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I 内容简介 _T7tq Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 c 7E=1*C< 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 Ir }r98lz 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 DI"mi1ObE 1nye.i~ 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 g,@0 ;uVq 目录 ,GA2K .:# Preface 1 X~T"n<:a> 内容简介 2 kTL{?- 目录 i _t_X` 1 引言 1 m\)z& hv<r 2 光学薄膜基础 2 .'saUcVg: 2.1 一般规则 2 CfNHv-jDL 2.2 正交入射规则 3 d;daYjOm 2.3 斜入射规则 6 TLU^ad#9E 2.4 精确计算 7 ri<E[8\ 2.5 相干性 8 K1AI:$H 2.6 参考文献 10 %+ynrg- 3 Essential Macleod的快速预览 10 S~.:B2=5K 4 Essential Macleod的特点 32 PF+v[h;, 4.1 容量和局限性 33 DJ2EV^D+P 4.2 程序在哪里? 33 SxdH%agM 4.3 数据文件 35 A]id*RtY 4.4 设计规则 35 >
SU2Jw 4.5 材料数据库和资料库 37 gBA
UrY%] 4.5.1材料损失 38 ] cdKd ) 4.5.1材料数据库和导入材料 39 nlQ<Aa-% 4.5.2 材料库 41 +1zCb=;!{ 4.5.3导出材料数据 43 ,A
T!:&<X 4.6 常用单位 43 Mhc!v, D$ 4.7 插值和外推法 46 wu"6Kyu 4.8 材料数据的平滑 50 jO)UK.H# 4.9 更多光学常数模型 54 m_LW<' 4.10 文档的一般编辑规则 55 RcIGIt 4.11 撤销和重做 56 dh#4/Wa, 4.12 设计文档 57 l8/ tR 4.10.1 公式 58 {{7%z4l 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 [#S}L(
4.10.3 沉积密度 59 @0S3`[/U 4.10.4 平行和楔形介质 60 0wU8PZ Nj 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 R}'kF63u* 4.10.4 性能 61 .{%~4$yu7 4.10.5 保存设计和性能 64 lS&$86Jo( 4.10.6 默认设计 64 {%.FIw k 4.11 图表 64 =(Y 1y$ 4.11.1 合并曲线图 67 gswp:82e2 4.11.2 自适应绘制 68 @.T(\Dq^ 4.11.3 动态绘图 68 .]}kOw:(# 4.11.4 3D绘图 69 qPY
OO 4.12 导入和导出 73 +`O8cHx 4.12.1 剪贴板 73 pCS2sq8RC 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 He^u+N@B 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 UE33e(Q< 4.13 背景 77 b0|q@!z> 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 uKHkC.g 4.15 生成Rugate 84 o_>id^$>B 4.16 参考文献 91 >Ng7q?h
5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 -h+=^, 5.1 Jobs 92 WlVp|s{TYP 5.2 创建一个新Job(工作) 93 \' (_r 5.3 输入材料 94 (jv!q@@2C. 5.4 设计数据文件夹 95 9t:P1 5.5 默认设计 95 GInU7y904 6 细化和合成 97 ~=qJSb 6.1 优化介绍 97 G?e"A0, 6.2 细化 (Refinement) 98 8q*MhH>6I 6.3 合成 (Synthesis) 100 d:jD 6.4 目标和评价函数 101 02OL-bv}HS 6.4.1 目标输入 102 -7\Rl3c 6.4.2 目标 103 R?@F%J;tx 6.4.3 特殊的评价函数 104 ov>Rvy 6.5 层锁定和连接 104 EooQLZ 6.6 细化技术 104 rV.04m, 6.6.1 单纯形 105 VU6nu4 6.6.1.1 单纯形参数 106 6) {jHnk)
6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 7 \)OWp 6.6.2.1 Optimac参数 108 #Bq.'?c'~ 6.6.3 模拟退火算法 109 a-w=LpVM 6.6.3.1 模拟退火参数 109 gn"Y?IZ? 6.6.4 共轭梯度 111 RSEo'2 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 A;VjMfoB 6.6.5 拟牛顿法 112 3~ITvH,`s 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 @*SgeLeL 6.6.6 针合成 113 VbR/k,Co 6.6.6.1 针合成参数 114 .R5[bXxe7 6.6.7 差分进化 114 pMZKF = 6.6.8非局部细化 115 J-C3k`%O 6.6.8.1非局部细化参数 115 I`Goc!5t
6.7 我应该使用哪种技术? 116 Itn7Kl 6.7.1 细化 116 wBlfQ
w-N 6.7.2 合成 117 $U=E7JO 6.8 参考文献 117 MJJ]8:% 7 导纳图及其他工具 118 *K#7,*Oz 7.1 简介 118 t<S]YA~N' 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 u%n6!Zx 7.2.1 四分之一波长规则 119 +c&n7 7.2.2 导纳图 120 LB*qL 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 .Y B}w 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 g3[Zh=+]E 7.5 斜入射导纳图 141 :EOx>Pf_9) 7.6 对称周期 141 ,M@LtA3g 7.7 参考文献 142 lR]z8& 8 典型的镀膜实例 143 "JI FF_ 8.1 单层抗反射薄膜 145 l(X8 cHAi 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 &6!~Q,;K- 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 ;M,u,KH)/ 8.4 W-膜层 148 !9GJ9ZEXM 8.5 V-膜层 149 @j
+8 M 8.6 V-膜层高折射基底 150 yh9fHN)F 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 o+(>/Ou 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 1~BDtHW7`n 8.9 四层抗反射薄膜 153 r(sQI#
P 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 A)9[.fhx 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 gq9D#B 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 !:
e(- 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 9=,^^,q 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 /*g9drwaa 8.15十五层宽带抗反射膜 159 }6/L5j:+ 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 h{zE;!+)D 8.17 1/4波长堆栈 162 FO"8B 8.18 陷波滤波器 163 5f+ziiZ 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 ftBbO8e 8.20 褶皱 165 m)G=4kK52- 8.21 消偏振分光器1 169 L<'8#J[_5 8.22 消偏振分光器2 171 Q`$Q(/ 8.23 消偏振立体分光器 172 aoNTRJc$ 8.24 消偏振截止滤光片 173 T3po.Km\{ 8.25 立体偏振分束器1 174 3L2@C% 8.26 立方偏振分束器2 177 G9?6qb: 8.27 相位延迟器 178 Be"Swz(n 8.28 红外截止器 179 zqEMR>px 8.29 21层长波带通滤波器 180 P'o:Vhm_H 8.30 49层长波带通滤波器 181 cSdkhRAn 8.31 55层短波带通滤波器 182 ejq2]^O4c 8.32 47 红外截止器 183 +r EqE/QF 8.33 宽带通滤波器 184 rNzsc|a: 8.34 诱导透射滤波器 186 {"<6'2T3 8.35 诱导透射滤波器2 188 c&zZsJ"~ 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 *2MM 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 _4E .
P 8.35 增益平坦滤波器 193 KP)BD; 8.38 啁啾反射镜 1 196 eF8!}|*N 8.39 啁啾反射镜2 198 k<b`v&G 8.40 啁啾反射镜3 199 F\m
8.41 带保护层的铝膜层 200 tCnx:1 8.42 增加铝反射率膜 201 ** \B P,]} 8.43 参考文献 202 m9*Lo[EXO 9 多层膜 204 oZvQ/|:p! 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 Dd+ f,$ 9.2 内部透过率 204 SB5[PDL_q 9.3 内部透射率数据 205 cv fh:~L 9.4 实例 206 hK=\O) 9.5 实例2 210 CbK&.a 9.6 圆锥和带宽计算 212 $V"NB`T 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 StUiL>9T# 10 光学薄膜的颜色 216 gv=mz,z 10.1 导言 216 _Q<wb8+/ 10.2 色彩 216 by*>w/@9)k 10.3 主波长和纯度 220 ,#^<0u+zrF 10.4 色相和纯度 221 U^_'e_) 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 75Xi%mlE7 10.6 色差 226 oo\0X 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 KMz\h2X 10.8 颜色渲染指数 234 bH7[6#y$ 10.9 色差计算 235 T-7'#uB.m 10.10 参考文献 236 U\S%Jq* 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 1j*I`xZ 11.1 短脉冲 238 fn|l9k~ <O 11.2 群速度 239 %gd=d0vm 11.3 群速度色散 241 I\R5Cb<p 11.4 啁啾(chirped) 245 1jZ:@M: 11.5 光学薄膜—相变 245 66\0JsT?3 11.6 群延迟和延迟色散 246 f~Dl;f~H_; 11.7 色度色散 246 ]pLQ;7f7D 11.8 色散补偿 249 { .KCK_ d 11.9 空间光线偏移 256 u>;#.N/ 11.10 参考文献 258 H[o'j@0 12 公差与误差 260 yhr\eiJ@6 12.1 蒙特卡罗模型 260 bhXH<= 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 `Rj<qz^7 12.2.1 误差工具 267 ]Jj\** 12.2.2 灵敏度工具 271 R7us9qM4e 12.2.2.1 独立灵敏度 271 Cna@3)_ 12.2.2.2 灵敏度分布 275 _>HXQ6Hw 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 -B2>~#L 12.3 参考文献 276 lo:]r.lX{ 13 Runsheet 与Simulator 277 bo&!oY# 13.1 原理介绍 277 =
PldXw0 13.2 截止滤光片设计 277 g#ZR,q 14 光学常数提取 289 Z,o*M#} 14.1 介绍 289 e,Xvt5 14.2 电介质薄膜 289
^SCZ 14.3 n 和k 的提取工具 295 EWN$ILdD 14.4 基底的参数提取 302 ,=lMtW 14.5 金属的参数提取 306 /_rAy 14.6 不正确的模型 306 '#<?QE!d2 14.7 参考文献 311 IS7g{:}=p 15 反演工程 313 c1wM " 15.1 随机性和系统性 313 "}DuAs 15.2 常见的系统性问题 314 !B?/6XRUx 15.3 单层膜 314 j' -akXo< 15.4 多层膜 314 @Z!leyam 15.5 含义 319 E66e4?" 15.6 反演工程实例 319 Y',s|M1})\ 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 IoNZ'g?d 15.6.2 反演工程提取折射率 327 io
cr 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 xc R 16.1 光学性质的热致偏移 329 '6{q;Bxo 16.2 应力工具 335 V_U$JKJ1= 16.3 均匀性误差 339 EF0{o_ 16.3.1 圆锥工具 339 kgK7 T 16.3.2 波前问题 341 uc%75TJ@ 16.4 参考文献 343 j._9;HifZ 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 cl2@p@av 17.1 引言 345 :<%K6?'@^ 17.2 操作数 345 %Ua*}C 18 如何在Function中编写脚本 351 3P/T`)V 18.1 简介 351 }.gDaxj 18.2 什么是脚本? 351 tjOfekU 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 ksY^w+>(! 18.4 基础 352 {AIP\ 18.4.1 Classes(类别) 352 `e~/ 18.4.2 对象 352 U*/ 18.4.3 信息(Messages) 352 =,-80WNsX 18.4.4 属性 352 Y,WcHE 18.4.5 方法 353 3z:
rUhA 18.4.6 变量声明 353 +n9&q#ah 18.5 创建对象 354 FHM^x2 18.5.1 创建对象函数 355 jD_(im5 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 JU<<,0 18.5.3 丢弃对象 356 ?C.C?h6F5B 18.5.4 总结 356 {exF"ap 18.6 脚本中的表格 357 P%pB]d.qpi 18.6.1 方法1 357 'm}~ 18.6.2 方法2 357 G#duZNBdc 18.7 2D Plots in Scripts 358 n5UcivyX
18.8 3D Plots in Scripts 359 7r"!&P*, 18.9 注释 360 Qo?"hgjlqm 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 &4"(bZ:LO 18.11 一个更高级的脚本 362 t> &$_CSWK 18.12 <esc>键 364 [$.oyjd 18.13 包含文件 365 `Lm
ArW: 18.14 脚本被优化调用 366 #zrD i 18.15 脚本中的对话框 368 HJBUN1n 18.15.1 介绍 368 $+JaEF`8 18.15.2 消息框-MsgBox 368 3KB)\nF#% 18.15.3 输入框函数 370 kp<9o!?) 18.15.4 自定义对话框 371 nImRU.;P 18.15.5 对话框编辑器 371 .eZ4?|at.F 18.15.6 控制对话框 377 I"sKlMD 18.15.7 更高级的对话框 380 }E8 Y,;fTD 18.16 Types语句 384 `U p<; 18.17 打开文件 385 g IX"W; 18.18 Bags 387 k>VP<Zm13 18.13 进一步研究 388 Gpe h#Q4x 19 vStack 389 X@x:
F|/P 19.1 vStack基本原理 389 f(D?g 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 3zWY%(8t4? 19.3 五棱镜 393 ?Dd2k%o 19.4 光束距离 396 zCO5`%14 19.5 误差 399 w'M0Rd] 19.6 二向分色棱镜 399 c)@M7UK[ 19.7 偏振泄漏 404 jE2ziK 19.8 波前误差—相位 405 b^Rg_,s 19.9 其它计算参数 405 }qV4]*+{ 20 报表生成器 406 .vQ2w 20.1 入门 406 ]3
0
7. 20.2 指令(Instructions) 406 L$@RSKYp 20.3 页面布局指令 406 e
yTYg 20.4 常见的参数图和三维图 407 K<Yh'RvTD 20.5 表格中的常见参数 408 5Odi\SJ& 20.6 迭代指令 408 a^Zn
}R r 20.7 报表模版 408 3w{i5gGn 20.8 开始设计一个报表模版 409 [`ttNW(_ 21 一个新的project 413 ,iSs2&$m 21.1 创建一个新Job 414 ~&B_ Bswf 21.2 默认设计 415 webT 21.3 薄膜设计 416 A|RAMO@le 21.4 误差的灵敏度计算 420 0C3Yina9
* 21.5 显色指数计算 422 0"
R|lTYq 21.6 电场分布 424 wQ.ild 后记 426 %5F=!(w
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