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q0Q[]|L 内容简介 <PuY"-`/Oc Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 ]w _&%mB 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 ?QJx!'Y,p 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 jdu6P+_8n f'(F'TE 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 Sk!' 2y*@& 目录 ht ]n* Preface 1 L/-SWid) 内容简介 2 :f39)g5> 目录 i )e`9U.C 1 引言 1 xZ;eV76 2 光学薄膜基础 2 0=6mb]VUi= 2.1 一般规则 2 iv6G9e{cx 2.2 正交入射规则 3 U+ik& R# 2.3 斜入射规则 6 MZ-;'w&Z 2.4 精确计算 7 5CN=a2& 2.5 相干性 8
~,&8)1 2.6 参考文献 10 $p0D9mF 3 Essential Macleod的快速预览 10 ,e;,+w=~E 4 Essential Macleod的特点 32 JWg.0d$hM 4.1 容量和局限性 33 H,w8+vZ4\ 4.2 程序在哪里? 33 H+Bon=$cE! 4.3 数据文件 35 NcF>}f,}\ 4.4 设计规则 35 6O6B8 4.5 材料数据库和资料库 37 hp2E! C ma 4.5.1材料损失 38 p.g> +7 4.5.1材料数据库和导入材料 39 ;
I-6H5 4.5.2 材料库 41 z8}QXXa 4.5.3导出材料数据 43 }(Fmr7%m 4.6 常用单位 43 BV>9U5 4.7 插值和外推法 46 Tr:@Dv.O 4.8 材料数据的平滑 50 mkyYs[ 4.9 更多光学常数模型 54 f['lY1#V1 4.10 文档的一般编辑规则 55 5Wa)_@qI)` 4.11 撤销和重做 56 *f;$5B#^ 4.12 设计文档 57 ">t^jt{ 4.10.1 公式 58 w/(T 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 L3wj vq^ 4.10.3 沉积密度 59 [9Rh" H;h 4.10.4 平行和楔形介质 60 r`6f 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 k`N*_/(|n 4.10.4 性能 61 4To$!= 4.10.5 保存设计和性能 64 %gFIu.c 4.10.6 默认设计 64 tg#jjXV\0p 4.11 图表 64 ;0oL*d[1Z 4.11.1 合并曲线图 67 |&WYu,QQ4 4.11.2 自适应绘制 68 2D"my]FnF 4.11.3 动态绘图 68 urx?p^c 4.11.4 3D绘图 69 eF{uWus 4.12 导入和导出 73 ~b)X:ku 4.12.1 剪贴板 73 `^8mGR>OpI 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 w2'z~\dG8 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 WK*tXc_[b 4.13 背景 77 hkb\GcOj 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 n5A|Zjk; 4.15 生成Rugate 84 v}t{*P 4.16 参考文献 91 F3!@|/<w 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 XZ@+aG_%q 5.1 Jobs 92 l}^ziY! 5.2 创建一个新Job(工作) 93 ;k#_/c 5.3 输入材料 94 PZV>A!7C8n 5.4 设计数据文件夹 95 fmv:vs /9 5.5 默认设计 95 ]O:8o<0 6 细化和合成 97 DIQ30(MS 6.1 优化介绍 97 Jf7H;ZM< 6.2 细化 (Refinement) 98 |iBf6smF 6.3 合成 (Synthesis) 100 L7rr/D 6.4 目标和评价函数 101 ^J7q,tvbJ 6.4.1 目标输入 102 m ne)c[Qn 6.4.2 目标 103 EmUn&p%hI 6.4.3 特殊的评价函数 104 &glh >9:G 6.5 层锁定和连接 104 w]T_%mdk 6.6 细化技术 104 jA:'P~`Hj 6.6.1 单纯形 105 m)<+?Bv y 6.6.1.1 单纯形参数 106 _7:Bxx4B 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 Rh"O$K~ 6.6.2.1 Optimac参数 108 GR*sk#{ 6.6.3 模拟退火算法 109 g]z k` R5 6.6.3.1 模拟退火参数 109 oupWzjo 6.6.4 共轭梯度 111 zJ8T.+qJ 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 {e2ZW] 6.6.5 拟牛顿法 112 ]Ri=*KZa 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 #M w70@6 6.6.6 针合成 113 7oIHp_Zq 6.6.6.1 针合成参数 114 Ucy=I$" 6.6.7 差分进化 114 )_ !a: 6.6.8非局部细化 115 cL4Go,)w 6.6.8.1非局部细化参数 115 O!dS;p-F 6.7 我应该使用哪种技术? 116 Ofoh4BL'1@ 6.7.1 细化 116 Kzq^f=p 6.7.2 合成 117 !WlL RkwO 6.8 参考文献 117 R{A$|Ipaq 7 导纳图及其他工具 118 y7#+VF`xf 7.1 简介 118 {_\dwe9 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 /[>_Ry, 7.2.1 四分之一波长规则 119 b}Im>n! 7.2.2 导纳图 120 ShV_8F z 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 -t<1A8% 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 VK*H1EH1 7.5 斜入射导纳图 141 h0~<(3zC 7.6 对称周期 141 z$m(@Q 7.7 参考文献 142 M+ <SSi" 8 典型的镀膜实例 143 => 'j_| 8.1 单层抗反射薄膜 145 g6DIWMoO=h 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 .,S`VNU 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 n>Oze7hVY 8.4 W-膜层 148 8|i<4> 8.5 V-膜层 149 X[<#B5 8.6 V-膜层高折射基底 150 dly -mPmP 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 p8.JJt^ 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 Txe*$T,( 8.9 四层抗反射薄膜 153 aG =6(ec.
8.10 Reichert抗反射薄膜 154 n'pJl 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 _[&.`jTFn 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 >HwVP.~HN 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 X5+^b({ 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 # 7dvT= 8.15十五层宽带抗反射膜 159 _f>)G3p 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 RlvvO 8.17 1/4波长堆栈 162 Bo
ywgL| 8.18 陷波滤波器 163 dQp>z%L) 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 Rd;t}E$ 8.20 褶皱 165 ^z qQ8{oV 8.21 消偏振分光器1 169 L5d
YTLY 8.22 消偏振分光器2 171 G;/>
N'# 8.23 消偏振立体分光器 172 rB(Q)N 8.24 消偏振截止滤光片 173 {s6#h #U 8.25 立体偏振分束器1 174 W>{&"
5 8.26 立方偏振分束器2 177 r0&LjH&R 8.27 相位延迟器 178 Um`KmM3 8.28 红外截止器 179 3ErV" R4"$ 8.29 21层长波带通滤波器 180 cyjgi /Z 8.30 49层长波带通滤波器 181 v=dN$B5y3 8.31 55层短波带通滤波器 182 I-J%yutB 8.32 47 红外截止器 183 &DtI+)[| 8.33 宽带通滤波器 184 _E-{*,7bZS 8.34 诱导透射滤波器 186 gLo&~|=L- 8.35 诱导透射滤波器2 188 "<&o;x< 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 r}|)oG,= 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 Ym
-U{a 8.35 增益平坦滤波器 193 u0[O /G 8.38 啁啾反射镜 1 196 /K+;HAUTn 8.39 啁啾反射镜2 198 4>Q] \\Lc 8.40 啁啾反射镜3 199 ]5ibg"{S 8.41 带保护层的铝膜层 200 ^Nav8dma 8.42 增加铝反射率膜 201 B<@a&QBTg 8.43 参考文献 202 0T$ `;~ 9 多层膜 204 }+[!h=Bx 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 X^m@*,[s 9.2 内部透过率 204 m^/>C-&C 9.3 内部透射率数据 205 b-c6.aKf| 9.4 实例 206 oOXJ7|n 9.5 实例2 210 Tn3C0 9.6 圆锥和带宽计算 212 j~;y~Cx? 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 DEfhR?v 10 光学薄膜的颜色 216 >A6PH*x 10.1 导言 216 <x$fD37 10.2 色彩 216 xw1,Wbu] 10.3 主波长和纯度 220 %$_?%X0=t 10.4 色相和纯度 221 NY[48H 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 <X97W\ 10.6 色差 226 ~g~`,:Qc 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 bhZ5-wo4% 10.8 颜色渲染指数 234 W^H[rX}= 10.9 色差计算 235 6,R<8a;Wn 10.10 参考文献 236 fv>Jn` 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 ^ilgd 11.1 短脉冲 238 LzB*d 11.2 群速度 239 dW^#}kN7V 11.3 群速度色散 241 eo"XHP7ja 11.4 啁啾(chirped) 245 TQ {8 ee{ 11.5 光学薄膜—相变 245 lrMkp@f. 11.6 群延迟和延迟色散 246 un,W{*s8* 11.7 色度色散 246 cZt5;"xgr] 11.8 色散补偿 249 !E *IktAI 11.9 空间光线偏移 256 -fK_F6_\] 11.10 参考文献 258 ]zvOM^l~ 12 公差与误差 260 7tY~8gQel 12.1 蒙特卡罗模型 260 )B5U0iIi 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 w;Pe_m7\EO 12.2.1 误差工具 267 H[r6 4~Sth 12.2.2 灵敏度工具 271 1<M~# 12.2.2.1 独立灵敏度 271 z7*mT}Q 12.2.2.2 灵敏度分布 275 ,#.^2O9-^ 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 @c,=c+- 12.3 参考文献 276 mj2sbRiSR= 13 Runsheet 与Simulator 277 wqXo]dX 13.1 原理介绍 277 yv5c0G.D 13.2 截止滤光片设计 277 XToYtdt2 14 光学常数提取 289 _x7>d:C 14.1 介绍 289 1a},(ZcdX 14.2 电介质薄膜 289 -]MZP:s 14.3 n 和k 的提取工具 295 *>j4tA{b@v 14.4 基底的参数提取 302 ). HnK 14.5 金属的参数提取 306 w:9n/[ 14.6 不正确的模型 306 79M`?xm 14.7 参考文献 311 JG'&anbm 15 反演工程 313 -.vNb!= 15.1 随机性和系统性 313 4+0:(=>[% 15.2 常见的系统性问题 314 Qhn>aeW, 15.3 单层膜 314 4f,%@s)zn 15.4 多层膜 314 MCfDR#a 15.5 含义 319 {E>(%vD 15.6 反演工程实例 319 ?~~,?Uxw! 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 rP&.`m88n 15.6.2 反演工程提取折射率 327 \OF"hPq 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 #!M;4~Sfx 16.1 光学性质的热致偏移 329 mY]R~: 16.2 应力工具 335 _5768G`P 16.3 均匀性误差 339 &eX^ll 16.3.1 圆锥工具 339 l8!n!sC[, 16.3.2 波前问题 341 W#<ZaGsq 16.4 参考文献 343 ^(yU)k3pu 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 If. hA} 17.1 引言 345 ]3yaIlpD1 17.2 操作数 345 [Q20c<, 18 如何在Function中编写脚本 351 c<g{&YJ 18.1 简介 351 pS)/yMlVj 18.2 什么是脚本? 351 q%}54E80 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 fYZ)5xnj 18.4 基础 352 & Pzr)W( 18.4.1 Classes(类别) 352 |Ns[{/ 18.4.2 对象 352 6rzXM`cs 18.4.3 信息(Messages) 352 KZTT2KsYl 18.4.4 属性 352 >PiEu->P, 18.4.5 方法 353 :mz6*0qW 18.4.6 变量声明 353 sBu- \P# 18.5 创建对象 354 'd=B{7k@ 18.5.1 创建对象函数 355 5ayH5=(t 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 @{UtS2L 18.5.3 丢弃对象 356 \!:^=2VF 18.5.4 总结 356 I)X33X, 18.6 脚本中的表格 357 3+$~l5LY 18.6.1 方法1 357
WJ$!W 18.6.2 方法2 357 4P}<86xk 18.7 2D Plots in Scripts 358 @,v.Y6Ge 18.8 3D Plots in Scripts 359 m]:|j[!*M 18.9 注释 360 TW?A/GoXI 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 xD<:'-ri> 18.11 一个更高级的脚本 362 N[AX]gOJ 18.12 <esc>键 364 keWqL] 18.13 包含文件 365 a-7T 18.14 脚本被优化调用 366 '}NQ`\k 18.15 脚本中的对话框 368 k9?fE 18.15.1 介绍 368 F2RU7o'f. 18.15.2 消息框-MsgBox 368 Aaq!i*y 18.15.3 输入框函数 370 }*I:0"WH 18.15.4 自定义对话框 371 rXlJW]i 18.15.5 对话框编辑器 371 \>*B 18.15.6 控制对话框 377 zDO`w0N 18.15.7 更高级的对话框 380 %-eags~sUC 18.16 Types语句 384 #Y;_W;# 18.17 打开文件 385 &c)n\x* 18.18 Bags 387 \d#|n u 18.13 进一步研究 388 *^q%b/ f 19 vStack 389 Y^-faL7*\ 19.1 vStack基本原理 389
0]3 #3TH 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 #4e Taik 19.3 五棱镜 393 >F~]r$G 19.4 光束距离 396 `w
J^ 19.5 误差 399 i?&g;_n^ 19.6 二向分色棱镜 399 ErNL^Se1 19.7 偏振泄漏 404 W7QcDR y6 19.8 波前误差—相位 405 \.tnzP
D 19.9 其它计算参数 405 X)^kJ` 20 报表生成器 406 [80L|?, * 20.1 入门 406 Lgh. 1foK
20.2 指令(Instructions) 406 11s*C # 20.3 页面布局指令 406 D/1f>sl 20.4 常见的参数图和三维图 407 ,s*-2Sz 20.5 表格中的常见参数 408 s6|EvIVM 20.6 迭代指令 408 CnT]uU 20.7 报表模版 408 %\5d?; 20.8 开始设计一个报表模版 409 i,DnXgmz@ 21 一个新的project 413 $-zt,iRyV 21.1 创建一个新Job 414 YM*{^BXp 21.2 默认设计 415 )!:}R}q 21.3 薄膜设计 416 ]YP J.[n 21.4 误差的灵敏度计算 420 D)ZGTq`( 21.5 显色指数计算 422 ',o ,o%n 21.6 电场分布 424 8%qHy1 后记 426 j`GL#J[wqQ
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