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    [技术]粗糙表面光栅的模拟 [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2023-05-23
    即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅(General Grating 2D)元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 x^+ C[%  
    6ynQCD  
    关键词:光栅,光栅工具箱,粗糙表面,可编程光学界面,光栅元件 /nv1 .c)k  
    6|T{BOW!d  
    要求工具箱:光栅工具箱 v0"|J3  
    P^rSpS9  
    相关应用案例:案例090.01,案例246.01 n\,TW&3  
    2Mu-c:1  
    一、模拟任务 0a8nBo7A-X  
    二、光栅的描述 4TwU0N+>  
    )tFFa*Z'  
    1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓,其周期为5μm,调制深度为468nm(使得最内侧三个级次的效率相同)。 sn5N9=\+T  
    +}mj6I  
    2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化,由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。  KS*W<_I  
    k`oXo%  
    3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数:最小特征尺寸(Smallest Feature Size)和总高度调制(Total Height Modulation)。使用种子(Seed)变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 Y0s^9?*  
    ;jX_e(T3m  
    4. 变量“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)” vbDw2  
    JO :m: M  
    下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图,其“总的高度调制(Total Height Modulation)”为50 nm,“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为不同的值。 oYJ&BPuA'  
    k\ I$ve"*  
    1) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为0 Zr}`W \  
    Y1`.  
    <RGRvv  
    <( BAws(X  
    2) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为100nm &CUkR6  
    }{K)5k@  
    OQ+?nB  
    3) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为500nm $ZcmE<7k  
    }Q\yem  
    CvbY2_>Nh  
    4) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为1000nm /jj!DO#  
    u52; )"&=)  
    Qbv)(&i# ~  
    5) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为1500nm (]7@0d88  
    p-*BB_J"  
    B@iIj<p~  
    5. 参数运行 XJ?@l3D:  
    ,x{5,K.yWq  
    1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制(Total Height Modulation)”为50nm时,随“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”变化的结果。 ^<y$+HcH  
    QRdb~f;<hj  
    2) 相反,文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为1.5um时,将“总的高度调制(Total Height Modulation)”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 dcHkb,HsO  
    l_,8_u7G  
    6. 具有不同的“总的高度调制(Total Height Modulation)”的结果 N"E\o,_  
    tmb0zuJ&C!  
    zEO 9TuBO  
    'kx{0J?  
    7. 总结 fcw \`.  
    ,(c="L4[  
    1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 kY_UY~E  
    YmF`7W  
    2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 E+~~d6nB  
    E>4 \9  
    3) 大的调制(在x-和y-方向)会造成原始衍射结果强烈的偏差。 >`oO(d}n[0  
     
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