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EVUq--)~ 内容简介 :nS;W Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 KdUnD4d 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 ]I.n\2R]om 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。
|?,[@z _, wHv]ViNvXE 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 B_l{< 目录 'K*AV7>E Preface 1 je4 w=]JV 内容简介 2 `)h6j)xiQ 目录 i q;D+ai 1 引言 1 TtDg*kZ 2 光学薄膜基础 2 %Lrd6i_j 2.1 一般规则 2 %?hsoj&k 2.2 正交入射规则 3 -MugnB6
2.3 斜入射规则 6 =!UR=Hq 2.4 精确计算 7 "ZHtR/; 2.5 相干性 8 W85@v2b 2.6 参考文献 10 KZe)K_1[ 3 Essential Macleod的快速预览 10 !.<T"8BUpv 4 Essential Macleod的特点 32 j ! NO|&k 4.1 容量和局限性 33 1?Aga,~k:a 4.2 程序在哪里? 33 u@P[Vb 4.3 数据文件 35 [;oCYb$9 4.4 设计规则 35 W Qzj[ 4.5 材料数据库和资料库 37 GOB(#vu 4.5.1材料损失 38 3q:{1rc 4.5.1材料数据库和导入材料 39 Y'3}G<'% 4.5.2 材料库 41 Koln9'tB 4.5.3导出材料数据 43 %T=A{<[` 4.6 常用单位 43 ExXM:1 e26 4.7 插值和外推法 46 s NHSr 4.8 材料数据的平滑 50 !b-bP,q 4.9 更多光学常数模型 54 =}fd6ea(o 4.10 文档的一般编辑规则 55 HFQR
;9] 4.11 撤销和重做 56 <n\`d 4.12 设计文档 57 B 2.q3T 4.10.1 公式 58
5q<zN 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 v !Kw<
fp| 4.10.3 沉积密度 59 PaCzr5!~f 4.10.4 平行和楔形介质 60 j?|* LT$%7 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 wj|x:YZ* 4.10.4 性能 61 X0+fsf<H} 4.10.5 保存设计和性能 64 RQvV R 4.10.6 默认设计 64 \hP=-J [~C 4.11 图表 64 8?Y[' 4.11.1 合并曲线图 67 ?vGffMm 4.11.2 自适应绘制 68 kDYN>``biP 4.11.3 动态绘图 68 w*w?S 4.11.4 3D绘图 69 :y,v&Kk#T 4.12 导入和导出 73 npu6E;'l* 4.12.1 剪贴板 73 %YlTF\- 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 ? {F{;r 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 D0]a\,aZ 4.13 背景 77 z&3]%t
`C 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 c| '
w 4.15 生成Rugate 84 o8FXqTUcs4 4.16 参考文献 91 snp v z1iS 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 Q\J,}1<`6 5.1 Jobs 92 =OV2 uq 5.2 创建一个新Job(工作) 93 E)t 5.3 输入材料 94
oeL5}U6>g 5.4 设计数据文件夹 95 "]-],K 5.5 默认设计 95 !m{2WW- 6 细化和合成 97 &,-p',\- 6.1 优化介绍 97 W)SjQp6 6.2 细化 (Refinement) 98 [ij,RE7,T 6.3 合成 (Synthesis) 100 I(n* _bFq 6.4 目标和评价函数 101 =ziy`#fm, 6.4.1 目标输入 102 gw3NS8
A+ 6.4.2 目标 103 _b4fS'[ 6.4.3 特殊的评价函数 104 =O{~Q3z@s 6.5 层锁定和连接 104 WA.\*Nqz e 6.6 细化技术 104 /k"hH\Pp 6.6.1 单纯形 105 %bX0 mN 6.6.1.1 单纯形参数 106 ke.7Zp2.R 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 76#.F 6.6.2.1 Optimac参数 108
td(M#a- 6.6.3 模拟退火算法 109 JAn1{<Ky 6.6.3.1 模拟退火参数 109 i&@,5/'-_O 6.6.4 共轭梯度 111 LEc8NQs 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 1}`LTPW9 6.6.5 拟牛顿法 112 bv\ A,+ 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 D?+
RJs 6.6.6 针合成 113 ":d*dl 6.6.6.1 针合成参数 114 <e6=% 9 6.6.7 差分进化 114 iM64,wnA 6.6.8非局部细化 115 `f ' C[a" 6.6.8.1非局部细化参数 115 H$-$2?5 6.7 我应该使用哪种技术? 116 iWXMKu 6.7.1 细化 116 d0C8*ifFO 6.7.2 合成 117 U=o Z.\ 6.8 参考文献 117 >7>7/7=O 7 导纳图及其他工具 118 "jU 7.1 简介 118 +6%7CC 6 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 Jc~E"x 7.2.1 四分之一波长规则 119 &R\XUxI 7.2.2 导纳图 120 ":&|[9/ 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 z(d4)z 8'6 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 8SD}nFQ 7.5 斜入射导纳图 141 f
Lk"tW 7.6 对称周期 141 O=O(3Pf> 7.7 参考文献 142 eECj_eH- 8 典型的镀膜实例 143 P6OM)>C 8.1 单层抗反射薄膜 145 BpXEK.Xw 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 #DaP=k"XV 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 -iQsi4 8.4 W-膜层 148 iE{Oit^aG 8.5 V-膜层 149 s}b*5@8|tA 8.6 V-膜层高折射基底 150 tq E>Zx=X 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 CSL4P) 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 t61'LCEis 8.9 四层抗反射薄膜 153 H*qD: N 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 $T)d!$ 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 ^X;JT=r 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 M-91
JOt~ 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 Y<ElJ>A2I 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 \2eFpy( 8.15十五层宽带抗反射膜 159 <<BQYU)Ig 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 )%|r>{ 8.17 1/4波长堆栈 162 n^Au*' 8.18 陷波滤波器 163 CI1m5g [P 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 V9$-twhu 8.20 褶皱 165 qi[(*bFK7 8.21 消偏振分光器1 169 5fxbA2\ 8.22 消偏振分光器2 171 .%hQJ{vf-^ 8.23 消偏振立体分光器 172 &
3I7]Wm 8.24 消偏振截止滤光片 173 ZmO'IT=Ye 8.25 立体偏振分束器1 174 {1 HB!@%,( 8.26 立方偏振分束器2 177 }`@?X"r 8.27 相位延迟器 178 = P8~n2V 8.28 红外截止器 179 &@oq~j_7 8.29 21层长波带通滤波器 180 3V!x?H$ 8.30 49层长波带通滤波器 181 lvig>0:M 8.31 55层短波带通滤波器 182 ?',}?{"c 8.32 47 红外截止器 183 QW:Z[?39^ 8.33 宽带通滤波器 184 HU.1":.; 8.34 诱导透射滤波器 186 3 \9][S-B 8.35 诱导透射滤波器2 188 W.GN0(uG 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 =tP$re";o 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 Bzm.X=U: 8.35 增益平坦滤波器 193 n=SzF(S[M 8.38 啁啾反射镜 1 196 %[+/>e/m 8.39 啁啾反射镜2 198 [EcV\. 8.40 啁啾反射镜3 199 K/A ? ]y 8.41 带保护层的铝膜层 200 :Q#H(\26r 8.42 增加铝反射率膜 201 :EaiM J_= 8.43 参考文献 202 4]M =q{ 9 多层膜 204 vD"_X"v 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 O^D c&w 9.2 内部透过率 204 =z']s4 9.3 内部透射率数据 205 s2%0#6c'c 9.4 实例 206 zVn* !c 9.5 实例2 210 *@=fq|6l 2 9.6 圆锥和带宽计算 212 zZw@c? 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 /TG|
B Eb 10 光学薄膜的颜色 216 ="=#5C 10.1 导言 216 l+'`BBh*] 10.2 色彩 216 4jPwL|# 10.3 主波长和纯度 220 >pJ6{Ip 10.4 色相和纯度 221 )<tzm'Rc 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 paUyS 1i 10.6 色差 226 Ld'EABM 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 3 pHn_R 10.8 颜色渲染指数 234 U0ns3LirP 10.9 色差计算 235 cKSfqqPm$" 10.10 参考文献 236 ]r]+yM| 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 [cY?!Qd0 11.1 短脉冲 238 "
-<}C%C 11.2 群速度 239 >J?jr&i 11.3 群速度色散 241 )62q|c9F 11.4 啁啾(chirped) 245 +EQpD. 11.5 光学薄膜—相变 245 t
PAt? 11.6 群延迟和延迟色散 246 Rqt[D @;m 11.7 色度色散 246 >zN"
z) 11.8 色散补偿 249 ~&vA_/M 11.9 空间光线偏移 256 D'Jm!Ap 11.10 参考文献 258 [Ja(ArO3|[ 12 公差与误差 260 m.|qVN 12.1 蒙特卡罗模型 260 Bl:{p>-q 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 Kn3YI9 12.2.1 误差工具 267 fB@K'JQG 12.2.2 灵敏度工具 271 P((S2"D<4 12.2.2.1 独立灵敏度 271 KLj 4LOs 12.2.2.2 灵敏度分布 275 GC,vQ\ 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 y_;]=hEL 12.3 参考文献 276 3m?@7 F 13 Runsheet 与Simulator 277 1
yxZ 13.1 原理介绍 277 xop-f#U* 13.2 截止滤光片设计 277 ?nj"Ptzs 14 光学常数提取 289 ^/ULh,w!fP 14.1 介绍 289 YY1{v?[ 14.2 电介质薄膜 289 zWP.1 aA& 14.3 n 和k 的提取工具 295 :%+^} 14.4 基底的参数提取 302 ptnMCF 14.5 金属的参数提取 306 m1M;'tT@ 14.6 不正确的模型 306 a)YJ4\Qg[ 14.7 参考文献 311 g>d7%FFn} 15 反演工程 313 tRpL0 =y 15.1 随机性和系统性 313 j=!(F`/ 15.2 常见的系统性问题 314 m? ]zomP 15.3 单层膜 314 /gMa" 5?, 15.4 多层膜 314 .rD#1)O 15.5 含义 319 #3 }5cC8_ 15.6 反演工程实例 319 ?[a7l:3-[ 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 `!5tH?bX
15.6.2 反演工程提取折射率 327 8YT_DM5iI 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 'b?#4rq} 16.1 光学性质的热致偏移 329 Cw9@2E'b 16.2 应力工具 335 jpPdjQ 16.3 均匀性误差 339 E.En$'BvB 16.3.1 圆锥工具 339 \.XT:B_ 16.3.2 波前问题 341 QSl:=Q' 16.4 参考文献 343 (mOqv9pn 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 }R?v"6aBS 17.1 引言 345 3> n2 17.2 操作数 345
$\JQGic` 18 如何在Function中编写脚本 351 0%q{UW2 18.1 简介 351 [<@A8Q5,y 18.2 什么是脚本? 351 k *zc5ev} 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 8k* 18.4 基础 352 F|h,a;2 18.4.1 Classes(类别) 352 CrQA :_Z(7 18.4.2 对象 352 tDuUAI54 18.4.3 信息(Messages) 352 w<8O= 18.4.4 属性 352 p:
Q%Lg_I 18.4.5 方法 353 8as$h*Wh 18.4.6 变量声明 353 `gBXeG2fn 18.5 创建对象 354 OLd$oxKR 18.5.1 创建对象函数 355 3f7t% 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 Aspj*CDu 18.5.3 丢弃对象 356 (<g;-pZH% 18.5.4 总结 356 gpO_0U4lQ] 18.6 脚本中的表格 357 G*{ u(x( 18.6.1 方法1 357 pRDON)$ 18.6.2 方法2 357 lN=m$ J 18.7 2D Plots in Scripts 358 Fh3Dc 83~ 18.8 3D Plots in Scripts 359 ]w&?k:y> 18.9 注释 360 \V!X& a 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 ??esB& |