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#B8*gFZB 内容简介 T*?s@$)m4 Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 8)N@qUV 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 X'f.Q 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 !Uh2}ic j9d!yW 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 > _ <'D 目录 #2RiLht Preface 1 *wuqa)q2 内容简介 2 F>zl9Vi< 目录 i Z:*@5 1 引言 1 #`(WUn0H? 2 光学薄膜基础 2 .Obn&S 2.1 一般规则 2 K{@3\5< 2.2 正交入射规则 3 .Da'pOe 2.3 斜入射规则 6 :w`3cwQ 2.4 精确计算 7 (-0ePSOG 2.5 相干性 8 ?-MP_9!JK 2.6 参考文献 10 K<4Kk3 3 Essential Macleod的快速预览 10 0V$k7H$Z 4 Essential Macleod的特点 32 BecPT 4.1 容量和局限性 33 LJFG0 W 4.2 程序在哪里? 33 z0%\OhuCcf 4.3 数据文件 35 MZV_5i@: 4.4 设计规则 35 !ErH~<f%K 4.5 材料数据库和资料库 37 -`b8T0?oK 4.5.1材料损失 38 :XG;ru%i 4.5.1材料数据库和导入材料 39 p8}(kHUp( 4.5.2 材料库 41 slu(SmQ 4.5.3导出材料数据 43 Os&n 4.6 常用单位 43 g13 rx%- 4.7 插值和外推法 46 P`$!@T0= 4.8 材料数据的平滑 50 iD`d99f8O 4.9 更多光学常数模型 54 lDc-W =X= 4.10 文档的一般编辑规则 55 :s={[KBP 4.11 撤销和重做 56 >j*;vG5T 4.12 设计文档 57 `'I{U5;e 4.10.1 公式 58 h6_(?|:-( 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 P>i%7:OMZA 4.10.3 沉积密度 59 aE"[5*a 4.10.4 平行和楔形介质 60 H
3@Z.D 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 fu[K". 4.10.4 性能 61 ^qGb%! l 4.10.5 保存设计和性能 64 7O5`v(<9n> 4.10.6 默认设计 64 l<g5yYyf 4.11 图表 64 TlZT1H 4.11.1 合并曲线图 67 `B/0i A 4.11.2 自适应绘制 68 /E;y,o75 4.11.3 动态绘图 68 #[{3} %b 4.11.4 3D绘图 69 wh6yPVVF/ 4.12 导入和导出 73 (*p ,T 4.12.1 剪贴板 73 {-3L IO 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 xu5ia|gYz7 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 =Prb'8 W 4.13 背景 77 kIHDeo%K} 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 Y;4!i?el 4.15 生成Rugate 84 bmgn cwlz 4.16 参考文献 91 vhbDb)J 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 te|?)j 5.1 Jobs 92 az0<5Bq) 5.2 创建一个新Job(工作) 93 W%<LTWOc 5.3 输入材料 94 >F1kR\! 5.4 设计数据文件夹 95 W>_]dPB S/ 5.5 默认设计 95 v
^[39*8 6 细化和合成 97 YHNR3 6.1 优化介绍 97 2H71~~ c 6.2 细化 (Refinement) 98 !oPq?lW9 6.3 合成 (Synthesis) 100 X cr
= 6.4 目标和评价函数 101 ,.iRnR
6.4.1 目标输入 102 -fhN"B) 6.4.2 目标 103 \B F*m"lz 6.4.3 特殊的评价函数 104 >~%e$a7}+ 6.5 层锁定和连接 104 x:-.+C% 6.6 细化技术 104 =4V&*go*\ 6.6.1 单纯形 105 pl@O
N"=[ 6.6.1.1 单纯形参数 106 O[tvR:Nh 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 k@zy 6.6.2.1 Optimac参数 108 oSiMpQu08 6.6.3 模拟退火算法 109 A.<H>=Z#O 6.6.3.1 模拟退火参数 109 :w}{$v}#D; 6.6.4 共轭梯度 111 hfpJ+[ 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 dS^T$sz.co 6.6.5 拟牛顿法 112 `E+Jnu,jC 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 =qN2Xg/ 6.6.6 针合成 113 zp\8_ U@ 6.6.6.1 针合成参数 114 S$KFf=0 6.6.7 差分进化 114 P96pm6H_; 6.6.8非局部细化 115 5T sU Qc 6.6.8.1非局部细化参数 115 ]7-&V-Ct* 6.7 我应该使用哪种技术? 116 `:N# 'i 6.7.1 细化 116 A-:O`RK 6.7.2 合成 117 +"9hWb5 6.8 参考文献 117 n]8<DX99Q0 7 导纳图及其他工具 118 z/i+EE 7.1 简介 118 dJ$"l|$$ 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 d%l{V6 7.2.1 四分之一波长规则 119 hW{j\@R 7.2.2 导纳图 120 @lJzr3}WZ 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 Kw#so; e 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 /cc\fw1+ 7.5 斜入射导纳图 141 >S$Z 7.6 对称周期 141 gV&z2S~" 7.7 参考文献 142 .<kqJ|SVi 8 典型的镀膜实例 143 'SQG>F Uy 8.1 单层抗反射薄膜 145 \u6^Varw 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 2]% h$f+ 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 XL7h} 8.4 W-膜层 148 >0Q|nCx 8.5 V-膜层 149 ^CwR!I.D}4 8.6 V-膜层高折射基底 150 %Uz(Vd#K 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 R|i/lEq 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 apE 8.9 四层抗反射薄膜 153 GhPK-+"X 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 o|jIM9/ 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 }9nDo*A"} 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 <&)v~-&O
8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 &89oO@5 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 1S@vGq} 8.15十五层宽带抗反射膜 159 {Zp\^/ 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 )BRKZQN 8.17 1/4波长堆栈 162 ve&zcSeb 8.18 陷波滤波器 163 ZvcJK4hi 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 Z@hD(MS(C 8.20 褶皱 165 aZ\UrV4, 8.21 消偏振分光器1 169 >E*$
E 8.22 消偏振分光器2 171 ;sHN/eF 8.23 消偏振立体分光器 172 ,t1abp{A 8.24 消偏振截止滤光片 173 =]k {"?j 8.25 立体偏振分束器1 174 |!y A@y? 8.26 立方偏振分束器2 177 !UFfsNiXZ 8.27 相位延迟器 178 z0/}
! 8.28 红外截止器 179 9c JH" 8.29 21层长波带通滤波器 180 5xii(\lC 8.30 49层长波带通滤波器 181 4DTzSy:x 8.31 55层短波带通滤波器 182 y-CX}B#j 8.32 47 红外截止器 183 N/GQt\tV< 8.33 宽带通滤波器 184 9{:O{nl 8.34 诱导透射滤波器 186 ([xo9FP ; 8.35 诱导透射滤波器2 188 dDnf^7q/ 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 2B,] -Mu) 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 S4=R^];l 8.35 增益平坦滤波器 193 I* VCpaA 8.38 啁啾反射镜 1 196 n-DVT;y 8.39 啁啾反射镜2 198 W\18{mbuy 8.40 啁啾反射镜3 199 - M,7N}z@; 8.41 带保护层的铝膜层 200 8uA,iYD
8.42 增加铝反射率膜 201 Xt#1Qs 8.43 参考文献 202 '?({;/L 9 多层膜 204 Q[#vTB$f 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 8XsguC 9.2 内部透过率 204 ^Idle*+ 9.3 内部透射率数据 205 Vx @|O% 9.4 实例 206 ><=gV~7lx 9.5 实例2 210 /EG~sRvl} 9.6 圆锥和带宽计算 212 <7Ae-!>x 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 v(pmIb{ 10 光学薄膜的颜色 216 b"TjGE 10.1 导言 216 (!:cen~|[ 10.2 色彩 216 E#s)52z=B 10.3 主波长和纯度 220 yS=oUE$ 10.4 色相和纯度 221 Zy_V9j[n 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 9aJ%`i 10.6 色差 226 ,6r{VLN 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 h`3eu;5) 10.8 颜色渲染指数 234 8|$3OVS 10.9 色差计算 235 \o';"Q1H 10.10 参考文献 236 M'!U<Y
- 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 I<A6Z&*un 11.1 短脉冲 238 $U/YR&vcw 11.2 群速度 239 :\=CRaA 11.3 群速度色散 241 QFIL)'K 11.4 啁啾(chirped) 245 !\g+8> 11.5 光学薄膜—相变 245 xai4pF-? 11.6 群延迟和延迟色散 246 M|] "W 11.7 色度色散 246 E#F/88( 11.8 色散补偿 249 )*:`':_a 11.9 空间光线偏移 256 GHmv}
Z 11.10 参考文献 258 K).n.:vYZ 12 公差与误差 260 ~ Uo)0 12.1 蒙特卡罗模型 260 TFuR@KaBR 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 OaL\w
D^ 12.2.1 误差工具 267 \.g\Zib ) 12.2.2 灵敏度工具 271 ;vb8G$ 12.2.2.1 独立灵敏度 271 )TmHhNo 12.2.2.2 灵敏度分布 275 i.:. Y 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 Zo{$ 12.3 参考文献 276 ce6__f5? 13 Runsheet 与Simulator 277 yOvm`9 13.1 原理介绍 277 =H|6 GJ 13.2 截止滤光片设计 277 mZUfn%QXb( 14 光学常数提取 289 3su78e t} 14.1 介绍 289 P<K){V 14.2 电介质薄膜 289 ti &J 14.3 n 和k 的提取工具 295 CX m+)a-L 14.4 基底的参数提取 302 pc?>cs8 14.5 金属的参数提取 306 <?D\+khlq 14.6 不正确的模型 306 [ib P%xb 14.7 参考文献 311 %4W$Lq} 15 反演工程 313 CwX Z 15.1 随机性和系统性 313 O3CFme 15.2 常见的系统性问题 314 rhL" i^ 15.3 单层膜 314 "4%"&2L 15.4 多层膜 314 :EHJ\+kejX 15.5 含义 319 \qUKP"dr 15.6 反演工程实例 319 =rR~ ` 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 boo
}u 15.6.2 反演工程提取折射率 327 4l&g6YneX 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 Dk5Zh+^ 16.1 光学性质的热致偏移 329 FCkf# 16.2 应力工具 335 A0%}v* 16.3 均匀性误差 339 &)oOeRwi]. 16.3.1 圆锥工具 339 W14Vm(`N 16.3.2 波前问题 341 wd/<
8>2X 16.4 参考文献 343 eX_D/25 $ 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 b}Zd)2G 17.1 引言 345 %_Yx<wR% 17.2 操作数 345 4Bl{WyMJ | 18 如何在Function中编写脚本 351 *:O.97q@h 18.1 简介 351 J6<rX[
yZe 18.2 什么是脚本? 351 t^ZV|s 1 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 s{w[b\rA 18.4 基础 352 +t2SzQ j> 18.4.1 Classes(类别) 352 &[&r2>a 18.4.2 对象 352 \(">K 18.4.3 信息(Messages) 352 }za[E>z 18.4.4 属性 352 9h0X &1u 18.4.5 方法 353 }^(}HBT 18.4.6 变量声明 353 /cZ-tSC)o 18.5 创建对象 354 #Oha(mRY 18.5.1 创建对象函数 355 zm,@]!wI 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 phE
&7*!Q 18.5.3 丢弃对象 356 >O5m5@GK3a 18.5.4 总结 356 5E0eyW 18.6 脚本中的表格 357 z]3 `*/B 18.6.1 方法1 357 Erk?}E 18.6.2 方法2 357 #oJ5k8Wy 18.7 2D Plots in Scripts 358 Va$Pi19 O 18.8 3D Plots in Scripts 359 QORN9SY 18.9 注释 360 *GUAO){' 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 Jdy=_88MD
18.11 一个更高级的脚本 362 +w8R!jdA 18.12 <esc>键 364 CU7F5@+ 18.13 包含文件 365 QKE9R-KTE 18.14 脚本被优化调用 366 R<x'l=,D( 18.15 脚本中的对话框 368 -TZ p
FT" 18.15.1 介绍 368 2Dd|~{% 18.15.2 消息框-MsgBox 368 0R0{t=VJZ 18.15.3 输入框函数 370 2m>-dqg 18.15.4 自定义对话框 371 N0>0z]4;q 18.15.5 对话框编辑器 371 }oJAB1'k 18.15.6 控制对话框 377 FWC5&tM 18.15.7 更高级的对话框 380 bJ_cId8+ 18.16 Types语句 384 OTZ_c1"K 18.17 打开文件 385 |;A/|F0-e 18.18 Bags 387 >\w&6i~ 18.13 进一步研究 388 y&_m4Zw" 19 vStack 389 i!~'M;S 19.1 vStack基本原理 389 "S&%w8V 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 +PK6-c\r 19.3 五棱镜 393 :SV>+EDY 19.4 光束距离 396 ouHu8)q'r 19.5 误差 399 FecktD= 19.6 二向分色棱镜 399 ^h&I H| 19.7 偏振泄漏 404 iBudmT8 19.8 波前误差—相位 405 xug)aE 19.9 其它计算参数 405 pb0E@C/R 20 报表生成器 406 )~jqW=d
2 20.1 入门 406 vEQ<A<[Z 20.2 指令(Instructions) 406 79=45' 8 20.3 页面布局指令 406 joul<t- 20.4 常见的参数图和三维图 407 )IT6vU"-yd 20.5 表格中的常见参数 408 YK{a 20.6 迭代指令 408 q8ImrC.'^ 20.7 报表模版 408 @d"wAZzD? 20.8 开始设计一个报表模版 409 ]S 7^ITn 21 一个新的project 413 D5?phyC[Z 21.1 创建一个新Job 414 [Vf}NF 21.2 默认设计 415 zhB ">j8j 21.3 薄膜设计 416 /HZumV? 21.4 误差的灵敏度计算 420 z<]bv7V 21.5 显色指数计算 422 BGzI 21.6 电场分布 424 0@Kkl$O>mb 后记 426 A"Q@W<.
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