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即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 Qq3>Xv <
)0zg1z 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 h(p c GE
t@!A1Vr@ 要求工具箱：光栅工具箱 e,
}{$HStZ
vDCbD#.6 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 ,:%
h`P_ CPcB17! 一、模拟任务： lm|s% 二、光栅的描述 ]T._TZ"
1pP q)}=+ 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 ?KG4Z
XwDt8TxL 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 EOXuc9>G
9qm'qx 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 ?d_vD@+\
V$bq|r 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” W/.Wp|C}K3
';LsEI[ 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 F%$l cQ04%
IwR=@Ne8 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 j-zWckT{ _mTNK^gB f('##pND@ #r QT)n 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm ~h$
H@&5 K0\`0E^, !eP0b~$/^J 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm JPpNCC.b %' ea W ! q+>'M t 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm Iv/h1j> H 7%W@Hr,%F irMBd8W G 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm p+V::O&&r |-xKH.' n m }t`43}QE 5. 参数运行 ;ZTh(_7
g{JH5IZ~ 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 o(D6
Si68_]:^ 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 e?WI=Og vH@$?b3VP 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 D0yH2[j+ |;R-q8 +1Pu29B0 \ wV ?QH 7. 总结 GK&R.R]
lM.k *`$ 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 EGj zjuJu{
%:y"o_X_ 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 A+VzpJ~
|sB L(9 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 ]0g1P-&,U
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