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即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 +vYV x<uTQ
\98|.EG 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 ; m"R.Q9*
`pXPF}T 要求工具箱：光栅工具箱 ~Efi|A /
EdCcnl?R6 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 ?^U1~5ff) rW2l +:@c 一、模拟任务： ~"cqFdnO 二、光栅的描述 .G>6_n3
-l < [CI 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 Aj+0R?9tG
ei
@$_w*TH 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 +L
pMNnl6
/< \do 1 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 gFxa UrZA
Cp]q>lM" 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” T*#< p;
~g &Gi)je 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 -V52?Hq
\; zix(N[5 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 Gu%}B@ 4^ m</nOf+C b\+9#)Up@ eSSv8 [u 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm JjG>$z &z "yls (oB9$Zz!t 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm jxZd
=%7Q *%QTv3{ bAL!l\&2 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm !qJ|`o Y _UUp+Hz CQ#%v% 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm tSq`_[@ EYU3Pl% X- 5&c$hv 5. 参数运行 +WSM< S2 U
3qq 6X?y* 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 *Ui>NTl
_pR7sNe V 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 67d p)X 3o^ oq 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 3EX4 1)u 0& ?/TSC Z #062NL
" B#(2,j7M 7. 总结 lof}isOz
WAp#[mW.fx 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 df!n.&\y!
SK
{ALe 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 Js!V,={iX
GA@Zfcg 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 qU:Mvb^5&
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