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us E%eF] 内容简介 c \;_jg Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 iK=QP+^VN 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 cn Ohj 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 pxn@rN#* L{rd', 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 S_TD o 目录 0xY</S Preface 1 bct8~dY 内容简介 2 v[r8-0c 目录 i 7"F29\ 1 引言 1 THARr#1b}; 2 光学薄膜基础 2 [+_>g4M~% 2.1 一般规则 2 b:cy(6G( 2.2 正交入射规则 3 <_c8F!K)T 2.3 斜入射规则 6 IdM~'
Q>\ 2.4 精确计算 7 loC~wm%Ql 2.5 相干性 8
[8~P
Pc^ 2.6 参考文献 10 T.jCF~%7F 3 Essential Macleod的快速预览 10 Nv^byWqu 4 Essential Macleod的特点 32 je5[.VT M 4.1 容量和局限性 33 Mi;Pv* 4.2 程序在哪里? 33 PW82
Vp. 4.3 数据文件 35 A'.=SA2.Y 4.4 设计规则 35 )xiu
\rC 4.5 材料数据库和资料库 37 =t`cHs29 4.5.1材料损失 38 i\O^s ] 4.5.1材料数据库和导入材料 39 h-kmZ<p|^ 4.5.2 材料库 41 C T\@>!'f 4.5.3导出材料数据 43 |#sOa 4.6 常用单位 43 -QwH| 4.7 插值和外推法 46 Xdwpn+7s 4.8 材料数据的平滑 50 )_1 GPS 4.9 更多光学常数模型 54 )XHn.>]nc 4.10 文档的一般编辑规则 55 }8POm# 4.11 撤销和重做 56 tt#dO@G#Fe 4.12 设计文档 57 QZtQogNy# 4.10.1 公式 58 Kk*8 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 S8Y\@C?5 4.10.3 沉积密度 59 l&}}Io$?@
4.10.4 平行和楔形介质 60 N/ f7"~+` 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 `<7!Rh,tS^ 4.10.4 性能 61 #q h
, 4.10.5 保存设计和性能 64 aZ+><1TD 4.10.6 默认设计 64 :m(DRD 4.11 图表 64 6T4I,XrY_F 4.11.1 合并曲线图 67 ~USt&? 4.11.2 自适应绘制 68 Zazff@O * 4.11.3 动态绘图 68 wYg!H>5 4.11.4 3D绘图 69 z~ywFk}KGd 4.12 导入和导出 73 _CfJ Kp) 4.12.1 剪贴板 73 |q58XwU ` 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 L,[Q{:C S 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 c!_c, vwrn 4.13 背景 77 TN1pg 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 fCwE1r*^ 4.15 生成Rugate 84 N+h05` 4.16 参考文献 91 15,JD 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 8;V9%h`P> 5.1 Jobs 92 _'LZf=V0 5.2 创建一个新Job(工作) 93 !
5NuFLOf 5.3 输入材料 94 ZZ7qSyBs? 5.4 设计数据文件夹 95 __2<v?\ 5.5 默认设计 95 h%krA<G9 6 细化和合成 97 LP=j/qf| 6.1 优化介绍 97
fT|A^ 6.2 细化 (Refinement) 98 W*t]
d 6.3 合成 (Synthesis) 100 >WIc"y. 6.4 目标和评价函数 101 Vv45w#w; 6.4.1 目标输入 102 Zym6btc 6.4.2 目标 103 Sk E <V0 6.4.3 特殊的评价函数 104 0]kKF<s 6.5 层锁定和连接 104 vWZXb` 6.6 细化技术 104 8.[F3Tk= 6.6.1 单纯形 105 8 {V9)U 6.6.1.1 单纯形参数 106 68Gywk3]=u 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 $[A\i<# 6.6.2.1 Optimac参数 108 TK
fN`6 6.6.3 模拟退火算法 109 Aj)Q#Fd[ 6.6.3.1 模拟退火参数 109 Ic9L@2m 6.6.4 共轭梯度 111 BG+i tyH 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 I70c,4_G 6.6.5 拟牛顿法 112 iCE!TmDT 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 u3C_Xz 6.6.6 针合成 113 Bchv1KF 6.6.6.1 针合成参数 114 ]xr0] 6.6.7 差分进化 114 UowvkVa 6.6.8非局部细化 115 motK}G 6.6.8.1非局部细化参数 115 =/!lK& 6.7 我应该使用哪种技术? 116 z*EV>Y[ 6.7.1 细化 116 s*ZE`/SM3 6.7.2 合成 117 4b`E/L}2 6.8 参考文献 117 #*'Qm
A 7 导纳图及其他工具 118 T&?g) 7.1 简介 118 4,e'B-. 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 x,!Dd 7.2.1 四分之一波长规则 119 n^Ca?|}
, 7.2.2 导纳图 120 YV<y-,Io 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 Lwr's'ao. 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 x9"Cm;H% 7.5 斜入射导纳图 141 _x!idf 7.6 对称周期 141 P.'.KZJ:WD 7.7 参考文献 142 *Jd"3Si/ 8 典型的镀膜实例 143 OG/b5U 8.1 单层抗反射薄膜 145 +;?mg(: 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 uiVNz8H 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 USVDDqZ 8.4 W-膜层 148 5To@d|{ 8.5 V-膜层 149 7nek,8b 8.6 V-膜层高折射基底 150 @-
STo/ 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 *nCA6i 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 7k(}U_v 8.9 四层抗反射薄膜 153 Vr1}Zv3K' 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 2.D2
o 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 0%ul6LvM 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 EtKq.<SJ 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 _MBhwNBxZ 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 eV[{c %wN: 8.15十五层宽带抗反射膜 159 b=,BLe\ 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 #ibwD:{ 8.17 1/4波长堆栈 162 BNfj0e 5b 8.18 陷波滤波器 163 m,k0 h% 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 x]{P.7IO' 8.20 褶皱 165 wa"0`a:`; 8.21 消偏振分光器1 169 'D+xs}\ 8.22 消偏振分光器2 171 ye^x>a[' 8.23 消偏振立体分光器 172 |U%NPw5 8.24 消偏振截止滤光片 173 T$5wH )< 8.25 立体偏振分束器1 174 2d D"^z{ 8.26 立方偏振分束器2 177 jeu'K vhe 8.27 相位延迟器 178 )9YDNVo*- 8.28 红外截止器 179 )A8#cY!< 8.29 21层长波带通滤波器 180 * Gg7(cnpw 8.30 49层长波带通滤波器 181 OS(`H5D 8.31 55层短波带通滤波器 182 y, l[v39 8.32 47 红外截止器 183 AxH;psj 8.33 宽带通滤波器 184 6}^x#9\ 8.34 诱导透射滤波器 186 q+?&w'8 8.35 诱导透射滤波器2 188 \ND]x]5d 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 %;[DMc/ 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 Dvg' 8.35 增益平坦滤波器 193 w2s`9 8.38 啁啾反射镜 1 196 MntmBj-T 8.39 啁啾反射镜2 198 3:,%>#" 8.40 啁啾反射镜3 199 LT%~Cuf 8.41 带保护层的铝膜层 200 U,WOP7z 8.42 增加铝反射率膜 201 `% 9Y)a/e 8.43 参考文献 202 '12m4quO 9 多层膜 204 q8{Bx03m6 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 xV>
.] 9.2 内部透过率 204 #{6VdWZ 9.3 内部透射率数据 205 +^AdD8U 9.4 实例 206 K*@?BE 9.5 实例2 210 A;co1,]gR 9.6 圆锥和带宽计算 212 ]46h!@~aC 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 n{?Du 10 光学薄膜的颜色 216 L4 po1 10.1 导言 216 {"p ~M7 10.2 色彩 216 ,RPb<3
B 10.3 主波长和纯度 220 Fp.eucRxP 10.4 色相和纯度 221 EXSH{P O+ 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 &lzY"Y*hA0 10.6 色差 226 GgpE"M? 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 zA#pgX[# 10.8 颜色渲染指数 234 *). 10.9 色差计算 235 u>'0Xo9R 10.10 参考文献 236 $.tT 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 zZ[kU1Fyv 11.1 短脉冲 238 aj?ZVa6 11.2 群速度 239 |j+JLB 11.3 群速度色散 241 Id?-Og2iV 11.4 啁啾(chirped) 245 s)\PY 11.5 光学薄膜—相变 245 \n}%RD-Ce 11.6 群延迟和延迟色散 246 .U{}N%S 11.7 色度色散 246 ~BI`{/O= 11.8 色散补偿 249 fHaF9o+/b 11.9 空间光线偏移 256 3cJ'tRsp< 11.10 参考文献 258 |;J`~H"K 12 公差与误差 260 nk!uO^ 12.1 蒙特卡罗模型 260 /
B!j`UK 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 Ox)<"8M 12.2.1 误差工具 267 M&iXdw& 12.2.2 灵敏度工具 271 v}!lx)# 12.2.2.1 独立灵敏度 271 =sWK;` 12.2.2.2 灵敏度分布 275 Ea4zC|; 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 CV[ 9i 12.3 参考文献 276 gPn0-)< 13 Runsheet 与Simulator 277 x}ZXeqt{{ 13.1 原理介绍 277 r;@0F 13.2 截止滤光片设计 277 3uw3[
SR1 14 光学常数提取 289 Csu9u'.V 14.1 介绍 289 ",~ZO<P 14.2 电介质薄膜 289 xZ'C(~t 14.3 n 和k 的提取工具 295 B/16EuH# 14.4 基底的参数提取 302 n{W(8K6d@[ 14.5 金属的参数提取 306 5xc e1[ 14.6 不正确的模型 306 d\-*Fmp(S 14.7 参考文献 311 `"~GqFwy~ 15 反演工程 313 3_RdzW}f 15.1 随机性和系统性 313 h8WM4
PK 15.2 常见的系统性问题 314 uBG!R#T 15.3 单层膜 314 [#!Y7Ede 15.4 多层膜 314 b|V<Kp 15.5 含义 319 8A0a/
7Lj 15.6 反演工程实例 319 E!X>C^ 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 ?*
+>T@MH 15.6.2 反演工程提取折射率 327 |zRrGQYm 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 *QN,wBQ 16.1 光学性质的热致偏移 329 [$} \Gv 16.2 应力工具 335 TQ![ 16.3 均匀性误差 339 Swf%WuDj 16.3.1 圆锥工具 339 `\##M= 16.3.2 波前问题 341 _*z^PkH 16.4 参考文献 343 F(j;|okf; 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 9y[U\[H 17.1 引言 345 y.(< 17.2 操作数 345 ;pL!cG@ 18 如何在Function中编写脚本 351 #HP-ne; # 18.1 简介 351 IPTFx
)]G 18.2 什么是脚本? 351 X#by Dg 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 p! k~ufU 18.4 基础 352 |)d%3s\ 18.4.1 Classes(类别) 352 ^$`mS&3/q 18.4.2 对象 352 pSAtn 18.4.3 信息(Messages) 352 ?}KD<R 18.4.4 属性 352 \R9izuc9 18.4.5 方法 353 3;jxIo$, 18.4.6 变量声明 353 %INkuNa8\ 18.5 创建对象 354 e)s
l 18.5.1 创建对象函数 355 -~RGjx 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355
K#6@sas 18.5.3 丢弃对象 356 EajJv>X7 18.5.4 总结 356 |oOAy 18.6 脚本中的表格 357 Q e/XEW 18.6.1 方法1 357 (:]+IjnE 18.6.2 方法2 357 ZJ+ad,?, 18.7 2D Plots in Scripts 358 !Mgo~h"]# 18.8 3D Plots in Scripts 359 5MYdLAjV 18.9 注释 360 )Ft+eMYti[ 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 Wm{ebx 18.11 一个更高级的脚本 362 @#^Y#
rxb 18.12 <esc>键 364 VcsMDa 18.13 包含文件 365 ePq (.o 18.14 脚本被优化调用 366 @+nCNXK 18.15 脚本中的对话框 368 )n<p_vz 18.15.1 介绍 368 y5KeUMcu 18.15.2 消息框-MsgBox 368 }tBw<7fe 18.15.3 输入框函数 370 !5h8sD; 18.15.4 自定义对话框 371 s1sn,? 18.15.5 对话框编辑器 371 sZ7,7E|_ 18.15.6 控制对话框 377 pyX:$j2R+% 18.15.7 更高级的对话框 380 7K&Uu3m 18.16 Types语句 384 1=T;6 8B 18.17 打开文件 385 x|AND]^Q 18.18 Bags 387 4*o?2P$Q 18.13 进一步研究 388 $e4N4e2x/ 19 vStack 389 7;Lv_Y"b 19.1 vStack基本原理 389 cL%"AVsj
> 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 +*`kJ)uP 19.3 五棱镜 393 rtbV*@Z 19.4 光束距离 396 l{]KA4 19.5 误差 399 9Nna-}e?W 19.6 二向分色棱镜 399 Gj%q:[r 19.7 偏振泄漏 404 [n&ES\o#( 19.8 波前误差—相位 405 F?jD5M08t/ 19.9 其它计算参数 405 bJ9*z~z)e 20 报表生成器 406 ?7lW@U0 20.1 入门 406 `'5vkO> 20.2 指令(Instructions) 406 HCkfw+gaV 20.3 页面布局指令 406 /ece}7M 20.4 常见的参数图和三维图 407 \Wg_ gA 20.5 表格中的常见参数 408 ;;
{K##^l 20.6 迭代指令 408 8lDb<i 20.7 报表模版 408 ZNDi;6e 20.8 开始设计一个报表模版 409 /:{4,aX2 21 一个新的project 413 IsJx5GO 21.1 创建一个新Job 414 :x5O1Zn/t 21.2 默认设计 415 X@:Y. / 21.3 薄膜设计 416 Bxw(pACf 21.4 误差的灵敏度计算 420 01&E.A 21.5 显色指数计算 422 <s\ZqL$f 21.6 电场分布 424 z%T|L[(6 后记 426 OAiv3"p
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