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即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 /u pDbP.O
OO-b*\QW 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 _-nIy*', =
{f[X) 要求工具箱：光栅工具箱 O_|p{65
b:YyzOqEu 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 T)#eaz$4W ~,O}wT6q 一、模拟任务： M|\C@,F]8 二、光栅的描述 H<C+ rAIb
_?~)B\@~0 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 rEY5,'?YHv
Q+=D#x 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 l ArDOFl]x
z]0UW\S/ 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 D",~?
F A #8 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” 4kdQ h]
YfUUb V 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 I+FQ2\J*H
X.hV MX2B 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 TI^M9;b W6L}T,epX bT#re Bw8&Amxx : 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm N
Uq'96 {Y 0Lk i ( &Ez]pKjB 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm 2kQa3Pan [ ;8vO=Z 4xnM7t\ 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm e y! { dRPX`%J i }}}x
5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm Ialbz\;F2% 3FpS o+ ^. ;
x 5. 参数运行 Q2HULz{
+Rb0:r>kU 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 6<+ 8[ o
*w_f-YoXp 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 84UI)nE:Q eE- c40Bae 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 @gHWU>k,A R8YA"(j!L U 2)y fhI Y~ ( <H e? 7. 总结 _Vf0MU;3f+
CxW -lU3G` 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 Ij}k>qO/2
K^fH:pV 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 }ikJ a
|"XxM(Dm 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 LAfv 1
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