 3 Essential Macleod的快速预览 10 /jj}.X7yH 4 Essential Macleod的特点 32 9QY)<K~a 4.1 容量和局限性 33 gN mp'Lm 4.2 程序在哪里? 33 hCr7%` 4.3 数据文件 35 [gv2fqpP 4.4 设计规则 35 OkzfQ
hC} 4.5 材料数据库和资料库 37 |:H[Y"$1; 4.5.1材料损失 38 |&RdOjw$u 4.5.1材料数据库和导入材料 39 7!MW`L/` 4.5.2 材料库 41 (x.K%QC) 4.5.3导出材料数据 43 FpW{=4yk 4.6 常用单位 43 Lk3@Eu) 4.7 插值和外推法 46 /}M@
@W 4.8 材料数据的平滑 50 P?TFX.p7 4.9 更多光学常数模型 54 sF|<m)Kt{W 4.10 文档的一般编辑规则 55 _HGDqjL 4.11 撤销和重做 56 fWKv3S1dT 4.12 设计文档 57 O^:Rm=,$ 4.10.1 公式 58 H,H'bd/ 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 t}'Oh}CG 4.10.3 沉积密度 59 [ HNGTde& 4.10.4 平行和楔形介质 60 +;cw<9%0 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 2^qY,dL 4.10.4 性能 61 7sLs+|<" 4.10.5 保存设计和性能 64 vRT1tOQ$ 4.10.6 默认设计 64 1L &_3} 4.11 图表 64 Ns1u0$fg 4.11.1 合并曲线图 67 QKOo
#7 4.11.2 自适应绘制 68 hsfVKlw- 4.11.3 动态绘图 68 `?Y/:4 4.11.4 3D绘图 69 dAAE2}e 4.12 导入和导出 73 /ebYk-c 4.12.1 剪贴板 73 pazFVzT 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 YO-O-NEP 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 t~@TUTbx 4.13 背景 77 TSuHY0.cp 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 PeE'#&wn 4.15 生成Rugate 84 Sm,%> 4.16 参考文献 91 z),l&7 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 *y N,e.t 5.1 Jobs 92 *;o=hM)Tp 5.2 创建一个新Job(工作) 93 )cOm\^,
5.3 输入材料 94 mH}AVje{
` 5.4 设计数据文件夹 95 Sf*VkH 5.5 默认设计 95 6Ajiz_~U 6 细化和合成 97 -?e~S\JH 6.1 优化介绍 97 ^PWZ1.T 6.2 细化 (Refinement) 98 o'D6lkf0 6.3 合成 (Synthesis) 100 Wigm`A=,r 6.4 目标和评价函数 101 ADHe![6q 6.4.1 目标输入 102 9"<)DS 6.4.2 目标 103 -M[5K/[ 6.4.3 特殊的评价函数 104 7i/?+| 6.5 层锁定和连接 104 =<33( 6.6 细化技术 104 (6JD<pBm 6.6.1 单纯形 105 r}vI#;& 6.6.1.1 单纯形参数 106 0n3O;=[aV 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 M(/%w"R 6.6.2.1 Optimac参数 108 S!g&&RDx 6.6.3 模拟退火算法 109 q+LjWZ+O 6.6.3.1 模拟退火参数 109 %A64 Y<K 6.6.4 共轭梯度 111 ikm4Y`c 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 LW,!B.`@ 6.6.5 拟牛顿法 112 1S_KX. 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 ^s24f?3 6.6.6 针合成 113 BJlF@F# 6.6.6.1 针合成参数 114 ;GE0iSC 6.6.7 差分进化 114 i4Fw+Z 6.6.8非局部细化 115 5Z;Py"% 6.6.8.1非局部细化参数 115 jP}N^ 6.7 我应该使用哪种技术? 116 LY^BkH' 6.7.1 细化 116 I98wMV8 6.7.2 合成 117 mXa1SZnE 6.8 参考文献 117 Gzm[4|nO^ 7 导纳图及其他工具 118 xp,H5
m% 7.1 简介 118 *4.f*3* 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 ,~G[\2~p 7.2.1 四分之一波长规则 119 \>jK\j 7.2.2 导纳图 120 rg\|-_.es' 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 vmmu[v 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 b!UT<:o 7.5 斜入射导纳图 141 NG b`f-:jw 7.6 对称周期 141 {O!fV<Vx 9 7.7 参考文献 142 s]=kD 8 典型的镀膜实例 143 oM< &4F 8.1 单层抗反射薄膜 145 X|.X4fs 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 W;0_@!?mr} 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 -8TJ~t%w4 8.4 W-膜层 148 T`vj6F 8.5 V-膜层 149 \W$>EH 8.6 V-膜层高折射基底 150 `d8$OC 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 ~%GUc
~ 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 ?DpMR/ 8.9 四层抗反射薄膜 153 L-=^GNh 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 *9*I:Uh57 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 9^jO^[> 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 iF`E>%# 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 [.6uw=;o 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 4$y|z{[<
5 8.15十五层宽带抗反射膜 159 u#}zNz#C5 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 C0kwI*) 8.17 1/4波长堆栈 162 AoTL)', 8.18 陷波滤波器 163 J)o~FC]b* 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 tp0^%!*9 8.20 褶皱 165 s<^UAdLnl 8.21 消偏振分光器1 169 rKR<R(=!= 8.22 消偏振分光器2 171 iaPY>EP1 8.23 消偏振立体分光器 172 aP4r6lLv+ 8.24 消偏振截止滤光片 173 ,"*[T\u 8.25 立体偏振分束器1 174 Le_?x 8.26 立方偏振分束器2 177 L18Olu 8.27 相位延迟器 178 \N;s@j W 8.28 红外截止器 179 jIuE1ve 8.29 21层长波带通滤波器 180 b}k`'++2, 8.30 49层长波带通滤波器 181 Aja'`Mu 8.31 55层短波带通滤波器 182 H# Vs3*VK 8.32 47 红外截止器 183 "esV#%:#J 8.33 宽带通滤波器 184 JqFFI:Q5a 8.34 诱导透射滤波器 186 |ukEnjI`u 8.35 诱导透射滤波器2 188 :a`l_RMU 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 <;_X=s`f, 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 JkpA
\<
8.35 增益平坦滤波器 193 vbh\uv& 8.38 啁啾反射镜 1 196 iiO4.@nT 8.39 啁啾反射镜2 198
t'7)aJMP 8.40 啁啾反射镜3 199 ;2&(]1X 8.41 带保护层的铝膜层 200 Z=wLNm H 8.42 增加铝反射率膜 201 80 p7+W2m 8.43 参考文献 202 :@kSDy+*Q 9 多层膜 204 MbjH\XRB 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 G?YKm1:w 9.2 内部透过率 204 D(L%fK` + 9.3 内部透射率数据 205 .K:>`~<) 9.4 实例 206 wYS4#7 9.5 实例2 210 `ZNzDr 9.6 圆锥和带宽计算 212 LVO`+: 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 =y^N'1q 10 光学薄膜的颜色 216 |?{Zx&yUw 10.1 导言 216 'N'EC`R 10.2 色彩 216 G9^!=
v@ 10.3 主波长和纯度 220 b+3{ bE 10.4 色相和纯度 221 Z
wIsEJz 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 *`mwm:4 10.6 色差 226 g6r3V.X' 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 [% YCupr# 10.8 颜色渲染指数 234 %'@&j2j> 10.9 色差计算 235 $40tAes9 10.10 参考文献 236 WEWNFTI 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 !=eui$] 11.1 短脉冲 238 |<9R% 11.2 群速度 239 keCM}V`?" 11.3 群速度色散 241 eV}Ow`~I5 11.4 啁啾(chirped) 245 265df
Y9Pu 11.5 光学薄膜—相变 245 W
aks*^| 11.6 群延迟和延迟色散 246 >a@-OJ.yOk 11.7 色度色散 246 9?@M Zh 11.8 色散补偿 249 y\V!OY@ 11.9 空间光线偏移 256 |Y2u=B 11.10 参考文献 258 *G2p;n=2 12 公差与误差 260 v(]\o;/O 12.1 蒙特卡罗模型 260 ;h3c+7u1 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 O,XVA 12.2.1 误差工具 267 YzsHec 12.2.2 灵敏度工具 271 0zdH 6& 12.2.2.1 独立灵敏度 271 k q_B5L ? 12.2.2.2 灵敏度分布 275 K^?/ 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 ;S2^f;q~$ 12.3 参考文献 276 RE7 I" 13 Runsheet 与Simulator 277 &F)P3= 13.1 原理介绍 277 4GeWo@8h 13.2 截止滤光片设计 277 "J3@Z,qW 14 光学常数提取 289 zc\e$MO 14.1 介绍 289 )Q&:$] 14.2 电介质薄膜 289 q>o1kTI 14.3 n 和k 的提取工具 295 Kcl>uAgU 14.4 基底的参数提取 302 ^ JJ*pT: 14.5 金属的参数提取 306 E0Ig/
j 14.6 不正确的模型 306 m" .8- 14.7 参考文献 311 Rw=gg>\ 15 反演工程 313 &mp=j GR 15.1 随机性和系统性 313 @e3O=_m- 15.2 常见的系统性问题 314 iO>2#p8$NR 15.3 单层膜 314 )lBke*j~ 15.4 多层膜 314 *Xn{{ 15.5 含义 319 7 S(5\9 15.6 反演工程实例 319 d
0$)Y|d> 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 Ihw^g<X 15.6.2 反演工程提取折射率 327 z3[
J> 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 ENr\+{{% 16.1 光学性质的热致偏移 329 oj;Rh!O 16.2 应力工具 335 @y2{LUJe 16.3 均匀性误差 339 /*B-y$WQk 16.3.1 圆锥工具 339 d [6[3B 16.3.2 波前问题 341 )Gh"(]-< 16.4 参考文献 343 Uf1i"VY 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 iQ~;to;Y 17.1 引言 345 ~bf-uHx 17.2 操作数 345 9l+'V0?` 18 如何在Function中编写脚本 351 QcU&G* 18.1 简介 351 PsjSL8] 18.2 什么是脚本? 351 4w<U%57 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 {D={>0 18.4 基础 352 DW\';" 18.4.1 Classes(类别) 352 Y1h8O%? 18.4.2 对象 352 pIXbr($ 18.4.3 信息(Messages) 352 []}E-
V 18.4.4 属性 352 5RrzRAxq 18.4.5 方法 353 <]2X~+v 18.4.6 变量声明 353 W]}y:_t4 18.5 创建对象 354 }4Ef31X8q 18.5.1 创建对象函数 355 )! Jo7SR 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 @!1o +x 18.5.3 丢弃对象 356 AvfSR p 18.5.4 总结 356 ]+u`E 18.6 脚本中的表格 357 S%uwQ!=O8 18.6.1 方法1 357 h8iic 18.6.2 方法2 357 2? 9*V19yu 18.7 2D Plots in Scripts 358 s{#rCc) 18.8 3D Plots in Scripts 359 airg[dK 18.9 注释 360 3x@t7B 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 qRlS^=# 18.11 一个更高级的脚本 362 ecfw[4B` 18.12 <esc>键 364 C2OBgM+ 18.13 包含文件 365 ]q~_ 18.14 脚本被优化调用 366 5?9K%x'b 18.15 脚本中的对话框 368 Ro\ U T64 18.15.1 介绍 368 7jPPN 18.15.2 消息框-MsgBox 368 )zzZYs&| 18.15.3 输入框函数 370 >NwS0j$j@ 18.15.4 自定义对话框 371 l.[S.@\ =. 18.15.5 对话框编辑器 371 U.g7' `Z< 18.15.6 控制对话框 377 '
5`w5swbc 18.15.7 更高级的对话框 380 <]1Z 18.16 Types语句 384 BC.~wNz6 18.17 打开文件 385 X`
r~cc 18.18 Bags 387 uJhB>/Og 18.13 进一步研究 388 Y_'3pX, 19 vStack 389 %P@V7n 19.1 vStack基本原理 389 )nE=H,U?y 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 HG
kL6o= 19.3 五棱镜 393 U?]}K S;6 19.4 光束距离 396 1X.E: 19.5 误差 399 hq+j8w}<- 19.6 二向分色棱镜 399 Vcjmj 19.7 偏振泄漏 404 Ns
ezUk8' 19.8 波前误差—相位 405 YytO*^e}} 19.9 其它计算参数 405 '9@} =pE 20 报表生成器 406 +OEqDXR+_ 20.1 入门 406 rnX
D( 20.2 指令(Instructions) 406 .Y`;{) 20.3 页面布局指令 406 X$mCn#8m 20.4 常见的参数图和三维图 407 0G?*i_u\ 20.5 表格中的常见参数 408 F%|F-6 20.6 迭代指令 408 % \N52 20.7 报表模版 408 <KB V 20.8 开始设计一个报表模版 409
&=ZVU\o: 21 一个新的project 413 B L^?1x 21.1 创建一个新Job 414 olLVT<
21.2 默认设计 415 <yNu/B.M 21.3 薄膜设计 416 Kd,8PV*_ 21.4 误差的灵敏度计算 420 +hiskV@ v 21.5 显色指数计算 422 ~|CWy 21.6 电场分布 424 kz=Ql|@ 后记 426 nev@ykP6
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