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b<[Or^X
] 内容简介 ZL&qp04} Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 0@0w+&*"@ 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 $?iLLA~ 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 tPWLg), FW;?s+Uyx 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 T9|m7 目录 VOsRAn/N Preface 1 Wx%H%FeK 内容简介 2 ;3coP{ 目录 i ah$b[\#C 1 引言 1 .&iawz 2 光学薄膜基础 2 i$"F{|Z0 2.1 一般规则 2 (62"8iD6 2.2 正交入射规则 3 |)DGkOtd 2.3 斜入射规则 6 Mmj;-u 2.4 精确计算 7 \[i1JG 2.5 相干性 8
!RS}NS 2.6 参考文献 10 6dr%;Wp 3 Essential Macleod的快速预览 10 e`_LEv 4 Essential Macleod的特点 32 GT., 4.1 容量和局限性 33 !x=~g"d<& 4.2 程序在哪里? 33 z]y.W`i 4.3 数据文件 35 wo{gG?B 4.4 设计规则 35 z=\&i\>;Z+ 4.5 材料数据库和资料库 37 +4~_Ei[i 4.5.1材料损失 38 Lnl(2xD 4.5.1材料数据库和导入材料 39 Y=?3 js?O 4.5.2 材料库 41 Xf]d. : 4.5.3导出材料数据 43 9MJG;+B~ 4.6 常用单位 43 zV37$Hb 4.7 插值和外推法 46 ;%9 |kU 4.8 材料数据的平滑 50 3AtGy'NTp 4.9 更多光学常数模型 54 "Qc7dRmSxm 4.10 文档的一般编辑规则 55 Yx%Hs5}8 4.11 撤销和重做 56 K&]G3W%V 4.12 设计文档 57 N0Lw}@p 4.10.1 公式 58 {*" |#6- 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 Xza(k 4.10.3 沉积密度 59 7hcYD!DS 4.10.4 平行和楔形介质 60 f|c{5$N! 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 9ULQrq$? 4.10.4 性能 61 zT]8KA 4.10.5 保存设计和性能 64 cd_yzpL@}J 4.10.6 默认设计 64 dt]-,Y
4.11 图表 64 L|7R9+ZG 4.11.1 合并曲线图 67 Qx#"q '2 4.11.2 自适应绘制 68 I-*S&SiXjI 4.11.3 动态绘图 68 %p=M; 4.11.4 3D绘图 69 pofie$ 4.12 导入和导出 73 n5NsmVW \x 4.12.1 剪贴板 73 xGg )Y# 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 {rw|# Z>A 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 j{A y\n ( 4.13 背景 77 `iNSr?N. 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 I"<\<^B< 4.15 生成Rugate 84 \ :sUL! 4.16 参考文献 91 *Kgks 4 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 Rtl"Ub@HV 5.1 Jobs 92 ZhaP2pC%4 5.2 创建一个新Job(工作) 93 }q`S$P; 5.3 输入材料 94 nRS} }6Q 5.4 设计数据文件夹 95 (Zrj_P`0[ 5.5 默认设计 95 q,|j]+9q 6 细化和合成 97 9}<ile7^ 6.1 优化介绍 97 +gtbcF@rx 6.2 细化 (Refinement) 98 vJ[^K 6.3 合成 (Synthesis) 100 Yujiqi]J; 6.4 目标和评价函数 101 ]Ie 0S~ 6.4.1 目标输入 102 v MH 6.4.2 目标 103 "(~^w=d:$ 6.4.3 特殊的评价函数 104 E
KLyma&}Y 6.5 层锁定和连接 104 f+,qNvBY/ 6.6 细化技术 104 EgCAsSx( 6.6.1 单纯形 105 )_S(UVI5 6.6.1.1 单纯形参数 106 Fj3a.' 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 z E9W8:7 6.6.2.1 Optimac参数 108 K!Y71_# 6.6.3 模拟退火算法 109 !ons]^km 6.6.3.1 模拟退火参数 109 k2tF} 6.6.4 共轭梯度 111
:KP@RZm 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 FbFPJ !fb 6.6.5 拟牛顿法 112 3ym',q 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 |{NYkw 6.6.6 针合成 113 8^+%I/S$ 6.6.6.1 针合成参数 114 H3=qe I 6.6.7 差分进化 114 A[{yCn`tM 6.6.8非局部细化 115 D'PI1
0t 6.6.8.1非局部细化参数 115 j-}O0~Jz 6.7 我应该使用哪种技术? 116 7#Kn8s
6.7.1 细化 116 [<yaXQxl 6.7.2 合成 117 O;jrCB 6.8 参考文献 117 `e&Suyf4B 7 导纳图及其他工具 118 Vv=. -&' 7.1 简介 118 sBg.u 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 \?k'4rH 7.2.1 四分之一波长规则 119 )}Kf= 7.2.2 导纳图 120 z,p~z*4 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 G<J?"oQbRT 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 p]+Pkxz]' 7.5 斜入射导纳图 141 H40p86@M 7.6 对称周期 141 Fq<A 7.7 参考文献 142 I-(zaqp@ 8 典型的镀膜实例 143 v$wIm, j 8.1 单层抗反射薄膜 145 o|<!"AD7 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 Wt-GjxGi 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 ^k">A:E2 8.4 W-膜层 148 3bH'H*2 8.5 V-膜层 149 Y\8)OBZ 8.6 V-膜层高折射基底 150 n 0L^e 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 x
g 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 kxhWq:[c 8.9 四层抗反射薄膜 153 _A9AEi'. 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 &n:.k}/P 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 Qe:seW
8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 Y.rsR6 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 GGs}i1m 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 K is"L(C 8.15十五层宽带抗反射膜 159 5Yq@;e 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 I,vJbvvl! 8.17 1/4波长堆栈 162 Qpc__dA\ 8.18 陷波滤波器 163 T:yE(OBf 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 ENs&RZ; 8.20 褶皱 165 ( ^Nz9{ 8.21 消偏振分光器1 169 c<Tf
2]vZE 8.22 消偏振分光器2 171 g1 "kTh 8.23 消偏振立体分光器 172 &d^m 1 8.24 消偏振截止滤光片 173 .}~_a76 8.25 立体偏振分束器1 174 +VOK%8,p 8.26 立方偏振分束器2 177 BpPy& 8.27 相位延迟器 178 LFRlzz; 8.28 红外截止器 179 R$[vm6T? 8.29 21层长波带通滤波器 180 $B5aje}i 8.30 49层长波带通滤波器 181 i$6ypuc 8.31 55层短波带通滤波器 182 A#iV=76_ 8.32 47 红外截止器 183 9EibIOD^/ 8.33 宽带通滤波器 184 sS'm!7*(3 8.34 诱导透射滤波器 186 .|i.Cq8 8.35 诱导透射滤波器2 188 !wh8'X* 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 ~U&AI1t+J 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 @<EO`L)Z 8.35 增益平坦滤波器 193 sWnLEw 8.38 啁啾反射镜 1 196 x7<K<k;s 8.39 啁啾反射镜2 198 u <v7;dF|s 8.40 啁啾反射镜3 199 /!XVHkX[ 8.41 带保护层的铝膜层 200 =^,m` _1 8.42 增加铝反射率膜 201 Si;H0uP O 8.43 参考文献 202 +Q"4Migbe@ 9 多层膜 204 H9Q&tl9 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 <$Yd0hxjU 9.2 内部透过率 204 3{sVVq5Y 9.3 内部透射率数据 205 $suzW;{# 9.4 实例 206 f\L0xJ 9.5 实例2 210 Y\g3hM 9.6 圆锥和带宽计算 212 aHK}sr,U 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 0[W:d=C`a 10 光学薄膜的颜色 216 t&e{_|i#+ 10.1 导言 216 ZyFjFHe+ 10.2 色彩 216 @*KZ}i@._ 10.3 主波长和纯度 220 R%[ c;i 10.4 色相和纯度 221 D_zZXbNc 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 $X,D( 10.6 色差 226 f
x+/C8GK 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 -r]W 10.8 颜色渲染指数 234 Ao&"r[oJSv 10.9 色差计算 235 q9s=~d7 10.10 参考文献 236 G2:
agqL/ 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 Bh-ym8D 11.1 短脉冲 238 p9{mS7R9T 11.2 群速度 239 C,|,-CY 11.3 群速度色散 241 @GW#&\yM 11.4 啁啾(chirped) 245 d5:c^` 11.5 光学薄膜—相变 245 FXkM#}RgNm 11.6 群延迟和延迟色散 246 ,.FxIl] 11.7 色度色散 246 xMG~N`r 11.8 色散补偿 249 FJ)$f?=Qd 11.9 空间光线偏移 256 smo~7; 11.10 参考文献 258 <frutU16\ 12 公差与误差 260 4~Q/"hMSkO 12.1 蒙特卡罗模型 260 L)
T (< 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 {&1/V 12.2.1 误差工具 267 V)N%WXG 12.2.2 灵敏度工具 271 svH !1b 12.2.2.1 独立灵敏度 271 JY(WK@ 12.2.2.2 灵敏度分布 275 oW6XF-yM 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 Wg]Qlw`\| 12.3 参考文献 276 ;>7De8v@@ 13 Runsheet 与Simulator 277 v mk2{f,g 13.1 原理介绍 277 *VT/ 13.2 截止滤光片设计 277 .eVG:tl\ 14 光学常数提取 289 >tW#/\x{ 14.1 介绍 289 <h *4Q 14.2 电介质薄膜 289 o0KL5]. 14.3 n 和k 的提取工具 295 O3kA;[f; 14.4 基底的参数提取 302 YT(AUS5n 14.5 金属的参数提取 306 j|#Bo:2km 14.6 不正确的模型 306 8FY?!C 14.7 参考文献 311 vUM4S26"NT 15 反演工程 313 Wvf
^N( 15.1 随机性和系统性 313 oYH-wQ j 15.2 常见的系统性问题 314 y?4BqgB 15.3 单层膜 314 1yu4emye4 15.4 多层膜 314 g]0_5?i 15.5 含义 319 o&$A]ph8X 15.6 反演工程实例 319 }-=|^ 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 xU`p|(SS- 15.6.2 反演工程提取折射率 327 #KZBsa@p 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 }&D32\ 16.1 光学性质的热致偏移 329 #AQV(;r7@ 16.2 应力工具 335 Ds:'Lb 16.3 均匀性误差 339 oNF6<A(@$ 16.3.1 圆锥工具 339 Ig>(m49d 16.3.2 波前问题 341 brUF6rQ 16.4 参考文献 343 O:Tj"@h 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 TOQP'/ 17.1 引言 345 TuaBm1S{f 17.2 操作数 345 NTs aW}g 18 如何在Function中编写脚本 351 FU4L6n 18.1 简介 351 nAdf=D'P 18.2 什么是脚本? 351 b d!Y\OD 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 d/~9&wLSb 18.4 基础 352 DSn_0D 18.4.1 Classes(类别) 352 hp|YE'uYT 18.4.2 对象 352 `VguQl_,gA 18.4.3 信息(Messages) 352 *\F~[ 18.4.4 属性 352 IW] rb/H 18.4.5 方法 353 CRy|kkT 18.4.6 变量声明 353 :^h$AWR^f 18.5 创建对象 354 6.yu-xm 18.5.1 创建对象函数 355 ]:J$w]\ 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 AFwdJte9e 18.5.3 丢弃对象 356 K[zVa 18.5.4 总结 356 { 2f-8Z&> 18.6 脚本中的表格 357 O?#7N[7 18.6.1 方法1 357 Wmv#:U 18.6.2 方法2 357 \ @2R9,9E 18.7 2D Plots in Scripts 358 Ab.(7GFK 18.8 3D Plots in Scripts 359 U| R_OLWAg 18.9 注释 360 KF:78C 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 HJ.-Dg5U 18.11 一个更高级的脚本 362 =[ 7A v> 18.12 <esc>键 364 4;2uW#dG" 18.13 包含文件 365 NC6&x=!3 18.14 脚本被优化调用 366 l9Q-iJ 18.15 脚本中的对话框 368 O*P.]d 18.15.1 介绍 368 19%imf 18.15.2 消息框-MsgBox 368 ?(_08O 18.15.3 输入框函数 370 8P\Zo8}v 18.15.4 自定义对话框 371 ysnx3(+| 18.15.5 对话框编辑器 371 *MW\^PR? 18.15.6 控制对话框 377 kvu)y` 18.15.7 更高级的对话框 380 R[]Mdt< 18.16 Types语句 384 h^P#{W!e\ 18.17 打开文件 385 tw)mepwB 18.18 Bags 387 mgU<htMr1 18.13 进一步研究 388 aV0"~5 19 vStack 389 Xne1gms 19.1 vStack基本原理 389 =~LJ3sIX 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 KLk~Y0$:v 19.3 五棱镜 393 +D*Z_Yh6 19.4 光束距离 396 4Ftu 19.5 误差 399 <<O$ G7c 19.6 二向分色棱镜 399 R`-S/C 19.7 偏振泄漏 404 <qt|d& 19.8 波前误差—相位 405 C\hM =% 19.9 其它计算参数 405 sU^1wB
Rj 20 报表生成器 406 * kh tJ]= 20.1 入门 406 v4 E}D 20.2 指令(Instructions) 406 @oGcuE 20.3 页面布局指令 406 gbD KE{ 20.4 常见的参数图和三维图 407 vtJJ#8a]
20.5 表格中的常见参数 408 lPAQ3t!, 20.6 迭代指令 408 w_V P
J 20.7 报表模版 408 _7y[B&g[r 20.8 开始设计一个报表模版 409 &mM0AA'\?H 21 一个新的project 413 vW@=<aS Z 21.1 创建一个新Job 414 <9b&<K: 21.2 默认设计 415 ;}p 21.3 薄膜设计 416 sNFlKQ8)Q 21.4 误差的灵敏度计算 420 )0k53-h& 21.5 显色指数计算 422 )D%~`,#pQ 21.6 电场分布 424 |u p 后记 426 I)HPO,7
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