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p?e-`xs 内容简介 *di}rQHm Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 b1Fd]4H3P 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 ! w2BD^V- 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 _}3NLAqg :WHbwu,L$ 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 /^Ng7Mi! 目录 tL}_kK_! Preface 1 pL pBP+i 内容简介 2 SU>cJ* 目录 i f,0,:) 1 引言 1 ]m@p? A$
2 光学薄膜基础 2 C{2y*sx 2.1 一般规则 2 c!Wj^ 2.2 正交入射规则 3 !bQqzny$R 2.3 斜入射规则 6 6:3F,!J! 2.4 精确计算 7 =L9;8THY 2.5 相干性 8 Y2>0Y3yM 2.6 参考文献 10 >NjgLJh 3 Essential Macleod的快速预览 10 @zi_@B 4 Essential Macleod的特点 32 y vo4 .u 4.1 容量和局限性 33 vuO~^N]G 4.2 程序在哪里? 33 C*&FApG 4.3 数据文件 35 bXRSKp[$ 4.4 设计规则 35 SPo}!&p$~ 4.5 材料数据库和资料库 37 7kq6VS;p 4.5.1材料损失 38 rO7[{<97m 4.5.1材料数据库和导入材料 39 ,;~@t:!c 4.5.2 材料库 41 t^SND{[WcM 4.5.3导出材料数据 43 H&h"!+t(# 4.6 常用单位 43 +hUz/G+3 4.7 插值和外推法 46 YT\.${N 4.8 材料数据的平滑 50 R/@n+tbe 4.9 更多光学常数模型 54 WNWtQ2] 4.10 文档的一般编辑规则 55 #xfPobQ>il 4.11 撤销和重做 56 t# <(Q 4.12 设计文档 57 &.)ST0b4 4.10.1 公式 58 +MvO+\/ 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 H-5h-p k 4.10.3 沉积密度 59 {<L|Z=&k` 4.10.4 平行和楔形介质 60 Ae|bAyAK 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 h7cE"m 4.10.4 性能 61 -cL wjI 4.10.5 保存设计和性能 64 *@zya9y9q 4.10.6 默认设计 64 zIy&gOX 4.11 图表 64 ,pR.HCR#Y 4.11.1 合并曲线图 67 .kZ<Q]Vk 4.11.2 自适应绘制 68 |P(8T' 4.11.3 动态绘图 68 )bR`uV9< 4.11.4 3D绘图 69 Yrmd
hSY 4.12 导入和导出 73 gib'f@i ; 4.12.1 剪贴板 73 bPUldkB: 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 23*OuY 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 akV-|v_ 4.13 背景 77 4StoEgFS 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 ( Qj;B) 4.15 生成Rugate 84 *rv7#!]. 4.16 参考文献 91 !X ={a{<,T 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 t2RL|$>F1 5.1 Jobs 92 / MV2#P@ 5.2 创建一个新Job(工作) 93 vG#,J&aW 5.3 输入材料 94 %WAaoR&u 5.4 设计数据文件夹 95 QM4O|x[
5.5 默认设计 95 B)=)@h[f 6 细化和合成 97 #?klVK&e/ 6.1 优化介绍 97 l } WvO] 6.2 细化 (Refinement) 98 )UN_,'H/V 6.3 合成 (Synthesis) 100 +!eh\.u|] 6.4 目标和评价函数 101 UB3hC`N\ 6.4.1 目标输入 102 `IH*~d] 6.4.2 目标 103 {I]>!V0j! 6.4.3 特殊的评价函数 104 0^mCj<g 6.5 层锁定和连接 104 @ *n oma 6.6 细化技术 104 ;>r
E+k%_ 6.6.1 单纯形 105 E?cf#;2h8m 6.6.1.1 单纯形参数 106 'QQa :3<x 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 Y20T$5{# 6.6.2.1 Optimac参数 108 cNiNLwc 6.6.3 模拟退火算法 109 "`Y.5. 6.6.3.1 模拟退火参数 109 HL~DIC% 6.6.4 共轭梯度 111 R7 ^f|/l 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 JV@b(x` 6.6.5 拟牛顿法 112 QW=
X#yrDO 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 mV#U=zqb!S 6.6.6 针合成 113 (Ky$(Ubb#6 6.6.6.1 针合成参数 114 |^C35 6M> 6.6.7 差分进化 114 Fr)6<9%xVm 6.6.8非局部细化 115 #@}wl 6.6.8.1非局部细化参数 115
\JBPZ~N3 6.7 我应该使用哪种技术? 116 V* H7m'za 6.7.1 细化 116 g![?P"i^t 6.7.2 合成 117 $mcq/W 6.8 参考文献 117 O[15xH, 7 导纳图及其他工具 118 v{oHC4 7.1 简介 118 H/$oGhvl 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 UX@8 7.2.1 四分之一波长规则 119 |DLmMsS4 7.2.2 导纳图 120 1!&m1 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 F`M`c% 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 g^[BnP)I
7.5 斜入射导纳图 141 )Ag{S[yZ 7.6 对称周期 141 8RjFp2)W 7.7 参考文献 142 Uu~~-5 8 典型的镀膜实例 143 Pv3qN{265 8.1 单层抗反射薄膜 145 Yge}P:d9 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 z@U5 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 bj7r"_ 8.4 W-膜层 148 BoP,MpF 8.5 V-膜层 149 wkKSL 8.6 V-膜层高折射基底 150 A?"/ >LM 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 q*7:L 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 hGbSN_F 8.9 四层抗反射薄膜 153 1-~sj)*k 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 YSux#*#H 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 T0"q,lrdxV 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 gp NAM" 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 |6 E
!wW 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 F5%IsAH 8.15十五层宽带抗反射膜 159 %:yVjb,Yf 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 `2,F!kCt 8.17 1/4波长堆栈 162 cHX~-:KOr 8.18 陷波滤波器 163 X][=(l!;w7 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 ]
D+'Ao^' 8.20 褶皱 165 _bSn YhS 8.21 消偏振分光器1 169 RSBk^ 8.22 消偏振分光器2 171 <uvA([r=Vq 8.23 消偏振立体分光器 172 *}=z^;_oq 8.24 消偏振截止滤光片 173 7.bPPr& 8.25 立体偏振分束器1 174 QSyPtjg] 8.26 立方偏振分束器2 177 <`d;>r=4z 8.27 相位延迟器 178 /A93mY[ 8.28 红外截止器 179 sZI$t L<j 8.29 21层长波带通滤波器 180 V11XI<V 8.30 49层长波带通滤波器 181 rT';7>{g 8.31 55层短波带通滤波器 182 O6n]l 8.32 47 红外截止器 183 >r.W \ 8.33 宽带通滤波器 184 &;[e 8.34 诱导透射滤波器 186 zR5KC!xc 8.35 诱导透射滤波器2 188 .x][ _I> 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 qz8Jvgu? 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 s3y"y_u 8.35 增益平坦滤波器 193 WT jy"p* 8.38 啁啾反射镜 1 196 *Qy,?2 8.39 啁啾反射镜2 198 }NKnV3G/Z 8.40 啁啾反射镜3 199 s=hao4v7z 8.41 带保护层的铝膜层 200 .~fov8 8.42 增加铝反射率膜 201 (W5JVk_o 8.43 参考文献 202 9{8xMM- 9 多层膜 204 'M,O(utGv 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 qkBCI,X_Y 9.2 内部透过率 204 w]O,xO 9.3 内部透射率数据 205 X9;51JV 9.4 实例 206 <v3pI!)x 9.5 实例2 210 PLRMW2 9.6 圆锥和带宽计算 212 gm=LM= 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 J*t_r-z 10 光学薄膜的颜色 216 rY295Q 10.1 导言 216 UeU`U 10.2 色彩 216 "mc ]^O 10.3 主波长和纯度 220 c+501's 10.4 色相和纯度 221 [" sm7yQ 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 9*2^2GR^; 10.6 色差 226 .qs5xGg#9 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 z
m+3aF 10.8 颜色渲染指数 234 Lm*PHG 10.9 色差计算 235 +!$]a^3l 10.10 参考文献 236 ^y[- e9O| 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 w#{S=^`} 11.1 短脉冲 238 ,PeE'$q 11.2 群速度 239 "x
O+ 11.3 群速度色散 241 Fhga^.5U& 11.4 啁啾(chirped) 245 ;lf $)3%[ 11.5 光学薄膜—相变 245 yaYJmhG 11.6 群延迟和延迟色散 246 y#i` i 11.7 色度色散 246 _ O;R 11.8 色散补偿 249 #Ve@D@d[ 11.9 空间光线偏移 256 {_UOS8j7 11.10 参考文献 258 Z u/w> 12 公差与误差 260 vr }-u 12.1 蒙特卡罗模型 260 #@J{ ) 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 a?@lX>Z 12.2.1 误差工具 267 ~L:H]_8F l 12.2.2 灵敏度工具 271 vsJM[$RF 12.2.2.1 独立灵敏度 271 :D~J(Y2 12.2.2.2 灵敏度分布 275 <YvW /x 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 ;cGY
12.3 参考文献 276 U\-=|gQ' 13 Runsheet 与Simulator 277 h}Lrp r2r 13.1 原理介绍 277 w9675D+ 13.2 截止滤光片设计 277 vF)eo"_s* 14 光学常数提取 289 -|I_aOC@ 14.1 介绍 289 Mb-AzGsV 14.2 电介质薄膜 289 r!~6. 14.3 n 和k 的提取工具 295 *
'Bu-1{ 14.4 基底的参数提取 302 !o\e/HGc! 14.5 金属的参数提取 306 *z&hXYm 14.6 不正确的模型 306 yw >Frb5p 14.7 参考文献 311 6pbtE] 15 反演工程 313 " -S@R=bi 15.1 随机性和系统性 313 J~AmRo0!k 15.2 常见的系统性问题 314 A45!hhf 15.3 单层膜 314 &Qq| 15.4 多层膜 314 4+MaV<!tU^ 15.5 含义 319 O]KQ]zN 15.6 反演工程实例 319 b-Ru UfUn0 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 1p8hn!V 15.6.2 反演工程提取折射率 327 Z1{>"o:@ 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 I.it4~]H 16.1 光学性质的热致偏移 329 OoQLR 16.2 应力工具 335 *!ecb1U5 16.3 均匀性误差 339 ZE9.r` 16.3.1 圆锥工具 339 V=<AI.Z:w 16.3.2 波前问题 341 $e:bDZ(hjj 16.4 参考文献 343 L~C:1VG5 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 Z>pZ| 17.1 引言 345 Ey%KbvNv 17.2 操作数 345 AF>t{rw=/ 18 如何在Function中编写脚本 351 /@U bN\ 18.1 简介 351 F?t;bV 18.2 什么是脚本? 351 0~ o,^AW 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 )KOIf{ 18.4 基础 352 $g),|[x+( 18.4.1 Classes(类别) 352 [_:
GQ 18.4.2 对象 352 Nh\o39= 18.4.3 信息(Messages) 352 IyAD>Q^ 18.4.4 属性 352 Mbn;~tY> 18.4.5 方法 353 M 0$E_* 18.4.6 变量声明 353 U$;UW3- 18.5 创建对象 354 t%StBq(q 18.5.1 创建对象函数 355 dWdD^>8Ef 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 rU6A^p\, 18.5.3 丢弃对象 356 !+]KxB 18.5.4 总结 356 +.Xi7x+#O 18.6 脚本中的表格 357 u<4bOJn({ 18.6.1 方法1 357 =}YX I 18.6.2 方法2 357 Jhfw$ DF 18.7 2D Plots in Scripts 358 J|vg<[ 18.8 3D Plots in Scripts 359 VOIni<9y 18.9 注释 360 h/6^>setz 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 :(@P
*"j 18.11 一个更高级的脚本 362 TFAR>8Nm 18.12 <esc>键 364 HiBI0)N} 18.13 包含文件 365 XlnSh<e 18.14 脚本被优化调用 366 }Rw6+; 18.15 脚本中的对话框 368 UuC-R) 18.15.1 介绍 368 tq?a3 18.15.2 消息框-MsgBox 368
EWr7eH 18.15.3 输入框函数 370 >P]gjYN 18.15.4 自定义对话框 371 sPXjU5uq# 18.15.5 对话框编辑器 371 ;#9ioGx 18.15.6 控制对话框 377 1}Y3|QxF 18.15.7 更高级的对话框 380 p$uPj*
18.16 Types语句 384 }kP<zvAaw 18.17 打开文件 385 3_`)QYU' 18.18 Bags 387 XUnw*3tPJ 18.13 进一步研究 388
J5';Hb) 19 vStack 389 uP(t+}dQ+3 19.1 vStack基本原理 389 $HtGB] 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 gA%
A}) 19.3 五棱镜 393 fI1
9p Q 19.4 光束距离 396 ZCViZWo 19.5 误差 399 p_X{'=SQ1 19.6 二向分色棱镜 399 Y B,c=Wx 19.7 偏振泄漏 404 aO S,%J^? 19.8 波前误差—相位 405 y#th&YC_b 19.9 其它计算参数 405 n oM=8C&U 20 报表生成器 406 E@yo/S 20.1 入门 406 7?{y&sf 20.2 指令(Instructions) 406 %V+"i_{m 20.3 页面布局指令 406 SN]g4}K- 20.4 常见的参数图和三维图 407 k>7bPR5Mw 20.5 表格中的常见参数 408 }2iR=$2 20.6 迭代指令 408 2dcvB]T! 20.7 报表模版 408 2pU'&8 20.8 开始设计一个报表模版 409 p|8ZHR+ 21 一个新的project 413 ,aa
4Kh 21.1 创建一个新Job 414 1z-A3a/- 21.2 默认设计 415 ch25A<O<R. 21.3 薄膜设计 416 '5LdiSk 21.4 误差的灵敏度计算 420 <i]0EE}% 21.5 显色指数计算 422 j--byk6PB 21.6 电场分布 424 j>B* 8*Ss 后记 426 e([>sAx!1
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