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即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 v 7?sXW
ZJCD)?]=3 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 p IKQx5;
%:bTOw[4r 要求工具箱：光栅工具箱 J7FCW^-`3
DH(Q md 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 L*TPLS[lh f>Lw sP 一、模拟任务： R5i v]8X4W 二、光栅的描述 a2l\B ~n
7,.Hj&' B 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 %#!pAUP\&
#/u% sX`#y 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 N*~G ]
Z^AOV:|m 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 }}AooziH9
j S LNQ 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” %y( oY
739J] M 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 ig
Mm.1>
*\9JIi 2 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 . zM fmuAX w> *82f {t] nwH'E 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm k)VoDxMKK 9cJzL"yi t@K N+
C 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm _wa1R+`_ y/!h.[ o.qeF4\d6 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm &&Sl0(6x[T SDY!! . 4%h@K(iN 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm d,r%LjNI Jvysvi{8 J(CqT /Au- 5. 参数运行 m"MTw@}SJ;
Im9^mVe 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 _1D'9!+
a78&< 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 _x<CTFTL nl9G1Sm(E 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 yFp8 > jl# )CEx %xE9vN; *ujn+0)[ 7. 总结 9v_B$F$_T
OidF{I*O 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 7<W7pXDp
j oa|5v' 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 - V
Rby
1b)^5U ; 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 Y<X,(\iEHP
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