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即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 zOcMc{w0
|h;MA,qva 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 #nnP.t m
eL],\\q 要求工具箱：光栅工具箱 f -#fi7
t+pI<c^]y 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 5D'8 l@7 m{' q(w} 一、模拟任务： E~24b0<7 二、光栅的描述 $0WAhq
9yQ[ *
1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 xv
/w %
a/_ ` 1 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 B^oXUEOImq
w>#~_x, ` 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 6(wpf^ br2
yjr!8L:m 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” >_R5Li
U7Ps2~x3 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 >:s :`Au
p%n} a%%I 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 KzhldMJ^zq )y8$-"D(it %_5B"on EF}Z+7A 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm QjPc fR\ Yu' lD` G g5H +2lSC 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm Lq yY??\@ F3+)bIz kfn5y#6NZ 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm z}Xn>-N- "8s0~ [6S wAITE|H<zj 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm :?&N/ 7 cU+/I>V zK33.HY 5. 参数运行 9NVe>\s_
2@=JIMtc 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 WJ=^r@Sf
ZNzye1JSm 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 \4mw>8wA 6kHAoERp 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 b{9q R5qC;_0cV U$qSMkj6RK =d`,W9D 7. 总结 dqnxhN+&
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6O5hZ 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 POdG1;)
J-hP4t&x 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 ']>@vo4kK{
w R1M_&-s 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 ? %F*{3IP
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