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?K 内容简介 E(#2/E6 Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 sxtGl^,mU: 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 .EwK>ro4 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 7a net 2D"/k'iA 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 \eCdGx? 目录 470Pig>I8 Preface 1 Y}Uw7\e 内容简介 2 rJ>8|K[kt 目录 i tAUMSr|? 1 引言 1 8),Y|4 2 光学薄膜基础 2 wxxC&! 2.1 一般规则 2 0b'R5I.M 2.2 正交入射规则 3 ":ycyN@g 2.3 斜入射规则 6 EK_^#b 2.4 精确计算 7 J;dFmZOk 2.5 相干性 8 #4>F%_ 2.6 参考文献 10 ><~hOK?v 3 Essential Macleod的快速预览 10 &@+;]t 4 Essential Macleod的特点 32 \mloR
' 4.1 容量和局限性 33 T~>:8i 4.2 程序在哪里? 33 (n\
cs$ 4.3 数据文件 35 ;Lu|fQ#u* 4.4 设计规则 35 \ :.p8` 4.5 材料数据库和资料库 37 Pl4d(2
7 4.5.1材料损失 38 /Y:Zqk3 4.5.1材料数据库和导入材料 39 p20Nk$. 4.5.2 材料库 41 O/Vue 4.5.3导出材料数据 43 3Daq5(fLP 4.6 常用单位 43 ?$Pj[O^hl 4.7 插值和外推法 46 gN%R-e0 4.8 材料数据的平滑 50 g=Lt2UIJ 4.9 更多光学常数模型 54 ^E^: =Q?'_ 4.10 文档的一般编辑规则 55 <>TBM^ 4.11 撤销和重做 56 _[W=1bGJ 4.12 设计文档 57 -/X-.#}- 4.10.1 公式 58 \=)h6AG 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 {$^|^n5j 4.10.3 沉积密度 59 %~~Q XH\ 4.10.4 平行和楔形介质 60 P;34Rd 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 gK /K Z8 4.10.4 性能 61 7+"X^$ 4.10.5 保存设计和性能 64 {8Ll\j@ " 4.10.6 默认设计 64 `m5iZxhw 4.11 图表 64 0U'r ia:$ 4.11.1 合并曲线图 67 Iu8=[F> 4.11.2 自适应绘制 68 |dK-r 4.11.3 动态绘图 68 jolCR-FDu 4.11.4 3D绘图 69 rYl37.QE 4.12 导入和导出 73 Vq\6c 4.12.1 剪贴板 73 ~X/T6(n$ 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 15COwc*k 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 l-&f81W 4.13 背景 77 vjpe'zx 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 0:*$i(2 4.15 生成Rugate 84 <qBPN{'a" 4.16 参考文献 91 yAOC<d9 E 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 V4 7Fp 5.1 Jobs 92 e042`&9=Ic 5.2 创建一个新Job(工作) 93 Nn$$yUkMX 5.3 输入材料 94 g!$
"CX%8 5.4 设计数据文件夹 95 L>B0%TP^ 5.5 默认设计 95 IH5thL@D 6 细化和合成 97 .#X0P= 6.1 优化介绍 97 f5N~K> 6.2 细化 (Refinement) 98 2.6,c$2tB 6.3 合成 (Synthesis) 100 U+KbvkX wj 6.4 目标和评价函数 101 B~^\jRd" 6.4.1 目标输入 102 gU`QW_{ 6.4.2 目标 103 &+\wYa, 6.4.3 特殊的评价函数 104 *G9;d0 6.5 层锁定和连接 104 ^/c|s!U^ 6.6 细化技术 104 .D :v0Zm}m 6.6.1 单纯形 105 PSRGlxdO 6.6.1.1 单纯形参数 106 ZrTq)BZ 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 HV}NT~ 6.6.2.1 Optimac参数 108 <C&UDj 6.6.3 模拟退火算法 109 yHCc@`1. 6.6.3.1 模拟退火参数 109 !MbRI 6.6.4 共轭梯度 111 '
|4XyU= 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 '@$?A>.cj 6.6.5 拟牛顿法 112 F?UL0Q|u v 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 oR+Fn}mG 6.6.6 针合成 113 p'H5yg3h 6.6.6.1 针合成参数 114 7l?=$q>k" 6.6.7 差分进化 114 ?}W:DGudZ 6.6.8非局部细化 115 .8"o&%$`V 6.6.8.1非局部细化参数 115 (k[<>$hL* 6.7 我应该使用哪种技术? 116 |Oo
WGVc 6.7.1 细化 116 n1H*][CK 6.7.2 合成 117 o*<(,I% 6.8 参考文献 117 @FQ@*XD 7 导纳图及其他工具 118 9U+^8,5 7.1 简介 118 2-$R@
SVy 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 ]|-y[iu 7.2.1 四分之一波长规则 119 ^0r@", 7.2.2 导纳图 120 Cnn,$R=/s 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 6:e0?R^aD" 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 f`?|A
7.5 斜入射导纳图 141 C}M0KDF 7.6 对称周期 141 QPBf++| 7.7 参考文献 142 C4b3ZcD2 8 典型的镀膜实例 143 1f}Dza9 8.1 单层抗反射薄膜 145 V482V#BP 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 er 97&5 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 [ P
8e=; 8.4 W-膜层 148 c0tv!PSw 8.5 V-膜层 149 vZ*593C8 8.6 V-膜层高折射基底 150 F.JE$)B2EX 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 u!t'J+: 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 #*~#t4S- 8.9 四层抗反射薄膜 153 #KiRH* giU 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 ](%-5G1< 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 6n>+cX>E 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 GLEGyT?~ 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 ~x824xW 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 f9;M"Pd 8.15十五层宽带抗反射膜 159 v=|ahsYC 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 eQMY3/# 8.17 1/4波长堆栈 162 ,UY],;ib 8.18 陷波滤波器 163 (;!&RZ 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 vRm;H|[%S 8.20 褶皱 165 O%rjY 8.21 消偏振分光器1 169 X.g1
312~ 8.22 消偏振分光器2 171 4O2O0\o: 8.23 消偏振立体分光器 172 %h3CQk 8.24 消偏振截止滤光片 173 N'TL &] 8.25 立体偏振分束器1 174 d6wsT\S 8.26 立方偏振分束器2 177 d'PjO-"g 8.27 相位延迟器 178 uZi]$/ic 8.28 红外截止器 179 /I="+ 8.29 21层长波带通滤波器 180 xaejG/'iK 8.30 49层长波带通滤波器 181 #p0vrQ;5f 8.31 55层短波带通滤波器 182 ?FD^S~bz- 8.32 47 红外截止器 183 j:rGFd 8.33 宽带通滤波器 184 |[C3_'X 8.34 诱导透射滤波器 186 u PjJ>v 8.35 诱导透射滤波器2 188 FhW\23OC 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 Ow<=K:^ 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 5_{C \S`T 8.35 增益平坦滤波器 193 g;vG6!;E\ 8.38 啁啾反射镜 1 196 ?PLf+S 8.39 啁啾反射镜2 198 LY/K,6^a 8.40 啁啾反射镜3 199 vTN$SgzfCU 8.41 带保护层的铝膜层 200 UZ v^3_,qz 8.42 增加铝反射率膜 201 nCJ)=P.d 8.43 参考文献 202 ,{7Z OzA 9 多层膜 204 v-EcJj% 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 Ee d2`~ 9.2 内部透过率 204 JuS#p5E # 9.3 内部透射率数据 205 cV=h8F 9.4 实例 206 E\ 5t&jZr 9.5 实例2 210 d_]zX;_ 9.6 圆锥和带宽计算 212 *e!0ZB3J 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 2{% U\^- 10 光学薄膜的颜色 216 YqrieDFay! 10.1 导言 216 gm\P`~+o 10.2 色彩 216 DhYQ>Gv8U 10.3 主波长和纯度 220 UOi8>;k` 10.4 色相和纯度 221 {IJ,y27 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 6j+_)7.V 10.6 色差 226 #zyEN+ 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 ESft:3xyw 10.8 颜色渲染指数 234 7NE"+EP\{2 10.9 色差计算 235 ?V3e;n 10.10 参考文献 236 ??Q'| r 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 V)=!pT 11.1 短脉冲 238 Z~CL|= 11.2 群速度 239 S2'./!3yv 11.3 群速度色散 241 ?zM]p"M 11.4 啁啾(chirped) 245 B;@7 11.5 光学薄膜—相变 245 )OS^tG[= 11.6 群延迟和延迟色散 246 +:+q,0~*] 11.7 色度色散 246 =`Pgo5A 11.8 色散补偿 249 1
\:5ow&a 11.9 空间光线偏移 256 TFjb1a,) 11.10 参考文献 258 buu~#m1z 12 公差与误差 260 :q/%uca9 12.1 蒙特卡罗模型 260 <k+dJ=f 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 a6cq0g[# z 12.2.1 误差工具 267 T%B&HsH 12.2.2 灵敏度工具 271 Ru9QQaHE 12.2.2.1 独立灵敏度 271 Bf1,(^3XH 12.2.2.2 灵敏度分布 275 Btp 9v<" 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 F[RQ6PW 12.3 参考文献 276 F<39eDNpz 13 Runsheet 与Simulator 277 b"DaLwKkz 13.1 原理介绍 277 :c)N"EJlI2 13.2 截止滤光片设计 277 XEl-5-M" 14 光学常数提取 289 LVP2jTz 14.1 介绍 289 uxLT*, 14.2 电介质薄膜 289 *")Req 14.3 n 和k 的提取工具 295 gqJSz}' 14.4 基底的参数提取 302 ^YiGvZJ 14.5 金属的参数提取 306 !tJQ75Hwv 14.6 不正确的模型 306 K%iWUl; 14.7 参考文献 311 uj;tmK>; 15 反演工程 313 $P
rji 15.1 随机性和系统性 313 ~
"Xcd8: 15.2 常见的系统性问题 314 /vO8s?? 15.3 单层膜 314 ^,O%E;g^# 15.4 多层膜 314 e!k1GTH^ 15.5 含义 319 /6",#B}%b 15.6 反演工程实例 319 4@19_+3 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 89hV{^ 15.6.2 反演工程提取折射率 327 p?rh+0wgX 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 D y+)s-8 16.1 光学性质的热致偏移 329 $r+_Y/ 16.2 应力工具 335 W cOyOv 16.3 均匀性误差 339 c@f?0|66M 16.3.1 圆锥工具 339 &GYnGrw?@ 16.3.2 波前问题 341 rZ`+g7&^Fh 16.4 参考文献 343 ETZE.a 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 )<YfLDgTs 17.1 引言 345 Sq22] 17.2 操作数 345 ^IW5c>;| 18 如何在Function中编写脚本 351 Kcl~cIh7 7 18.1 简介 351 AwnQ5-IR\ 18.2 什么是脚本? 351 7]sRHX0o% 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 tBUn
KPT 18.4 基础 352 [h&)h+xt 18.4.1 Classes(类别) 352 gI~B _0x 18.4.2 对象 352 ^Mvgm3hg 18.4.3 信息(Messages) 352 @~7y\G 18.4.4 属性 352 y[`>,?ns5 18.4.5 方法 353 T8^`<gr. 18.4.6 变量声明 353 uvG'Kx 18.5 创建对象 354 !#&`1cYX 18.5.1 创建对象函数 355 ^5E:hW[* 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 ~dXiyU,y2 18.5.3 丢弃对象 356 (}B3df 18.5.4 总结 356 [/=Z2mtA 18.6 脚本中的表格 357 C*X=nezq 18.6.1 方法1 357 L0\~K~q 18.6.2 方法2 357 i8w/a 18.7 2D Plots in Scripts 358 ,{6Vf|? 18.8 3D Plots in Scripts 359 i 1dE.f; 18.9 注释 360 NJ^Bv` 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 CKE):kHu 18.11 一个更高级的脚本 362 s,CN<`/>x 18.12 <esc>键 364 Lm&BT)* 18.13 包含文件 365 po9f[/s'+o 18.14 脚本被优化调用 366 jhR`%aH4 18.15 脚本中的对话框 368 *3iEO> 18.15.1 介绍 368 *Z8qd{.$q 18.15.2 消息框-MsgBox 368 gCV+amP 18.15.3 输入框函数 370 NoOrQ m 18.15.4 自定义对话框 371 gWD46+A){ 18.15.5 对话框编辑器 371 T{So2@_& 18.15.6 控制对话框 377 *$]50 \W 18.15.7 更高级的对话框 380 v?Zo5uVoq 18.16 Types语句 384 &K*Kr=9N 18.17 打开文件 385 v\lKY*@f 18.18 Bags 387 Y(RB@+67 18.13 进一步研究 388 Y{d-k1?s5 19 vStack 389 t
i&!_ 19.1 vStack基本原理 389 b($9gre>mI 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 K+\2cf?bU 19.3 五棱镜 393 6Vgxfic 19.4 光束距离 396 _]v@Dq VP 19.5 误差 399 yGY:EvH^? 19.6 二向分色棱镜 399 M3G ecjR 19.7 偏振泄漏 404 s^> >] 19.8 波前误差—相位 405 }Uu#N H 19.9 其它计算参数 405 yUjkRT&h 20 报表生成器 406 )7C+hQe 20.1 入门 406 ~ <36vsk 20.2 指令(Instructions) 406
od)ssL&E~ 20.3 页面布局指令 406 )DGJr/) 20.4 常见的参数图和三维图 407
x7xMSy 20.5 表格中的常见参数 408 704_ehrlE 20.6 迭代指令 408 |%oI,d=ycv 20.7 报表模版 408 KV)if' 20.8 开始设计一个报表模版 409 Pcjrv:0$ 21 一个新的project 413 R`J.vMT 21.1 创建一个新Job 414 )(9[> _+40 21.2 默认设计 415 I!#WXK 21.3 薄膜设计 416 iA<'i8$P 21.4 误差的灵敏度计算 420 q/^?rd 21.5 显色指数计算 422 IczMf% 21.6 电场分布 424 M._;3_)%/ 后记 426 )Ma/]eZ^I
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