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即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 0Lmq ?D
/) Bk
r/ 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 Yo3my>N&g
% 1ZJi}~ 要求工具箱：光栅工具箱 Ahk6{uz
ec+&K ?T 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 ol7%$:S B-PN +P2 一、模拟任务： HpY-7QTPJ~ 二、光栅的描述 |;e K5(|
p;cNmMm 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 "vI:B}
6U5L>sQ 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 N|-M|1w96
c hk1tFV 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 VWf&F`^B(
r:0F("},
4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” ){^o"A?-:
Vc0C@*fVM 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 "j-Z<F]]
x 6Zhw9RV 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 EYWRTh t4(Z@X$ C$?gt-tJ' 0Cd )w4C 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm VbX+`CwH # 4 UKkd OZ> w.$ue 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm Ug(;\*yg =hD@hQ i ,9;RP/"7 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm 5hN) y-4@
%f3q CN DmzK* O{ 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm lz1RAp0R " v$~1{}iI5 ! R r k 5. 参数运行 z OwKh>]
w]<V~X 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 [ye!3h&]
khFr%u ?S 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 ] mIcK ~4 gOv 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 n}0n!Pr^ { 3,_i66 K9-;-{qb 0xE37Ld, 7. 总结 4mHR+SZy
7\(m n$ 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 GZ=7)eJ~<
ctg U 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 ]k+XL*]' A
&.W,Hh 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 s"OP[YEke/
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