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{k%*j 4 内容简介 c]v$C&FX Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 Cz-eiPlq 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 h<f_Eoz-a 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 $5jQm,V$K 3E$M{l 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 4`yCvPu 目录 ) kfA5xi[ Preface 1 U}~SY 内容简介 2 L%}k.)yev 目录 i lRF04 1 引言 1 k(pI5N}pJZ 2 光学薄膜基础 2 J70#pF 2.1 一般规则 2 O; 7`*}m 2.2 正交入射规则 3 >k"Z'9l 2.3 斜入射规则 6 R?b3G4~ 2.4 精确计算 7 (/Lo44wT 2.5 相干性 8 ~,WG284 2.6 参考文献 10 Q0K2md_%x 3 Essential Macleod的快速预览 10 c
Owa^; 4 Essential Macleod的特点 32 rG|lRT3-K 4.1 容量和局限性 33 zc01\M 4.2 程序在哪里? 33 :hr% 6K7 4.3 数据文件 35 3gV
17a 4.4 设计规则 35 y3{'s>O6 4.5 材料数据库和资料库 37 v;AsV`g 4.5.1材料损失 38 :W6`{Z 4.5.1材料数据库和导入材料 39 ? C1.g'}7 4.5.2 材料库 41 ``$Dgj[ 4.5.3导出材料数据 43 IL;JdIa 4.6 常用单位 43 Z0uo.
H@.N 4.7 插值和外推法 46 M!Q27wT8O 4.8 材料数据的平滑 50 <E/4/
ANN 4.9 更多光学常数模型 54 |ZZl3l=] 4.10 文档的一般编辑规则 55 I
.jB^ 4.11 撤销和重做 56 G_vWwH4XtL 4.12 设计文档 57 6<X.]"u+E~ 4.10.1 公式 58 qM=
$,s* 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 h\| ~Q.kG 4.10.3 沉积密度 59 }N[|2nR' 4.10.4 平行和楔形介质 60 tj$&89 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 3D32'KO_" 4.10.4 性能 61 FcVQ_6 4.10.5 保存设计和性能 64 9'nM$a 4.10.6 默认设计 64 aO8n\'bv 4.11 图表 64 {w:*t)@j 4.11.1 合并曲线图 67 Z>hS&B 4.11.2 自适应绘制 68 $/*19e~ 4.11.3 动态绘图 68 nb-]fa 4.11.4 3D绘图 69 B=14
hY@` 4.12 导入和导出 73 8_byS<b8 4.12.1 剪贴板 73 ;e
Iqxe> 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 Q+@/.qJ 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 O&BNhuW2 4.13 背景 77 7q\& 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 jB)RvvMU5 4.15 生成Rugate 84 WV5z~[ 4.16 参考文献 91 lw+Y_; 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 ,w-=8>5lrj 5.1 Jobs 92 _G3L+St 5.2 创建一个新Job(工作) 93 K/WnK:LU 5.3 输入材料 94 OM,Dy&Y 5.4 设计数据文件夹 95 )(b,v/: 5.5 默认设计 95 |Y|6`9; 6 细化和合成 97 JTGA\K 6.1 优化介绍 97 >A&D/kMO 6.2 细化 (Refinement) 98 5SV w71* 6.3 合成 (Synthesis) 100 &[
oW"Q{ 6.4 目标和评价函数 101 ?{=&R o 6.4.1 目标输入 102 ~dc
o 6.4.2 目标 103 pQ~Y7 6.4.3 特殊的评价函数 104 +vf~s^ 6.5 层锁定和连接 104 7x>\/l( 6.6 细化技术 104 Q9T/@FX 6.6.1 单纯形 105 U$,-F** 6.6.1.1 单纯形参数 106 `-_kOxe3 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 b'AA*v,b 6.6.2.1 Optimac参数 108 ,4W~CkLD 6.6.3 模拟退火算法 109 !AR@GuQPE 6.6.3.1 模拟退火参数 109 S<*h1}V3/ 6.6.4 共轭梯度 111 FYBW3y+AF& 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 Z7][" 6.6.5 拟牛顿法 112 9}-;OJe 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 B1^9mV'O 6.6.6 针合成 113 !LI
8Xk 6.6.6.1 针合成参数 114 Cx~,wk;= 6.6.7 差分进化 114 V2B@Lq"9` 6.6.8非局部细化 115 Mo'6<"x 6.6.8.1非局部细化参数 115 0*J},#ba$ 6.7 我应该使用哪种技术? 116 k2-+3zx 6.7.1 细化 116 3A&:
c/ 6.7.2 合成 117 d\O*Ol*/v 6.8 参考文献 117 Pk?M~{S 7 导纳图及其他工具 118 9 AWFjoXl" 7.1 简介 118 !l9i)6W 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 ^7Z#g0{^w 7.2.1 四分之一波长规则 119 _a]0<Vm C0 7.2.2 导纳图 120 }[;{@Zn 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124
KP@bz 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 /Fj*sS8 7.5 斜入射导纳图 141 tl6x@%\ 7.6 对称周期 141 c)`=wDi 7.7 参考文献 142 F[q)ME+`) 8 典型的镀膜实例 143 BbIg]E/G 8.1 单层抗反射薄膜 145 :DG7Z 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 [AHoTlPZ 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 4s@oj 8.4 W-膜层 148 QnJd}(yN 8.5 V-膜层 149 f7_V ] 8.6 V-膜层高折射基底 150 ~J:qG9|]} 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 %/n#{;c# 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 a&z$4!wQB 8.9 四层抗反射薄膜 153 b[U;P=;= 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 50`=[l`V 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 /1BqC3]tL 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 \x=j 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 ]q`'l_O 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 w~AW(
VX 8.15十五层宽带抗反射膜 159 B<{Yj}.. 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 GT 5J` 8.17 1/4波长堆栈 162 dKpUw9C#/ 8.18 陷波滤波器 163 =G\N1E 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 6s.>5}M!
8.20 褶皱 165 .Lm0$o*` 8.21 消偏振分光器1 169 ~ugyUpY" 8.22 消偏振分光器2 171 wh2Ljskda8 8.23 消偏振立体分光器 172 _{2/QP} 8.24 消偏振截止滤光片 173 2cQG2N2* 8.25 立体偏振分束器1 174 $tqr+1P 8.26 立方偏振分束器2 177 ,a34=, 8.27 相位延迟器 178 /B!Ik:c} 8.28 红外截止器 179 `f<&=_,xfH 8.29 21层长波带通滤波器 180 K+<F,
P 8.30 49层长波带通滤波器 181 -|2k$W 8.31 55层短波带通滤波器 182 LjySO2 8.32 47 红外截止器 183 /?%1;s:' 8.33 宽带通滤波器 184 m)ENj6A>yP 8.34 诱导透射滤波器 186 =))VxuoN 8.35 诱导透射滤波器2 188 je;|zfe] 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 G'T:l("l 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 Z,I0<ecaD 8.35 增益平坦滤波器 193 *&BS[0; 8.38 啁啾反射镜 1 196 DQ.; 2W 8.39 啁啾反射镜2 198 y=&^=Zh[ 8.40 啁啾反射镜3 199 'FM_5`& 8.41 带保护层的铝膜层 200 KY+BXGW* 8.42 增加铝反射率膜 201 \C kb: 8.43 参考文献 202 G%MdZg&i 9 多层膜 204 b^q%p1 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 "IJ 9vXI 9.2 内部透过率 204 )mu[ye"p 9.3 内部透射率数据 205 |.?$:D&6 9.4 实例 206 R*O<( 9.5 实例2 210 |"+UCAU 9.6 圆锥和带宽计算 212 .#{m1mr 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 $u cmE 10 光学薄膜的颜色 216 |xFSGrC 10.1 导言 216 YP`/dX"4 10.2 色彩 216 ,uL}O]L 10.3 主波长和纯度 220 bScW<DZJ- 10.4 色相和纯度 221 Ay|K>8z 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 cD'|zH] 10.6 色差 226 bL2b^UB~% 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 -5y=K40 10.8 颜色渲染指数 234 y4%[^g~- 10.9 色差计算 235 i#I7ncX 10.10 参考文献 236 "?>hQM1R 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 {JtfEna 11.1 短脉冲 238 k;f%OQsF_ 11.2 群速度 239 !'(QF9%Q 11.3 群速度色散 241 lnnT_[ni. 11.4 啁啾(chirped) 245 A>C8whx 11.5 光学薄膜—相变 245 &~"e["gF= 11.6 群延迟和延迟色散 246 ,HwOMoP7 11.7 色度色散 246 rnP *} 11.8 色散补偿 249 ' 1D1y' 11.9 空间光线偏移 256 aucG|}B
11.10 参考文献 258
Xz!O}M{4 12 公差与误差 260 C/ENJ& 12.1 蒙特卡罗模型 260 yDw#V`Y^M 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 2h#_n'DV 12.2.1 误差工具 267 [! YSW' 12.2.2 灵敏度工具 271 xeW}`i5_w 12.2.2.1 独立灵敏度 271 LvW7>- 12.2.2.2 灵敏度分布 275 zRFvWOxC\ 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 z4r g.ai 12.3 参考文献 276 ;uaZp.<um& 13 Runsheet 与Simulator 277 zhVkn]z~* 13.1 原理介绍 277 i\C~]K~O! 13.2 截止滤光片设计 277 .&rL>A2U 14 光学常数提取 289 @i(;}rx 14.1 介绍 289 -J^t#R^$` 14.2 电介质薄膜 289 mI,!8# 14.3 n 和k 的提取工具 295 Y\j5{;V 14.4 基底的参数提取 302 z K6'wL!!I 14.5 金属的参数提取 306 O"emse}Z 14.6 不正确的模型 306 S3sxK: 14.7 参考文献 311 <nJ8%aY, 15 反演工程 313 )26_7.| 15.1 随机性和系统性 313 -op(26:W< 15.2 常见的系统性问题 314 lx&;?QQ 15.3 单层膜 314 [Mp8" 15.4 多层膜 314 b$N&sZ 15.5 含义 319 O[^u<*fi{ 15.6 反演工程实例 319 a[7Lqu 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 i|CAN,' 15.6.2 反演工程提取折射率 327 +J7xAyv_Oz 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 &5Huv?^a' 16.1 光学性质的热致偏移 329 ,rWej;CzN 16.2 应力工具 335 V?N8 ,)j 16.3 均匀性误差 339 frUO+ 16.3.1 圆锥工具 339 TSUT3'&~p 16.3.2 波前问题 341 Z?)=4| 16.4 参考文献 343 =4804N7 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 c63yJqiW 17.1 引言 345 *d&+?! 17.2 操作数 345 ,o sM|!, 18 如何在Function中编写脚本 351 2-_d~~O1N 18.1 简介 351 m[D]4h9 18.2 什么是脚本? 351 hi^t zpy 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 L]{1@~E:q 18.4 基础 352 &'oZ]}^0 18.4.1 Classes(类别) 352 >_SqM! ^v 18.4.2 对象 352 a
G\ 18.4.3 信息(Messages) 352 O9R[F 18.4.4 属性 352 r;8X6C 18.4.5 方法 353 aLO'.5
~^ 18.4.6 变量声明 353 dr]Pns9 18.5 创建对象 354 UBM:.*wN 18.5.1 创建对象函数 355 >rid3~ 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 1hW"#>f7 18.5.3 丢弃对象 356 #pr{tL 18.5.4 总结 356 l@`Do [ 18.6 脚本中的表格 357 @q+X:K5b 18.6.1 方法1 357 rixt_}aE 18.6.2 方法2 357 aW(Hn[}^ 18.7 2D Plots in Scripts 358 @aUQy; 18.8 3D Plots in Scripts 359 !Hx[
`3 18.9 注释 360 >6A8+= 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 nP#|JRn= 18.11 一个更高级的脚本 362 L<0eIw 18.12 <esc>键 364 MhZ\]CAs9 18.13 包含文件 365 N~+ e\K6 18.14 脚本被优化调用 366 10{zF_9yx 18.15 脚本中的对话框 368 lC'U3Q& 18.15.1 介绍 368 vY2^*3\<D 18.15.2 消息框-MsgBox 368 Q<T+t0G\O- 18.15.3 输入框函数 370 UQ}#=[)2e 18.15.4 自定义对话框 371 cA{7*=G? 18.15.5 对话框编辑器 371 >Qx
:l#B 18.15.6 控制对话框 377 @3Gr2/a 18.15.7 更高级的对话框 380 tPaNhm[-q7 18.16 Types语句 384 D"8 ?4+ 18.17 打开文件 385 5LzP0F
U 18.18 Bags 387 lB*HLC 18.13 进一步研究 388 I8Q!`KJ 19 vStack 389 mY&(&'2T" 19.1 vStack基本原理 389 nWFU8u% 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 lky5%H 19.3 五棱镜 393 xL$7bw5fY 19.4 光束距离 396 d'k99(vy 19.5 误差 399 !U4<4<+ 19.6 二向分色棱镜 399 dZ`c 19.7 偏振泄漏 404 ,_z"3B)] 19.8 波前误差—相位 405 T.pc3+B8N 19.9 其它计算参数 405 <3!Q Xc 20 报表生成器 406 T&+y~c[au 20.1 入门 406 Eal*){"<,? 20.2 指令(Instructions) 406 1Uk Gjw1J 20.3 页面布局指令 406 T7?cnK" 20.4 常见的参数图和三维图 407 RiiwsnjC 20.5 表格中的常见参数 408 nd,2EX<bE 20.6 迭代指令 408 D+"+m%^>C 20.7 报表模版 408 \EW<;xq 20.8 开始设计一个报表模版 409 DC(u,iW%6 21 一个新的project 413 k nljc^ 21.1 创建一个新Job 414 Jsf"h-)P 21.2 默认设计 415 d[`vd^hI 21.3 薄膜设计 416 _*fOn@Vwo 21.4 误差的灵敏度计算 420 JVR,Py:%G 21.5 显色指数计算 422 V,&A?
Y 21.6 电场分布 424 y&6 pc 后记 426 D\^\_r):
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