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即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 ;/3/R/^g
.eXA.9 |jm 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 JJ=is}S|
>$52B9ie 要求工具箱：光栅工具箱 q &6=oss!
t% B! \] 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 Z DJWd=E Cwf$`?|W 一、模拟任务： W&f Py%g
二、光栅的描述 xxcDd_z
Vy~$%H94 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 5(`GF|
+p6\R;_E 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 R+hS;F nh%
lfeWtzOf 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 l:,UN07s
m1i$>9, 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” 2Lgvy/uN
iB`]Z@ZC 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 j|dzd<kE6
^uEl QI 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 A"VXs1>_^ Cfb-:e$0 gt (nZ u$p| hd
d 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm ^O*hs%eO% # h|< > K"$ky,tU 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm .3&OF M { ;M/J J c^ozw 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm H,` XCG G{=$/&St _'p;V[ (+M 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm %k)I =| Gn4b\ y%% 1A.\Ao 5. 参数运行 # |[@Due
'p]qN;`'O$ 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 $m
oa8
. tsB$,/ 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 v Ueel% @Qozud\? 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 7Apbi}") v"_#.!V *Ocp tmY< :'' 0z 7. 总结 /*HS Ajv
ovFfTP<3V 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 YU(x!<Z
yo6IY 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 _'a4I ;
\D a$bJ 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 `" Pd$jW
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