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即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅(General Grating 2D)元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 HE*P0Yf= ^ =RSoR 关键词:光栅,光栅工具箱,粗糙表面,可编程光学界面,光栅元件 .KxE>lJbqM .GuZV' 要求工具箱:光栅工具箱 l 5z8]/ D}K/5iU]a 相关应用案例:案例090.01,案例246.01 UY&DXIP M aR0v qRF 一、模拟任务: dMoN19F 二、光栅的描述 F>rf
cW2 n4G53+y' 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓,其周期为5μm,调制深度为468nm(使得最内侧三个级次的效率相同)。 >}B~~C; J.pe&1 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化,由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 -0:B2B !'
jXN82 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数:最小特征尺寸(Smallest Feature Size)和总高度调制(Total Height Modulation)。使用种子(Seed)变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 UE/N-K)` 9p9-tJfH. 4. 变量“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)” ` L?9-)m<f Q)ZkUmW 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图,其“总的高度调制(Total Height Modulation)”为50 nm,“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为不同的值。 Z.mnD+{ W'M\DKJ? 1) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为0 }{@RO./)[ {bPcr hB n`g:dz gb@ |\n 2) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为100nm Yq%D/dU8 7x:j4 o!M*cyq 3) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为500nm x_|: 3I e,Fe,5E&g cRC)99HP 4) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为1000nm 0-w^y<\ 1w|V'e?kb xn)r6 5) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为1500nm N0G-/ m1lfC Y&_1U/}h 5. 参数运行 O5p]E7/e P1mPC 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制(Total Height Modulation)”为50nm时,随“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”变化的结果。 "227 U)Q +qEvz<kch 2) 相反,文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为1.5um时,将“总的高度调制(Total Height Modulation)”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 !T3Esv ;j/-ndd&& 6. 具有不同的“总的高度调制(Total Height Modulation)”的结果 yD!V;?EnK ()+;KF8 /A) v$Bv= t#h<'?\E 7. 总结 GQ8r5V4: $0K%H 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 D;Jb'Be g1`/xJz| 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 #Rdq^TGMi; c=p @l<) 3) 大的调制(在x-和y-方向)会造成原始衍射结果强烈的偏差。 l7r!fAV-f
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