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内容简介 yd k Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 G>b1No3%k 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 f!<mI8H 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 x=k$^V~ v-o/zud]] 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 BLRrHaX0 目录 U
w)1yzX Preface 1 4d O>L" 内容简介 2 8cHZBM7' 目录 i "F^EfpcJ{9 1 引言 1 IKt9=Tx 2 光学薄膜基础 2 ;iEqa"gO 2.1 一般规则 2 =o {`vv 2.2 正交入射规则 3 "3K0 wR5 2.3 斜入射规则 6 F~:5/-zs 2.4 精确计算 7 <NUZPX29 2.5 相干性 8 l!1bmg #]$ 2.6 参考文献 10 7W*OyH^ 3 Essential Macleod的快速预览 10 2:]Sy4K{ 4 Essential Macleod的特点 32 ny}?+&K 4.1 容量和局限性 33 -`( :L[ 4.2 程序在哪里? 33 @[^H*^1|g 4.3 数据文件 35 [4gv_g 4.4 设计规则 35 *m;L.r`5[ 4.5 材料数据库和资料库 37 =J:~AD# 4.5.1材料损失 38 w v1R
]3} 4.5.1材料数据库和导入材料 39 lm+wjhkN 4.5.2 材料库 41 ;J4_8N- 4.5.3导出材料数据 43 2iUF%> 4.6 常用单位 43 |1neCP@ng 4.7 插值和外推法 46 up`6IWlLE 4.8 材料数据的平滑 50 OSBE5 4.9 更多光学常数模型 54 + 7Z%N9 4.10 文档的一般编辑规则 55 hAY_dM 4.11 撤销和重做 56 N7NK1<vw2 4.12 设计文档 57 vK$W)(Z 4.10.1 公式 58 d"V^^I)yx& 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 u`ZnxD> 4.10.3 沉积密度 59 WA<~M)rb 4.10.4 平行和楔形介质 60 zpY8w#b 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 H;v*/~zl 4.10.4 性能 61 % $J^dF_0 4.10.5 保存设计和性能 64 Dx8^V%b 4.10.6 默认设计 64 jWm<!<~ 4.11 图表 64 x[_+U4-/ 4.11.1 合并曲线图 67 MQI6e". 4.11.2 自适应绘制 68 J[^-k!9M 4.11.3 动态绘图 68 CkOd>Kn 4.11.4 3D绘图 69 \X(.%5xC 4.12 导入和导出 73 m$U2|5un& 4.12.1 剪贴板 73 {3l]/X3 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 8garRB{ 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 S -im
o 4.13 背景 77 gG#M-2P 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 DCHU=r 4.15 生成Rugate 84 $:>K-4X\} 4.16 参考文献 91 \KTX{qI"f 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 VlKWWQj 5.1 Jobs 92 N^O.P 5.2 创建一个新Job(工作) 93 0Rj_l:d= 5.3 输入材料 94 T8v>J4@t 5.4 设计数据文件夹 95 q$\KE4v" 5.5 默认设计 95 gg<lWeS/3 6 细化和合成 97 Wu:evaZ:i 6.1 优化介绍 97 u-8,9 6.2 细化 (Refinement) 98 Z5v\[i@H! 6.3 合成 (Synthesis) 100 sVGyHA 6.4 目标和评价函数 101 ]@_*O$ 6.4.1 目标输入 102 Qax=_[r 6.4.2 目标 103 0DGXMO$; 6.4.3 特殊的评价函数 104 :X+7}!Wlo 6.5 层锁定和连接 104 _/hWzj=q 6.6 细化技术 104 ) !3sB{H 6.6.1 单纯形 105 'v?Z~"w= 6.6.1.1 单纯形参数 106 3d[fP#NY7 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 :
xW.(^(d 6.6.2.1 Optimac参数 108 .|!Kv+yD 6.6.3 模拟退火算法 109 w?Y;pc}1B 6.6.3.1 模拟退火参数 109 h(ZZ7(ue 6.6.4 共轭梯度 111 yH irm|o 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 c1c8):o+V 6.6.5 拟牛顿法 112 l7\Bq+Q 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 usU5q>1 6.6.6 针合成 113 l1nrJm8 6.6.6.1 针合成参数 114 x:G uqE 6.6.7 差分进化 114 4/cUd=>Z 6.6.8非局部细化 115 b0t/~]9G 6.6.8.1非局部细化参数 115 =5J}CPKbZI 6.7 我应该使用哪种技术? 116 +hGr2%*0f 6.7.1 细化 116 z]K:Amp;Z 6.7.2 合成 117 'V/+v#V+> 6.8 参考文献 117 )ui]vS:> 7 导纳图及其他工具 118 `-IX"rf 7.1 简介 118 (*F/^4p!$ 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 mSr(PIH{\ 7.2.1 四分之一波长规则 119 "|`euxYV 7.2.2 导纳图 120 ogtl
UCUD 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 'Y`or14E 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 #L
ffmS 7.5 斜入射导纳图 141 _ ZMoPEW 7.6 对称周期 141 'a[|' 7.7 参考文献 142 f<?v.5($ 8 典型的镀膜实例 143 C8ek{o)%W 8.1 单层抗反射薄膜 145 JYc;6p$<i 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 m5`<XwD9 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 G*^4+^Vz? 8.4 W-膜层 148 >8PGyc*9 8.5 V-膜层 149 V^apDV\AV 8.6 V-膜层高折射基底 150 DxoW,GW 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 54r/s#|-3 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 $b OiP 8.9 四层抗反射薄膜 153 aYW9C<5 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 OO#_0qK 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 '*lVVeSiFw 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 ^ZuwUuuf 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 C%H{" 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 }LeizbU 8.15十五层宽带抗反射膜 159 a]\l:r 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 OXp(rJ*bK 8.17 1/4波长堆栈 162 KDxqz$14- 8.18 陷波滤波器 163 #p$iWY>e~ 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 PUcxlD/a} 8.20 褶皱 165 9?]69O
8.21 消偏振分光器1 169 l$/.B=] 8.22 消偏振分光器2 171 y!eT>4Oyg 8.23 消偏振立体分光器 172 7x#QkImQ 8.24 消偏振截止滤光片 173 P@|
W\ 8.25 立体偏振分束器1 174 W-D{cU 8.26 立方偏振分束器2 177 (P'{A>aHl0 8.27 相位延迟器 178 As{ "B 8.28 红外截止器 179 mSeCXCrZlI 8.29 21层长波带通滤波器 180 Nk2n&(~$ 8.30 49层长波带通滤波器 181 rel_Z..~ 8.31 55层短波带通滤波器 182 ]"ou?ot } 8.32 47 红外截止器 183 .7BJq?K. 8.33 宽带通滤波器 184 AdD,94/ 8.34 诱导透射滤波器 186 *\gYs{, 8.35 诱导透射滤波器2 188 x4bmV@b 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 !{q_Q ! 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 m)Ta5w^ 8.35 增益平坦滤波器 193 f*o+g:]3 8.38 啁啾反射镜 1 196 \?tE,\Ln 8.39 啁啾反射镜2 198 i+90##4<? 8.40 啁啾反射镜3 199 +9exap27 8.41 带保护层的铝膜层 200 Y]VLouzl 8.42 增加铝反射率膜 201 {^":^N) 8.43 参考文献 202 V9Pw\K!w#\ 9 多层膜 204 WA((>Daf] 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 g286
P_a`* 9.2 内部透过率 204 DrK@y8 9.3 内部透射率数据 205 8B!MgNKV 9.4 实例 206 rHiBW! 9.5 实例2 210 Y6G`p 9.6 圆锥和带宽计算 212 I
>aKa 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 Q@ua
G,6 10 光学薄膜的颜色 216 twMDEw#VL 10.1 导言 216 `l2h65\ 10.2 色彩 216 MFeY}_d< 10.3 主波长和纯度 220 i"#pk"@` 10.4 色相和纯度 221 ^ 6b27_= 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 y**YFQ*sc 10.6 色差 226 $+|.
@ss 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 =O%'qUj`q 10.8 颜色渲染指数 234 NK\0X5##. 10.9 色差计算 235 a(IUAh*mO 10.10 参考文献 236 @d|3c7` A 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 Gv&%cq1 11.1 短脉冲 238 A01PEVd@A 11.2 群速度 239 |@5G\N - 11.3 群速度色散 241 % oJH 6F 11.4 啁啾(chirped) 245 RiG]-K: 11.5 光学薄膜—相变 245 #(}'G* 11.6 群延迟和延迟色散 246 `y>BbJqy 11.7 色度色散 246 GC`/\~TM 11.8 色散补偿 249 6<fcG 11.9 空间光线偏移 256 :.=#U 11.10 参考文献 258 T]x]hQ 12 公差与误差 260 :{,k F 12.1 蒙特卡罗模型 260 Qe =8x7oIP 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 c+{ ar^)* 12.2.1 误差工具 267 3tW}a`z9 12.2.2 灵敏度工具 271 Ji.FG"h+2 12.2.2.1 独立灵敏度 271 C<#_1@^:8e 12.2.2.2 灵敏度分布 275 yMEI^,0" 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 D@ %!|: 12.3 参考文献 276 b,x$wP+ 13 Runsheet 与Simulator 277 ;OC{B}.vH 13.1 原理介绍 277 z+KZ6h 13.2 截止滤光片设计 277 O03F@v 14 光学常数提取 289 d*x&Uh[K 14.1 介绍 289 L|8&9F\ 14.2 电介质薄膜 289 5Y 7 %Z 14.3 n 和k 的提取工具 295 W=y9mW|p/ 14.4 基底的参数提取 302 M?5v oV* 14.5 金属的参数提取 306 oT|:gih5 14.6 不正确的模型 306 YZAQt*x 14.7 参考文献 311 ]E.\ |I( 15 反演工程 313 '|}H,I{ 15.1 随机性和系统性 313 MP_/eC ; 15.2 常见的系统性问题 314 w\M"9T 15.3 单层膜 314 #\ECQF 15.4 多层膜 314 c_t7< 15.5 含义 319 Tv `& 15.6 反演工程实例 319 `a[
V_4wO 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 H
vHy{S4 15.6.2 反演工程提取折射率 327 ~Rx`:kQ 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 ~R\ $Z 16.1 光学性质的热致偏移 329 \O]kf>nC 16.2 应力工具 335 - _~\d+>w 16.3 均匀性误差 339 qT01@Bku 16.3.1 圆锥工具 339 3vkzN 16.3.2 波前问题 341 nchpD@'t 16.4 参考文献 343 0EasPbp 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 ['Qh#^p 17.1 引言 345 +Ht(_+To1 17.2 操作数 345 ']d(m? 18 如何在Function中编写脚本 351 {P3gMv; 18.1 简介 351 ;X:Bh8tEV 18.2 什么是脚本? 351 Vh^ :.y 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 W.59Al' 18.4 基础 352 G5lBCm 18.4.1 Classes(类别) 352 E2tUL# 18.4.2 对象 352 {b-SK5%]L 18.4.3 信息(Messages) 352 ~Lq`a@]A 18.4.4 属性 352 >}/T&S 18.4.5 方法 353 T)tTzgLD} 18.4.6 变量声明 353 !=HxL-`j 18.5 创建对象 354 -c{ Y+M` 18.5.1 创建对象函数 355 [ {HTGz@( 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 T+S\'f\ 18.5.3 丢弃对象 356 ]bbP_n8 18.5.4 总结 356 )` S5>[6 18.6 脚本中的表格 357 (=j/"Mb 18.6.1 方法1 357 %L$?Mey 18.6.2 方法2 357 .J=QWfqt 18.7 2D Plots in Scripts 358 F0"("4h: 18.8 3D Plots in Scripts 359 jAovzZ6BL 18.9 注释 360 O_ vH w^ 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 xiL+s- 18.11 一个更高级的脚本 362 ,Y16m{<eC 18.12 <esc>键 364 "Bz#5kqnl 18.13 包含文件 365 a/3yn9`sQ 18.14 脚本被优化调用 366 4;(W0RQa 18.15 脚本中的对话框 368 2@Q5Ta#h 18.15.1 介绍 368 C>F5=& 18.15.2 消息框-MsgBox 368 6G(K8Q{> 18.15.3 输入框函数 370 sLzZ}u?( 18.15.4 自定义对话框 371 9Z"WV5o 18.15.5 对话框编辑器 371 Q(R-8" 18.15.6 控制对话框 377 :fUNc^\2 18.15.7 更高级的对话框 380 /7ShE-.5# 18.16 Types语句 384 ;iQw2XhT 18.17 打开文件 385 !|
q19$ 18.18 Bags 387 4q?R 3\e; 18.13 进一步研究 388 >>M7#hmt 19 vStack 389 n0t+xvNDF_ 19.1 vStack基本原理 389 LoSrXK~0~J 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 \^!<Y\\ 19.3 五棱镜 393 1;!dTh 19.4 光束距离 396 uc\G)BN 19.5 误差 399 A<(Fn_&W 19.6 二向分色棱镜 399 `uqe[u;`6 19.7 偏振泄漏 404 7W+{U02O 19.8 波前误差—相位 405 9j}Q~v\ 19.9 其它计算参数 405 fp`m>}
- 20 报表生成器 406 m:k;?p:x 20.1 入门 406 BAG#YZB 20.2 指令(Instructions) 406 G @]n(\7Y 20.3 页面布局指令 406 ?;Da%VS3 20.4 常见的参数图和三维图 407 UMMGT6s,E8 20.5 表格中的常见参数 408 ZTj!ti;5 20.6 迭代指令 408 L+mHeS l 20.7 报表模版 408 O7od2fV(i7 20.8 开始设计一个报表模版 409 uLfk>&hc 21 一个新的project 413 &V%faa1 21.1 创建一个新Job 414 #MviO!@ 21.2 默认设计 415 |o^mg9 21.3 薄膜设计 416 3ly]DTbz 21.4 误差的灵敏度计算 420 \5a;_N[Ed 21.5 显色指数计算 422 .x}xa 21.6 电场分布 424 ?B`c<H"
后记 426 H> n;[
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