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即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 5 A/[x $q
Dr;-2$Kt/& 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 !+& Rn\e%7
c.-/e u^| 要求工具箱：光栅工具箱 S,K'y?6
Q7 dXTS4H 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 bN Ub 7^{M:kYC! 一、模拟任务： *r Y@(| 二、光栅的描述 eXHk6[%[
DNARe!pK 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 ?2Q9z-$
e <Hbm 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 :8} iZ.
6Un 61s 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 =hs
!t|(*
hAPWEh^ 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” $1QQidB
-`z`K08sT 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 - P;_j,~U
0P(U^ rkR~ 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 V3<baxdE 8hx4s(1! orGNza"A 0JQ0lzk1 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm
5 dH}cXs 'baew8Q# &< !DNXQ 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm o80"ZU|= +*dG 'U6 fS08q9,S / 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm -ZTe#@J d$>TC (E=t EXlmIY4 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm }b9"& io U@W3x@ Hzr<i4Y=w9 5. 参数运行 :r?gD2q
QvM+]pdR6 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 <h(KI Y9T
7H$0NMP 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 `[hc{ynO| }T@^wY_Ow 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 n Xgnlb= )E--E+j 3F5Y#[L` 'j^A87\M_ 7. 总结 ` ZO#n
hT `k m a 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 e):jQite
hf6=`M}>i 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 )tH.P:
1~,
"/ N ?$ 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 2TH13k$
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