切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • 713阅读
    • 0回复

    [技术]粗糙表面光栅的模拟 [复制链接]

    上一主题 下一主题
    离线infotek
     
    发帖
    6569
    光币
    26994
    光券
    0
    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2023-05-23
    即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅(General Grating 2D)元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 }i^M<A O  
    3?j: M]fR  
    关键词:光栅,光栅工具箱,粗糙表面,可编程光学界面,光栅元件 -KC@M  
    NTq_"`JjZ  
    要求工具箱:光栅工具箱 <J%Z?3@ T  
    WwsNAJ  
    相关应用案例:案例090.01,案例246.01 <6-73LsHcP  
    I<RARB-j  
    一、模拟任务 kkZ}&OXS;  
    二、光栅的描述 l/(~Kf9eQG  
    TXM/+sd  
    1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓,其周期为5μm,调制深度为468nm(使得最内侧三个级次的效率相同)。 `r1j>F7Xb  
    <b"^\]l  
    2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化,由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 rrfJs  
    Mw,]Pt6~i  
    3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数:最小特征尺寸(Smallest Feature Size)和总高度调制(Total Height Modulation)。使用种子(Seed)变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 "Q+wO+}6  
    @#hQ0F8  
    4. 变量“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)” ]R\L~Kr  
    EE]xZz>o  
    下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图,其“总的高度调制(Total Height Modulation)”为50 nm,“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为不同的值。 1p~ORQ  
    B ZU@W%E  
    1) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为0 XE_Lz2H`  
    .$p eq  
    axmq/8X  
    \2+ngq)  
    2) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为100nm rPy,PQG2w  
    Ju#j%!  
    l4$ sku-  
    3) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为500nm mg:kVS  
    >x%HqP#_V  
    >y8>OJ?A7-  
    4) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为1000nm 4r_*: $g  
    ;iYCeL(  
    L44|/~  
    5) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为1500nm AVLY|79#  
    Qa/1*Mb  
    [@/p 8I  
    5. 参数运行 \YJQN3^46>  
    JcYY*p  
    1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制(Total Height Modulation)”为50nm时,随“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”变化的结果。 XSof{:V  
    [L-wAk:Fb  
    2) 相反,文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为1.5um时,将“总的高度调制(Total Height Modulation)”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 ^7>~y(  
    A?04,l]y  
    6. 具有不同的“总的高度调制(Total Height Modulation)”的结果 4P?`<K'  
    f%n ;Z}=  
    f9UDH8X  
    -}4CY\d6'  
    7. 总结 Cm8h b  
    fX:q ]  
    1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 T]Q4=xsv  
    =#4>c8MM  
    2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 aC' 6  
    {~]5QKg.  
    3) 大的调制(在x-和y-方向)会造成原始衍射结果强烈的偏差。 !oi {8X@  
     
    分享到