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即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 Z 4NNrA#
[*zB
vj}G 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 0 /?V _
hnh a1
f 要求工具箱：光栅工具箱 Arh0m. w
@!/w'k 8 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 PY=(|2tb4 TJ9JIxnS 一、模拟任务： WP-?C<Iw 二、光栅的描述 B6&PYMFK?*
<i34;`)b 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 a$!|) +
fR<_ 4L 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 Up?w >ly
|x*~PXb 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 "w ]
Bq0
yHL 2 ! 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” &~ oBJar
6|gC##T 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 g[<K FVlG
]pi"M 3f_ 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 ?)<DEu:Y W0%c J8~ ?EF[OyE U{(B)dFTH 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm MKIX(r( | @]yd Wd SQ7Ws u>T@ 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm M qq/k J E0QrByr_ LAqmM3{fA 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm 2(V;O WY(@ Rn 6;@Cw nxH+XH v 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm guJS;VC6U O >UG[ZgW ?,8|K B 5. 参数运行 RGd@3OjN
'J(rIH3U 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 O ;,BzA-n
T:$ a
x 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 l1*qDzb L{_Q%!h3] 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 4^h_n1 A {&Kck>C' NzB"u+jB A.nU8 7. 总结 zzlV((8 ~
fLM5L_S}Y 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 +>BL ox6
~)Z{ Yj9)S 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 <1i:Z*l.
KLVkPix;$ 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 3ZRi@=kWz
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