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即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 }i^M<A O
3?j: M]fR 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 -KC@M
NTq_"`JjZ 要求工具箱：光栅工具箱 <J%Z?3@ T
WwsNAJ 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 <6-73LsHcP I<RARB-j 一、模拟任务： kkZ}&OXS; 二、光栅的描述 l/(~Kf9eQG
TXM /+sd 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 `r1j>F7Xb
<b"^\]l 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 r rfJs
Mw,]Pt6 ~i 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 "Q+wO+}6
@#hQ0F8 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” ]R\L~Kr
EE]xZz>o 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 1p~O RQ
B ZU@W%E 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 X E_Lz2H` .$p eq axmq/8X \2+ngq) 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm rPy,PQG2w Ju#j%! l4$ sku- 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm mg:kVS >x%HqP#_V >y8>OJ?A7- 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm 4r_*: $g ;iYCeL ( L44|/~ 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm AVLY|79# Qa/1*Mb [@/p 8I 5. 参数运行 \YJQN3^46>
JcYY* p 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 XSof{:V
[L-wAk:Fb 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 ^7>~y( A?04,l]y 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 4P?`<K' f%n ;Z}= f9UDH8X -}4CY\d 6' 7. 总结 Cm8h
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f X:q ] 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 T]Q4=xsv
=#4>c8MM 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 aC' 6
{~]5QK g. 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 !oi
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