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即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 Bk~lE]Q3c7
JWa9[Dj 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 CjtXU=}A
pOCLyM9c 要求工具箱：光栅工具箱 L{)e1 p]q
y6lle<SIu 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 GB(o)I#h R18jju>Zr 一、模拟任务： 0wLu*K5$4E 二、光栅的描述 \S)\~>.`y!
u(7PtmV[! 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 aMSX"N"ot
+oZq~2?*S6 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 _91g=pM
/.<T^p@\& 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 z\,g %u41
J>Y wMl 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” '*5I5'[ X,
u6A ReL 'f 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 O;9'0-F ?
xq2{0q 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 m
?a&XZ ]w/`02w"$ / #z5bo y#:_K(A" k 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm vr|9NP]v Tw< N 6uCa iPV 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm h&+dIk\[3 9pKN^FX,76 Bf$YwoZov 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm $ ZD1_sJ. CBA MAr ,F7W_f#
@3 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm 8.
[TPiUn' !>g_9'n' V]cD^Fqp 5. 参数运行 <FIc!
c(. 2D 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 c
rP Er
66* /"dBwm 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 gnW `|-:\ b-8{bP]n 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 vT V'D&x2 Y
'&&1 R
C9[Jr)QX {
as#lHn 7. 总结 7*8R:X+^r
k{<]J5{7 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 R _WP r[P
$<.\,wW*'w 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 :?%$={m
=m .Lw 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 5F{NPKa Q
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