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{Xpjm6a7 内容简介 u0+<[Ia'q Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 eon(C|S7eK 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 `+KLE(]vyH 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 |`wJ
{- ;SA+|, 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 3PzF^ 8KJ 目录 k
;vOPcw Preface 1 y fS 内容简介 2 *0a7H$iQ(] 目录 i B%[#["Ol 1 引言 1 )d
{8Cu6 2 光学薄膜基础 2 iu+H+_ 2.1 一般规则 2 }?GeU
Xhy 2.2 正交入射规则 3 $:DL+E-} 2.3 斜入射规则 6 VJgf,
5 (N 2.4 精确计算 7 nM$-L.dG 2.5 相干性 8 W89J]#v)k 2.6 参考文献 10 b;mpZ|T. 3 Essential Macleod的快速预览 10 NlG!_D"(y 4 Essential Macleod的特点 32 \gZjq]3 4.1 容量和局限性 33 5=MM^$QG 4.2 程序在哪里? 33 2)^T[zHe 4.3 数据文件 35 aJNsJIY+ 4.4 设计规则 35 uTrGb:^ 4.5 材料数据库和资料库 37 =8qhK=&] 4.5.1材料损失 38 79lG~BGE 4.5.1材料数据库和导入材料 39 t&bE/i_T 4.5.2 材料库 41 'aZAWY d 4.5.3导出材料数据 43 Ce3
4.6 常用单位 43 W9SEYkg 4.7 插值和外推法 46 ybm&g( -\ 4.8 材料数据的平滑 50
w$I$xup 4.9 更多光学常数模型 54 !%C&hH\ 4.10 文档的一般编辑规则 55 }W]k1Bsx 4.11 撤销和重做 56 D>q?My 4.12 设计文档 57 n-lDE}K9%B 4.10.1 公式 58 o648
xUP 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 0jefV*3qpB 4.10.3 沉积密度 59 vr>Rd{dm 4.10.4 平行和楔形介质 60 %eqL)pC] 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 Q#$dp 4.10.4 性能 61 YC~kq? 4.10.5 保存设计和性能 64 j~9,Ct 4.10.6 默认设计 64 ;V~~lcD&Y` 4.11 图表 64 iuq%Q\0@w 4.11.1 合并曲线图 67 7\;gd4Ua1 4.11.2 自适应绘制 68 VrRBwvp-K 4.11.3 动态绘图 68 k{$Mlt?&- 4.11.4 3D绘图 69 ?jBh=X\]: 4.12 导入和导出 73 cm7>%g(oQo 4.12.1 剪贴板 73 =:'a)o 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 gI~jf- w 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 Rh#TR" 4.13 背景 77 n1)m(,{ 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 R_DZJV O 4.15 生成Rugate 84 B,dKpz;kFg 4.16 参考文献 91 O/Wc@Ln 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 ut^^,w{o> 5.1 Jobs 92 TBqJ.a 5.2 创建一个新Job(工作) 93 h|'T'l&z 5.3 输入材料 94 vV9q5Bj: 5.4 设计数据文件夹 95 SA$1rqU= 5.5 默认设计 95 'xp&)gL 6 细化和合成 97 |[lM2 6.1 优化介绍 97
hG!"e4 6.2 细化 (Refinement) 98 !=c&U.B 6.3 合成 (Synthesis) 100 gobqS+c 6.4 目标和评价函数 101 M%2F7 FY 6.4.1 目标输入 102 68LB745 6.4.2 目标 103 \uV;UH7qe 6.4.3 特殊的评价函数 104 o93A:f c 6.5 层锁定和连接 104 G(~"Zt}? 6.6 细化技术 104 K:eP Il{JE 6.6.1 单纯形 105
MoP0qNk 6.6.1.1 单纯形参数 106 pYs"Y;% 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 D ~Y3\KP 6.6.2.1 Optimac参数 108 l;g8_uyjv7 6.6.3 模拟退火算法 109 zZ=.riK 6.6.3.1 模拟退火参数 109 .sDVBT'% 6.6.4 共轭梯度 111 V+l>wMeo 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 DNaU
mz 6.6.5 拟牛顿法 112 =p)Wxk 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 r'q9N 6.6.6 针合成 113 Q4MTedj1H 6.6.6.1 针合成参数 114 93d ht 6.6.7 差分进化 114 Q04iuhDO: 6.6.8非局部细化 115 k w!1]N 6.6.8.1非局部细化参数 115 nNFZ77lg 6.7 我应该使用哪种技术? 116 $u9y
H Z 6.7.1 细化 116 rX#}2 6.7.2 合成 117 cwxO|
.m 6.8 参考文献 117 HJ*W3Mg
7 导纳图及其他工具 118 ~WJEH# 7.1 简介 118 vF=d`T< 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 89'XOXl&1 7.2.1 四分之一波长规则 119 pr[[)[]/ 7.2.2 导纳图 120 Ui46p 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 p'
FYK| 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 )*iSN*T8q 7.5 斜入射导纳图 141 NTVdSK7z~H 7.6 对称周期 141 h30~2]hH 7.7 参考文献 142 '7{0k{ 8 典型的镀膜实例 143 >i4UU0m 8.1 单层抗反射薄膜 145 -_ [Z5%B 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 a-,BBM 8| 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 HzT"{N9 8.4 W-膜层 148 QO)Q%K, 8.5 V-膜层 149 fO.gfHI 8.6 V-膜层高折射基底 150 lfKrd3KS_ 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 6;GL>))' 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 !_cT_
WHty 8.9 四层抗反射薄膜 153 cV5Lp4wY? 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 t\]CdH`+ 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 o=2y`Eq 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 xgt dmv% 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 Tp`by
1s 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 ^6ZA2-f/<8 8.15十五层宽带抗反射膜 159 %9=^#e+pE 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 ~OEP)c\k 8.17 1/4波长堆栈 162 SN'LUwaMp! 8.18 陷波滤波器 163 +aV>$Y 8.19 厚度调制陷波滤波器 164
8KW}XG 8.20 褶皱 165 R)#D{/#FW 8.21 消偏振分光器1 169 atFj Vk^ 8.22 消偏振分光器2 171 ue$\i =jw 8.23 消偏振立体分光器 172 c`y[V6q9 8.24 消偏振截止滤光片 173 Sj}@5 X6 C 8.25 立体偏振分束器1 174 <vA^%D<\~ 8.26 立方偏振分束器2 177 }$;T.[ ~ 8.27 相位延迟器 178 /"Om-DK% 8.28 红外截止器 179 7k:}9M~ 8.29 21层长波带通滤波器 180 jpaY:fcF 8.30 49层长波带通滤波器 181 &S<tX]v 8.31 55层短波带通滤波器 182 WFg'G>* 8.32 47 红外截止器 183 lvb0dOmY 8.33 宽带通滤波器 184 Tfgx>2 8.34 诱导透射滤波器 186 ,l`q 8.35 诱导透射滤波器2 188 >GgX-SZ% 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 %"DEgIP 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 u/cL[_Q 8.35 增益平坦滤波器 193 v/Z}|dT" 8.38 啁啾反射镜 1 196 U\
y?P:yy 8.39 啁啾反射镜2 198 S0g5Ym
ia 8.40 啁啾反射镜3 199 ![:S~x1 8.41 带保护层的铝膜层 200 +8Zt<snG 8.42 增加铝反射率膜 201 'e\m6~u\hm 8.43 参考文献 202 ~|pVz/s|G 9 多层膜 204 ZQnJTS+ Rd 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 M:nXn7)+ 9.2 内部透过率 204 ZqkP# ]+Y' 9.3 内部透射率数据 205 I
[0od+K 9.4 实例 206 n\.K:t[: 9.5 实例2 210 7
4aap2^ 9.6 圆锥和带宽计算 212 l8%x(N4 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 P~i^V;g 10 光学薄膜的颜色 216 Z%XBuq:BY 10.1 导言 216 Z.:5<oEKg 10.2 色彩 216 b2H!{a" 10.3 主波长和纯度 220 !Il>,q&F 10.4 色相和纯度 221 91%+Bf()J6 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 <h
U ZD; 10.6 色差 226 RoLUPy9U 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 #d*mG = 10.8 颜色渲染指数 234 *
C~ 10.9 色差计算 235 djPr 4Nog 10.10 参考文献 236 bu%@1:l 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 Rmn| "ZK 11.1 短脉冲 238 HQaKG4Z 11.2 群速度 239 [t<^WmgtxL 11.3 群速度色散 241 X`:(-3T 11.4 啁啾(chirped) 245 l?a(= 11.5 光学薄膜—相变 245 ^;NM'Z 11.6 群延迟和延迟色散 246 q!""pr<n 11.7 色度色散 246 %zd1\We 11.8 色散补偿 249 u-pE
;| 11.9 空间光线偏移 256 g84~d(\? 11.10 参考文献 258 *2 4P T7 12 公差与误差 260 5gGYG]*l 12.1 蒙特卡罗模型 260 ?Hf^&yo 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 y*\ M7}]( 12.2.1 误差工具 267 GfJm&'U& 12.2.2 灵敏度工具 271 9
o-T#~i 12.2.2.1 独立灵敏度 271 Fmt5"3B 12.2.2.2 灵敏度分布 275 }&rf'E9 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 ^gH.5L0]gH 12.3 参考文献 276 ^P:9iu)+]~ 13 Runsheet 与Simulator 277 vjZX8KAiZ 13.1 原理介绍 277 X||oiqbY 13.2 截止滤光片设计 277 vV#Jl)
A 14 光学常数提取 289 <3
AkF# C9 14.1 介绍 289 C?bPdJ,6 14.2 电介质薄膜 289 zBB4lC{q 14.3 n 和k 的提取工具 295 #TZYe4#f 14.4 基底的参数提取 302 [_L:.,]g8 14.5 金属的参数提取 306 N^h,[ 14.6 不正确的模型 306 '8i
np[_ 14.7 参考文献 311 #g{ZfO[# 15 反演工程 313 W5_t/_EWD 15.1 随机性和系统性 313 AvEJX0"\df 15.2 常见的系统性问题 314 z6|P]u 15.3 单层膜 314 \[]36|$LS 15.4 多层膜 314 !z(POK 15.5 含义 319 rNfua
15.6 反演工程实例 319 :5U(}\dL{ 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 ;'}1 15.6.2 反演工程提取折射率 327 Xn$]DE/r}N 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 wR nt$1 16.1 光学性质的热致偏移 329 "]*0)h_ 16.2 应力工具 335 l
K}('7\ 16.3 均匀性误差 339 3,oFT 16.3.1 圆锥工具 339 aMZ6C <N 16.3.2 波前问题 341 l]T|QhiVd 16.4 参考文献 343 &Zd{ElM 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 Q++lgVh)E 17.1 引言 345
7I^(vQ 17.2 操作数 345 !ygh`]6V 18 如何在Function中编写脚本 351 RQ9fA1YP 18.1 简介 351 2!7wGXm~U 18.2 什么是脚本? 351 @]Iku 6d- 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 {\;CGoN| 18.4 基础 352 V_Wv(G0-\ 18.4.1 Classes(类别) 352 Sw%=/ g 18.4.2 对象 352 f/*Xw {s# 18.4.3 信息(Messages) 352 >Ah [uM 18.4.4 属性 352 C[& \Xq 18.4.5 方法 353 `cy_@Z5A 18.4.6 变量声明 353 -?2ThvT 18.5 创建对象 354 {]Nvq9? 18.5.1 创建对象函数 355 |"5NI'X? 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 h[ba$S,T 18.5.3 丢弃对象 356 BtVuI5*h 18.5.4 总结 356 "CT'^d+ 18.6 脚本中的表格 357 +QtK
"5M 18.6.1 方法1 357 G9N6iKP! 18.6.2 方法2 357 #)GL%{Oa 18.7 2D Plots in Scripts 358 r*&gd |