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即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 DEt! /a{X
9%"`9j~H> 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 CC;^J-h/
pnyu& @e 要求工具箱：光栅工具箱 ' W>y v
S^|U" 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 oveK;\7 /m ^SKHYo`,,N 一、模拟任务： jzGK(%sw" 二、光栅的描述 6x=w-32+ y
S~E@A.7 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 8lGM>(:o
6-0sBB9=u 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 ZoSyc--Bv
! K_<hNG& 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 C/#pK2xY
RqP_^tB 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” yU4mS;GX
tf|;'Nc6 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 [#RFdn<
0@{0#W3R 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 NQX?&9L`r &R?to>xr \ zy nX9t f 1+ 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm 4Orq;8!BW oP%5ymL%J _ DT,iF*6 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm ViMl{ 3 #;W4$ q v'b%m8 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm P=KhR&gwV~ %7P]:G+Y\ |+::s L\r 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm UZrEFpi *Egg*2P;"Q b;5j awG 5. 参数运行 -,T!/E
wet[f {c 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 g,!.`[e'ex
iLN UydiS 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 I`rN+c: (d D7"zQ 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 PnInsf%; Z"_8 l3 -N wic| ~;H,cPvrEg 7. 总结 Rvx 7}ZL!
+ xO3<u 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 8.N`^Nj 1
?[m1? 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 vYb4 &VV
Sw,*# 98 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 *fI n<Cc
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