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即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 31k.{dnm
|eWlB\ x8 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 Q u2W
w<N [ K> 要求工具箱：光栅工具箱 $@[6j y
^,'!j/w5 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 PMjqcdBzm 8 vK
Z; 一、模拟任务： f$9V_j-K+ 二、光栅的描述 fb4/LVg'J
FSd842O 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 Dms 6"x2
{,|*99V 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 FkR 9-X<
^rjICF e 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 -?' r_t
!6\{q
M 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” phwk0J]2
)nJs9}( 0 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 jTaEaX8+
B. 6g J2c 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 $fV47;U'* >%x7-->IB 0RN]_z$;H `$SX%AZA 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm tM <6c+ N^xnx< w0 x, ~ 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm kJq8"Klg y[oc^Zuo ".onev^( 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm 4!,x3H' )t{?7w y BV"7Wp; 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm (S* T{OgO kUUeyq 3q E2mYK 5. 参数运行 <5rp$AzT
9lNO
~8
1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 s"?Z jV)`
m!SxX&m"G 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 }p$>V,u e82SG8 #] 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 a` A V I9rWut @+ d}j%. JJK C|bnUN 7. 总结 ?%dsY \
<SGO+1zt p 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 u6Fm
qK]Dj
b1JXC=*@ 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 "MQy>mD6
S B0Cq 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 eG* <=.E
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