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即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 %p;;aZG
q:cCk#ra 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 J.(mg
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)k o[_OJj 要求工具箱：光栅工具箱 2`^M OGYk
[Smqe>U 1 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 'ws@I?! r .k -!/ ^ 一、模拟任务： hsAk7KC 二、光栅的描述 g ySl.cxt
l@:&0id4I 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 #EA` |
qm/#kPlM 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 dv cLZK
\MDhm,H< 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 .4J7 ^l
^U9 b) KA 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” ;$vVYC
3!op'X! 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 %RX!Pi}5+g
z2i Wr 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 T@xaa\bzg eRm*+l|? LEg ?/!LIT {nMCU{*k 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm ;TKsAU yu }T><Wst BsR3 $ 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm 0DaKd<Scv 0.wNa~ _G| h AJ^(| 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm XnKf<|j6k "
1h~P, FI @kE19 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm iU |X/>k? yu jv^2/ J ql$
g 5. 参数运行 bo#?,80L}`
Lh-+i 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 E~S~Ld%
Q sPZ dC 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 * $|9e swg*fhJFB 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 Iv{uk$^7S $\aJ.N6rb 1QbD ]"=n zUA
- 7. 总结 F!RP *
xf;Tk 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。
u yo V)
u)~::2BXAn 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 g6h=Q3@
$e%m=@ga 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 : Vrj[i-{
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