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即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 SP5t =#M6
JLV?n,nF 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 \ffU1 5@N
U c|MfxsL 要求工具箱：光栅工具箱 kA&ul
7.xJ:r| 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 TWTRMc;z+ x8* @<]! 一、模拟任务： Hxd ^oE 二、光栅的描述 \( xQ'AQ-
.#ATI<t 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 ^b(> Bg )T
[KwwhI@3 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 .ZOyZnr
Z
Z(fhH..T` 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 l ~ /y
q"pnFK9/L 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” 2E }^'o
GE.@*W 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 ~ b{j`T
6 0Obek ` 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 p=J9N-EM Bn{0-5nj jRIm _) d@t3C8 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm MEn#MT/Cz _i {4 4zE Gu9x4p 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm N\ dr_ E.~~.2
V/7?]?!xu 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm y7# 4Mcc`~ [u 2)kH$ "t" &6\ 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm q! U'DDEP EaGS}=qY5 abM4G 5. 参数运行 /I&b5Vp
r#[YBaCZJ 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 @3b|jJyf
+,$"%C 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 ,W/D 0 BV
HO_ 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 Af"vSL kpN'H_ . $R<eXDW6: Ey "<hAF 7. 总结 *oX~z>aE
>, }m=X8 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 "i_}\p.,X
dO[w3\~ 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 XOy#? X/`
]& q mV 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 h&6x.ps@
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