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即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 =Wj{]&`
w-lrnjs 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 bpGzTU
N vcHv7, 要求工具箱：光栅工具箱 6!Qknk$
-zprNQW 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 6 0'6/3 "s% 686Vz 一、模拟任务： r WJ*e Y 二、光栅的描述 p[u4,
0"TgLd 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 ?k"0w)8
A x f^hBP 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 Ex 6o=D2
7iP5T 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 FK6K6wU52m
L+ 73aN 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” 97!H`|u <
I:nI6gF 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 _y>}#6B
=w6}\ 'X 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 q=njKC au}s=ua~i gd
K*"U Gp,'kw"I 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm x LZ bU4 U3/8A:$y o'96O N0 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm ( :iPm< aF!WIvir Khr Fg1| 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm XwtAF3oz I
:@|^PYw bGu([VB 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm !f`5B( @ w?_`/oqd| };^}2Xo+ 5. 参数运行 o ~;M"
4j^bpfb, 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 N2T&,&, t
J]dW1boT@ 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 /w0w* n H z<i,D08|d 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 6(>WG R aV#h5 s l QWBCJ8y <W2ZoqaV 7. 总结 L$kgK# T
wh*:\_!0\ 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 BtzYA"
js
-2"I 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 I )5<DZB9
: WO{x g 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 e+{BJN
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