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即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 _I&0H Ri
%@G<B 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 C:_!zY'z
2hw3+ o6 要求工具箱：光栅工具箱 r=s ,Ath
C
z4"[C`; 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 TPq5"mco I &YYw8& 一、模拟任务： U p*p*(d3 二、光栅的描述 ^lB1- ;ng
7cr+a4 T33 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 Z%N{Y x(
ub{<m^ |) 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 c|:H/Y2n|
<!Nj2> 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 >72j,0=e
E3_e~yu& 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” (Jo cnM|U
] "q)X{G(+ 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 3:Y ZC9
bb$1RLyRL 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 3 {\b/NL$ ?Re @`f+* %^p1ax /wKW 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm ya5;C" dum! AO I6M 7xn 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm 9-Ikd>9 Q SW03/_f Ii?<L z 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm $iEM$ f:B+R S3MMyS8 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm B$ +YK%I z/.x*A= ..Zuy|?w 5. 参数运行 /wljb b/s
$`i$/FE 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 (VO)
Q
e/r41 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 KX"?3#U#Fm ']ya_ v~e 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 %q;3b fq@N D}SRr, 4v gLsl/G ZK27^oG 7. 总结 *%:p01&+
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x$ Y 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 AZ(["kh[
x4Cr Wm 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 _ ;O$o t\5
\wCj$- ;Jt 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 J|W~\(W6i
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