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即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。
,$6si
>!fTWdD^ 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 [vu;B4^"
AF:_&gF 要求工具箱：光栅工具箱 ;6 V~yB
ui?@:= 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 }9 ulHiR !!.@F;]W 一、模拟任务： \; XJ$~> 二、光栅的描述 >l0Qd1
C^$E#|E9 N 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 #'/rFT4{v
zw3I(_d[ 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 %p \ ~
|E6Thvl$ 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 mU[\ //
~=yU%5 s@ 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” X!hzpg(`hR
%qV:h# 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 MgiW9@_(
Ktk?(4 9 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 ^2 dQVV. D?Beg F _#~D{91
j: Da<`|
l 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm ~vYFQKrb ` 0 @m, %0&,_jM/9 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm Lq3<&$ ;-JF1p 7; U9BhtmY 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm I!!cA?W j~ b NH~3 /\,3AInLb 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm :H>I`)bw C#[P<= v *lDVV,T'}w 5. 参数运行 NP3
e^
Q0-gU+ig 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 rrC\4#H[??
)W_akU L 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 R.1.LB kh}h(z^ 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 0`pCgF zZd.U\"2 oHfr
glGX `j3 OFC{7E 7. 总结 {*;K>%r\o
+L=Xc^ 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 md bi@ms@
3 K||( 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 VOYQ<tg
zv"N bN 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 {.U:Ce
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