-
UID：317649
-
- 注册时间2020-06-19
- 最后登录2025-06-20
- 在线时间1790小时
-
-
访问TA的空间加好友用道具
|
即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 :`25@<*u
52=?!
JM 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 xD m^f^}>
.>_p7= a 要求工具箱：光栅工具箱 j"hfsA<_I
ki48]#p 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 YQLp # VU 9w2/cM 一、模拟任务： YLk/16r 二、光栅的描述 B/7c` V
@#xh)"} 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 `L /\F,
n]jZ2{g+ 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 [kaj8
9v=5x[f E 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 8wMu^3r
h.(CAm%Y7 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” _Gv n1"l
] X%T^3%G 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 d#'aT mu!
zo4 IY`3 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 RX3P %xZ 6 SJ )OpB\k $9)| cO 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm W{B)c?G] S2T~7- * EY^t= 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm )2~Iqzc4 }}y~\TB~} KF(N=?KO 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm w ,f1F;!q1 JI##l:,7r lky{<jZ% 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm .93B@u J=Q?_$ xb}
gJz~~g' 5. 参数运行 ~;>
psNy
sTv;Ogs. 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 5F&xU$$a-
~?`V$G=?, 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 :!Ea .v !(QDhnx}9c 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 av~dH=& = S &N[@G X} <p|P+ apF Y//(yu 7. 总结 2?J[D7
W{'RR. 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 ;]XK e')
*c<0cHv* 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 A"ApWJ 3
NFxs4:]
RT 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 ':Avh|q3N
|
