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qWdL|8 内容简介 lO[[iMHl< Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 ]wZG4A 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 @xR=bWY 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 RCKb5p9 JS}iNS'X 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 yi
PMJ 目录 a(QYc?u Preface 1 ]FP(,:Yw 内容简介 2 )V7bi^r 目录 i *Mk5*_
1 引言 1 sSU p7V 2 光学薄膜基础 2 fnl~0 2.1 一般规则 2 yalT6 2.2 正交入射规则 3 DHQavHqbZ 2.3 斜入射规则 6 bkTk:-L5: 2.4 精确计算 7 )cxLpTr 2.5 相干性 8 Jsde+G,N 2.6 参考文献 10 1%g%I8W% 3 Essential Macleod的快速预览 10 u[k0z!p_ c 4 Essential Macleod的特点 32 (Rj'd>%c 4.1 容量和局限性 33 nB>C3e 4.2 程序在哪里? 33 <A"[Wk 4.3 数据文件 35 p,0J $L 4.4 设计规则 35 =MMU(0 E 4.5 材料数据库和资料库 37 ROb2g|YXG 4.5.1材料损失 38 /r2*le (H 4.5.1材料数据库和导入材料 39 ;d5d$Np@m& 4.5.2 材料库 41 4E:kDl* @ 4.5.3导出材料数据 43 .d/e?H: 4.6 常用单位 43 D[#6jJAb 4.7 插值和外推法 46 c{4Y?SSx 4.8 材料数据的平滑 50 ?Pbh&! 4.9 更多光学常数模型 54 <9Sg,ix't 4.10 文档的一般编辑规则 55 /fh[_!qN 4.11 撤销和重做 56 f~a]og5|G 4.12 设计文档 57 Ct@O S227x 4.10.1 公式 58 KF!?;q0J 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 {zha jY7 4.10.3 沉积密度 59 5|:t$ 4.10.4 平行和楔形介质 60 ';,Rq9-' 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 \A#YL1hh 4.10.4 性能 61 ;cpQ[+$nKp 4.10.5 保存设计和性能 64 mqrV:3} 4.10.6 默认设计 64 *gGL5<%T: 4.11 图表 64 V;@kWE>3 4.11.1 合并曲线图 67 <?h,;]U 4.11.2 自适应绘制 68 lJ>OuSd 4.11.3 动态绘图 68 E'KKR1t 4.11.4 3D绘图 69 OUM^u* 4.12 导入和导出 73 ^s.necg0 4.12.1 剪贴板 73 }[FP"# 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 DWXxB 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 ~Y)h[ 4.13 背景 77 Lkf}+aY 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 .G/>X%X 4.15 生成Rugate 84 <0sT 4.16 参考文献 91 8slOB>2#Y 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 jXH?os% 5.1 Jobs 92 veq.48E] 5.2 创建一个新Job(工作) 93 <13').F 5.3 输入材料 94 a]]>(Txc 5.4 设计数据文件夹 95 (6g;FD:"6 5.5 默认设计 95 DuvI2ZWP] 6 细化和合成 97 $_5a1Lq1 6.1 优化介绍 97 7iijATc 6.2 细化 (Refinement) 98 3q}fDM(@J 6.3 合成 (Synthesis) 100 x )w6 6.4 目标和评价函数 101 "o{o9.w 6.4.1 目标输入 102 P;' xa^Y 6.4.2 目标 103 hO?RsYJ.F 6.4.3 特殊的评价函数 104 #Y>os3] 6.5 层锁定和连接 104 31*0b|Z 6.6 细化技术 104 W|,Y*l 6.6.1 单纯形 105 UB8TrYra 6.6.1.1 单纯形参数 106 lk(.zYaaN 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 P(|+1$#[ 6.6.2.1 Optimac参数 108 rf\A[)<: 6.6.3 模拟退火算法 109 \+3P<?hD# 6.6.3.1 模拟退火参数 109 }.S4;#|hw 6.6.4 共轭梯度 111 \ )'`F;
P 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 -F338J+J24 6.6.5 拟牛顿法 112 l!7O2Ai5 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 VdC,M;/=Z 6.6.6 针合成 113 #)7THx/= 6.6.6.1 针合成参数 114 `=QRC.b 6.6.7 差分进化 114 )}|b6{{< 6.6.8非局部细化 115 jM07&o]D 6.6.8.1非局部细化参数 115 Kh'7N! 6.7 我应该使用哪种技术? 116 V'Z Z4og 6.7.1 细化 116 _VM()n; 6.7.2 合成 117 40i]I@:JK 6.8 参考文献 117 xsN)a! 7 导纳图及其他工具 118 zQ>|`0&8 7.1 简介 118 EmFL
%++V 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 NpLO_- 7.2.1 四分之一波长规则 119 2Y-NxW^] 7.2.2 导纳图 120 r2 .f8U 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 Jv[c?6He 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 ;jZfVRl 7.5 斜入射导纳图 141 T=~D>2C 7.6 对称周期 141 K.P1| 7.7 参考文献 142 pf@H;QS` 8 典型的镀膜实例 143 -qW[.B 8.1 单层抗反射薄膜 145 FbU98n+z 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 EG;y@\] 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 VX{9g#y$j 8.4 W-膜层 148 zMI_8lNz 8.5 V-膜层 149 zu52]$Vj 8.6 V-膜层高折射基底 150
p~bx 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 0<4Nf]i 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 dd6m/3uUW 8.9 四层抗反射薄膜 153 Yb?L:,a(I 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 *rH#k? 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 e0&x?U*/ 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 Eb.k:8?Tn 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 X={Z5Xxr" 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 6aq=h`Y 8.15十五层宽带抗反射膜 159 *^=zQ~ 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 ,2MLYW, 8.17 1/4波长堆栈 162 ?VRf5 Cr- 8.18 陷波滤波器 163 2^f6@;=M 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 j.:I{!R# 8.20 褶皱 165 i[7<l&K] 8.21 消偏振分光器1 169 2b89th 8.22 消偏振分光器2 171 @q/E)M?
8.23 消偏振立体分光器 172 1/J3 9Y~+ 8.24 消偏振截止滤光片 173 [==x4Nb 8.25 立体偏振分束器1 174 Y)*:'&~2e 8.26 立方偏振分束器2 177 FzM<0FJRX 8.27 相位延迟器 178
qC4Q+"' 8.28 红外截止器 179 k,GAHM"' 8.29 21层长波带通滤波器 180 6U(MHxY 8.30 49层长波带通滤波器 181 0CR~ vQf#r 8.31 55层短波带通滤波器 182 zNRR('B? 8.32 47 红外截止器 183 /OtLIM+7~{ 8.33 宽带通滤波器 184 efUa[XO 8.34 诱导透射滤波器 186 [#mRlL0yk 8.35 诱导透射滤波器2 188 'fS&WVR? 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 +rN&@}Jt. 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 n~Qo@%Jr 8.35 增益平坦滤波器 193 {$P')>/ 8.38 啁啾反射镜 1 196 fMluVND 8.39 啁啾反射镜2 198 kC8M2 |L 8.40 啁啾反射镜3 199 @0[#XA_> 8.41 带保护层的铝膜层 200 &|Cd1z#? 8.42 增加铝反射率膜 201 +JlPQ~5 8.43 参考文献 202 ~`Rb"Zn 9 多层膜 204 4uy:sCmu 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 D@?Tq,=
[ 9.2 内部透过率 204 ,
aJC7'( 9.3 内部透射率数据 205 hj+iB,8 9.4 实例 206 Y:#nk.}> 9.5 实例2 210 -POsbb> 9.6 圆锥和带宽计算 212
Pk/3oF 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 Zp qb0ro 10 光学薄膜的颜色 216 /^rJ`M[; 10.1 导言 216 X')t6DQ( I 10.2 色彩 216 ["N_t:9I 10.3 主波长和纯度 220 DNu-Ce% 10.4 色相和纯度 221 ^SvGSxi 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 g|=1U 10.6 色差 226 +"GBuNh 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 dBb
&sA-A 10.8 颜色渲染指数 234 yBkcYHT 10.9 色差计算 235 \m%Z;xKG 10.10 参考文献 236 Cc}3@Nf{/ 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 \PL0-.t, 11.1 短脉冲 238 tYUg%2G 11.2 群速度 239 q5#6PYIq 11.3 群速度色散 241 =x3T+)qCNX 11.4 啁啾(chirped) 245 opv<r*! 11.5 光学薄膜—相变 245 FT[of(g^ 11.6 群延迟和延迟色散 246 \IX|{]*D 11.7 色度色散 246 lEXI<b'2 11.8 色散补偿 249 S(#v<C,hd 11.9 空间光线偏移 256 vf0
fa46 11.10 参考文献 258 Ev]oPCeA 12 公差与误差 260 BG^)?_69 12.1 蒙特卡罗模型 260 9r=yfc!cS 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 vB Vg/ 12.2.1 误差工具 267 Zt
;u8O 12.2.2 灵敏度工具 271 F#KUu3;B 12.2.2.1 独立灵敏度 271 M~l\rg8 12.2.2.2 灵敏度分布 275 -58Sb"f 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 w:h([q4X 12.3 参考文献 276 Y.KJP ? 13 Runsheet 与Simulator 277 oCSJ<+[(C 13.1 原理介绍 277 ,Q,3^v- 13.2 截止滤光片设计 277 *3# RS 14 光学常数提取 289 uFnq 3m^u 14.1 介绍 289 ->rudRQ 14.2 电介质薄膜 289 .1F41UyL 14.3 n 和k 的提取工具 295 -Ic<.ix 14.4 基底的参数提取 302 }m93AL_y 14.5 金属的参数提取 306 EYR%u'&7' 14.6 不正确的模型 306 1k!$#1d< 14.7 参考文献 311 n'9&q]GN| 15 反演工程 313 iLk"lcX 15.1 随机性和系统性 313 =|V [^#V 15.2 常见的系统性问题 314 ffG1QvC|M 15.3 单层膜 314 q'KXn0IY# 15.4 多层膜 314 xp%LXxj 15.5 含义 319 2Q)pT$ 15.6 反演工程实例 319 v(`5exWV 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 y\XWg`X
y 15.6.2 反演工程提取折射率 327 2[I[I*"_d 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 aC#{@t 16.1 光学性质的热致偏移 329 9 E2OCLWrE 16.2 应力工具 335 A\-r%&. 16.3 均匀性误差 339 4XNkto 16.3.1 圆锥工具 339 nVoP:FHH 16.3.2 波前问题 341 %
|G"ZPO? 16.4 参考文献 343 HY,VJxR[ 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 7VW/v4n 17.1 引言 345 \me-#: Gu 17.2 操作数 345 qF4=MQm\aE 18 如何在Function中编写脚本 351 ,~>u<Wc!S 18.1 简介 351 \OVw 18.2 什么是脚本? 351 o?><(A| 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 b5?k)s2 18.4 基础 352 5@EX,$h 18.4.1 Classes(类别) 352 Fiaeo0 18.4.2 对象 352 )NnkoCNeE 18.4.3 信息(Messages) 352 x }i'2 18.4.4 属性 352 %B(E;t63W 18.4.5 方法 353 cdTG ]n 18.4.6 变量声明 353 r<pt_Cd 18.5 创建对象 354 q(Zu;ecBN 18.5.1 创建对象函数 355 9&Ny;oy#6 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 NT<}-^ 18.5.3 丢弃对象 356 3yu,qb'"& 18.5.4 总结 356 @!::_E+F] 18.6 脚本中的表格 357 ~QU\kZ7Z 18.6.1 方法1 357 Bi|-KS.9 18.6.2 方法2 357 ZmZ7E]c 18.7 2D Plots in Scripts 358 ?<~P)aVVj 18.8 3D Plots in Scripts 359 VL2ACv( 18.9 注释 360 =|qYaXjT$ 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 [Y8ot-6 18.11 一个更高级的脚本 362 9iN}v 18.12 <esc>键 364 "tz`@3,5dN 18.13 包含文件 365 ^K[[:7Aem 18.14 脚本被优化调用 366 \=
Wrh3 18.15 脚本中的对话框 368 79Q>t%rD[ 18.15.1 介绍 368 `sM^m`yE 18.15.2 消息框-MsgBox 368 #.|MV}6rQ 18.15.3 输入框函数 370 {oRR]> 18.15.4 自定义对话框 371 K!;>/3Y2- 18.15.5 对话框编辑器 371 O>>%lr| 18.15.6 控制对话框 377 #$v,. Yk 18.15.7 更高级的对话框 380 p/Ri|FD6 18.16 Types语句 384 I=|}%WO# 18.17 打开文件 385 V?4G~~F 18.18 Bags 387 A#CG D0T 18.13 进一步研究 388 =:Lc-y > 19 vStack 389 \g:Bg%43h 19.1 vStack基本原理 389 y])z,#%ED 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 kx07Ium 19.3 五棱镜 393 E7j9A` 19.4 光束距离 396 92g&,Wb 19.5 误差 399 +6\1
d5 19.6 二向分色棱镜 399 7r$'2">K( 19.7 偏振泄漏 404 5Cl;h^R|m 19.8 波前误差—相位 405 mH7Mch|
m 19.9 其它计算参数 405 8~v E 20 报表生成器 406 ux1SQ8C * 20.1 入门 406 rM)-$dZ 20.2 指令(Instructions) 406 ])mYE
}g 20.3 页面布局指令 406 +tp@Tb 20.4 常见的参数图和三维图 407 U\UlQp? 20.5 表格中的常见参数 408 o'!WW 20.6 迭代指令 408 XXC(R 20.7 报表模版 408 z?Qt%1q 20.8 开始设计一个报表模版 409 (kZ2D 21 一个新的project 413 j/w*2+&v 21.1 创建一个新Job 414 )U:W
9% 21.2 默认设计 415 UYsyVY`Fm| 21.3 薄膜设计 416 !KmSLr7xU 21.4 误差的灵敏度计算 420
bj U]] 21.5 显色指数计算 422 ( 2i{8 21.6 电场分布 424 Ui05o7xg~p 后记 426 ?V(h@T
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