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oCru 5F 内容简介 ysP/@;jC Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 "r `6c0Z 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 5'}!v 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 BDm H^`V 0BU:(o& 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 C&MqUj"] 目录 XajY'+DIsz Preface 1 1oVD Oo 内容简介 2 ki/Lf4 目录 i W SeRV?+T 1 引言 1 iF2IR{h 2 光学薄膜基础 2 ]KII?{<k 2.1 一般规则 2 &T4Cn@ 2.2 正交入射规则 3 <P)%Ms 2.3 斜入射规则 6 uZ{xt6 f 2.4 精确计算 7 S>zKD 2.5 相干性 8 qb/!;U_ 2.6 参考文献 10
T?$?5 3 Essential Macleod的快速预览 10 }&^bR)= 4 Essential Macleod的特点 32 #T#FUI1p 4.1 容量和局限性 33 ~d1RD 4.2 程序在哪里? 33 g&20F`.N*> 4.3 数据文件 35 G}OrpPP 4.4 设计规则 35 6(;[ov1 4.5 材料数据库和资料库 37 J'&?=| 4.5.1材料损失 38 D2mAyU- 4.5.1材料数据库和导入材料 39 53#5p;k
4.5.2 材料库 41 *h8XbBZH 4.5.3导出材料数据 43 :zTj"P>"I 4.6 常用单位 43 (IWd?,H,n 4.7 插值和外推法 46 9#ay(g 4.8 材料数据的平滑 50 =$`")3y3 4.9 更多光学常数模型 54 6I'VXdeN 4.10 文档的一般编辑规则 55 mi3q1npb7[ 4.11 撤销和重做 56 ntUVhIE0 4.12 设计文档 57 -cS4B//IK8 4.10.1 公式 58 @o.i2iG 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 f;I"tugO 4.10.3 沉积密度 59 qdnNapWnc 4.10.4 平行和楔形介质 60 IQ`aDo-V 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 2+rao2
4.10.4 性能 61 206jeH9 4.10.5 保存设计和性能 64 Xrs~ove1V 4.10.6 默认设计 64 O?<_,-. 4.11 图表 64 W8/6 4.11.1 合并曲线图 67 Tl{r D(D 4.11.2 自适应绘制 68 0{@Ovc 4.11.3 动态绘图 68 =
ft$j 4.11.4 3D绘图 69 [<yUq zm 4.12 导入和导出 73 ZI*A0_;L 4.12.1 剪贴板 73 DD3yl\#, 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 MZ[g|o!)v 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 Kct +QO( 4.13 背景 77 W_lNvzag 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 %=>xzP(z 4.15 生成Rugate 84 z?g4^0e 4.16 参考文献 91 (3S/"ZE 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 YtKX\q^. 5.1 Jobs 92 Y\F H4}\S 5.2 创建一个新Job(工作) 93 ?-p aM5Q+ 5.3 输入材料 94 Rla*hc~ 5.4 设计数据文件夹 95 IWd*"\L 5.5 默认设计 95 Ft>8 YYyU 6 细化和合成 97 ) FsSXnZL 6.1 优化介绍 97 ^ @cX0_ 6.2 细化 (Refinement) 98 f)fw87UPc 6.3 合成 (Synthesis) 100 f;6d/?= ~ 6.4 目标和评价函数 101 *m/u 3.\ 6.4.1 目标输入 102 J@-9{< 6.4.2 目标 103 T+( A7Qrx% 6.4.3 特殊的评价函数 104 '\qr=0aW 6.5 层锁定和连接 104 ;Q 6e&Ips/ 6.6 细化技术 104 qWK7K%-$E 6.6.1 单纯形 105 ZSf+5{2m 6.6.1.1 单纯形参数 106 )^xmy6k 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 5Wjp_^!e
6.6.2.1 Optimac参数 108 ;hp; Rd 6.6.3 模拟退火算法 109 tV%\Jk), 6.6.3.1 模拟退火参数 109 e;\c=J,eE 6.6.4 共轭梯度 111 Qc/J"<Lx 6.6.4.1 共轭梯度参数 111
<T9m.:l 6.6.5 拟牛顿法 112 Unk+@$E& 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 `&DiM@Sm 6.6.6 针合成 113 z<XS"4l?W 6.6.6.1 针合成参数 114 1@Gv`{v 6.6.7 差分进化 114 <\NXCUqDpo 6.6.8非局部细化 115 <<6#Uz.1 6.6.8.1非局部细化参数 115 x$4'a~E 6.7 我应该使用哪种技术? 116 p8bTR!rvz 6.7.1 细化 116 9a,CiH%@ 6.7.2 合成 117 ywBo9|%T 6.8 参考文献 117
fQ) ;+ 7 导纳图及其他工具 118 yFv3>\ 7.1 简介 118 )f|6=x4 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 &KwtvUN{ 7.2.1 四分之一波长规则 119 ,bg#pG!x Q 7.2.2 导纳图 120 ]C^*C| 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 BGOI 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 xJlq2cK 7.5 斜入射导纳图 141 \|s/_35( 7.6 对称周期 141 P]^]
T}5 7.7 参考文献 142 ;B@l0)7(x 8 典型的镀膜实例 143 eZo%q,L 8.1 单层抗反射薄膜 145
WR%iUO40 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 M1\/ueOe 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 }Qo8Xps 8.4 W-膜层 148 v.J#d>tvf 8.5 V-膜层 149 Dbd5d]]n3 8.6 V-膜层高折射基底 150 =$J2 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 *O2j<3CHf 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 jiDYPYx;I 8.9 四层抗反射薄膜 153 oyY,uB.| 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 [sRQd;+ 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 '-qc\6UY 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 C7:Ry)8'I 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157
~I74' 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 irS62Xe 8.15十五层宽带抗反射膜 159 N\$6R-L 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 R8)"M(u=l 8.17 1/4波长堆栈 162 ^~$
o-IX 8.18 陷波滤波器 163 ce\-oT 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 ;DpK*A 8.20 褶皱 165 Q2uE_w`B 8.21 消偏振分光器1 169 1lM0pl6M 8.22 消偏振分光器2 171 9yPB)&"EF 8.23 消偏振立体分光器 172 YXEZ&$e' 8.24 消偏振截止滤光片 173 g*uO
IF 8.25 立体偏振分束器1 174 3lqhjA 8.26 立方偏振分束器2 177 ?u|g2!{_ 8.27 相位延迟器 178 f]ef 1# 8.28 红外截止器 179 7+bzCDKU 8.29 21层长波带通滤波器 180 dLq!t@?iu> 8.30 49层长波带通滤波器 181 ~%ZO8X:^ 8.31 55层短波带通滤波器 182 xUUp?]9y 8.32 47 红外截止器 183 5s9~rm 8.33 宽带通滤波器 184 ub&1L_K 8.34 诱导透射滤波器 186 L.'N'-BV 8.35 诱导透射滤波器2 188 wl4yNC 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 hkY E7 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 ,??|R`S 8.35 增益平坦滤波器 193 O(VV-n7U 8.38 啁啾反射镜 1 196 MvCBgLN 8.39 啁啾反射镜2 198 s.U p<Rw 8.40 啁啾反射镜3 199 m,b<b91 8.41 带保护层的铝膜层 200 ?5D7n"jY 8.42 增加铝反射率膜 201 rm7UFMCR6i 8.43 参考文献 202 xnTky1zq 9 多层膜 204 s]qfLC 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 Wil+"[Ge 9.2 内部透过率 204 ,~!lN yL 9.3 内部透射率数据 205 4^r}&9C~ 9.4 实例 206 h?b{{ 9.5 实例2 210 R;%iu0 9.6 圆锥和带宽计算 212 9bB~r[k 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 R B!g,u 10 光学薄膜的颜色 216 &fcRVku 10.1 导言 216 B4?P"| 10.2 色彩 216 S/4kfsN 10.3 主波长和纯度 220 5BZ5Gl3 10.4 色相和纯度 221 c=5$bo]LI 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 JQb]mU%? 10.6 色差 226 \Z$*8z= 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 l[xwH 9' 10.8 颜色渲染指数 234 7Vi[I< * 10.9 色差计算 235 .*Z]0~ &| 10.10 参考文献 236 B0:O]Ax6.^ 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 $_y"P 11.1 短脉冲 238 lyyi?/W% 11.2 群速度 239 `?)i/jko" 11.3 群速度色散 241 })" : F 11.4 啁啾(chirped) 245 9Ah4N2nL-b 11.5 光学薄膜—相变 245 C-Mop,w 11.6 群延迟和延迟色散 246 ?^hC|IR$ 11.7 色度色散 246 Bn.8wMB 11.8 色散补偿 249 #>0nNR[$Y 11.9 空间光线偏移 256 !`u)&.t7 11.10 参考文献 258 +mY(6|1 12 公差与误差 260 *]LM2J 12.1 蒙特卡罗模型 260 09Fr1PL 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 uW]n3)7<I 12.2.1 误差工具 267 :KQ<rLd 12.2.2 灵敏度工具 271 0@
-LV:jU 12.2.2.1 独立灵敏度 271 o,29C7Ii 12.2.2.2 灵敏度分布 275 qU"+0t4 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 *StJ5c_kg2 12.3 参考文献 276 TPrwC~\B/ 13 Runsheet 与Simulator 277 *aSFJK 13.1 原理介绍 277 }&=C*5JN 13.2 截止滤光片设计 277 PKP(:3| 14 光学常数提取 289 yEH30zSt 14.1 介绍 289 5yry$w$G) 14.2 电介质薄膜 289 $+tkBM 14.3 n 和k 的提取工具 295 0j*8|{| 14.4 基底的参数提取 302 VL\6U05Z 14.5 金属的参数提取 306 noacnQ_I$ 14.6 不正确的模型 306 yPL@uCzA@ 14.7 参考文献 311 kWgxswl7H 15 反演工程 313 NEX\+dtE~0 15.1 随机性和系统性 313 v8LKv`I's 15.2 常见的系统性问题 314 =4?m>v,re 15.3 单层膜 314 GSk;~^l 15.4 多层膜 314 XRZmg " 15.5 含义 319 WKN\*N < 15.6 反演工程实例 319 FsD}Nk=m~ 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 lOVsp# 15.6.2 反演工程提取折射率 327 Gv<K#@9T 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 zgLm~ 16.1 光学性质的热致偏移 329 U5" C"+
3 16.2 应力工具 335 +~7@K{6q- 16.3 均匀性误差 339 f;QWlh"9 16.3.1 圆锥工具 339 |W?x6]~.R 16.3.2 波前问题 341 y$!~</=b 16.4 参考文献 343 4B) prQ3 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 LdA&F&
pI 17.1 引言 345 [~x
Ql 17.2 操作数 345 n]|[|Rf1 18 如何在Function中编写脚本 351 4-sUy 18.1 简介 351 ^!=+$@< 18.2 什么是脚本? 351 Z(Xu>ap 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 sI#K01;" 18.4 基础 352 #\fApRL 18.4.1 Classes(类别) 352 75%!R 18.4.2 对象 352 m,'u_yK 18.4.3 信息(Messages) 352 2nk}'HBe 18.4.4 属性 352 dqcfs/XhP 18.4.5 方法 353 @zE_fL 18.4.6 变量声明 353 J3C"W794} 18.5 创建对象 354 1SQ&mH/ 18.5.1 创建对象函数 355 !tN]OQ)' 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 L~~;i'J 18.5.3 丢弃对象 356 ]@Q14
18.5.4 总结 356 s<n5^Vxy 18.6 脚本中的表格 357 :h" Y >1P 18.6.1 方法1 357 +[:}<^p?cG 18.6.2 方法2 357 nXXyX[c4e 18.7 2D Plots in Scripts 358 {,,w5/k^ 18.8 3D Plots in Scripts 359 evq*&.6\ 18.9 注释 360 p^NYJV 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 Wo\NX05-? 18.11 一个更高级的脚本 362 iYR8sg[' # 18.12 <esc>键 364 bq]af.o* 18.13 包含文件 365 F?3a22Zg# 18.14 脚本被优化调用 366 8MV=? 18.15 脚本中的对话框 368 D}Z].c@E 18.15.1 介绍 368 't2"CPZ 18.15.2 消息框-MsgBox 368 m%ak ]rv([ 18.15.3 输入框函数 370 njX!Ez 18.15.4 自定义对话框 371 )~s(7
4`} 18.15.5 对话框编辑器 371 Gw$U0 HA[, 18.15.6 控制对话框 377 3}2'PC 18.15.7 更高级的对话框 380 &*r YY\I 18.16 Types语句 384 5_#wOz0u$ 18.17 打开文件 385 LsoP >vJG 18.18 Bags 387 ~}(}:#>T 18.13 进一步研究 388 aOETms w 19 vStack 389 kF`2%g+ 19.1 vStack基本原理 389 /(5SJ(a 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 eE+zL~CE 19.3 五棱镜 393 [PdatL2 19.4 光束距离 396 (ybKACx 19.5 误差 399 S!0<aFh 19.6 二向分色棱镜 399 L6O*aZ| 19.7 偏振泄漏 404 {a\m0Bw/ 19.8 波前误差—相位 405 >XM-xK-= 19.9 其它计算参数 405 5F18/:\n 20 报表生成器 406 k& 2U& 20.1 入门 406 ^g"G1,[%w 20.2 指令(Instructions) 406 4,`Yx s)% 20.3 页面布局指令 406 ?v\A&d 20.4 常见的参数图和三维图 407 S)T~vK(n 20.5 表格中的常见参数 408 TkM8GK-3 20.6 迭代指令 408 'D;v>r 20.7 报表模版 408 jA?A)YNQb 20.8 开始设计一个报表模版 409 c=0S]_ 21 一个新的project 413 l q~^&\_# 21.1 创建一个新Job 414 g:7S/L0] 21.2 默认设计 415 eF823cH2x_ 21.3 薄膜设计 416 f![?og)I% 21.4 误差的灵敏度计算 420 g ]e^; 21.5 显色指数计算 422
:?S1#d_ 21.6 电场分布 424 n<+g{QHi 后记 426 s3Pr$h
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