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即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 m;=wQYFr{I
LvWl*:z 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 xbh4j!FD$
Z P@or2No% 要求工具箱：光栅工具箱 nkKiYr
bYuQ"K
A$ 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 Q?f%]uGFQ vybQ}dscn 一、模拟任务： 2Xu?/yd 二、光栅的描述 wq|~[+y
AN!MFsk 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 ]L'FYOfrpx
dQoZh E 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 -S7PnR6
-= W" 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 "4VC:" $ f
_(CuuP$`I 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” ~s}0z&v^te
5ryzAB O\2 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 '}3m(' u
'Zq$ W ]i 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 [x {S ,?6 sU
{' Gj[+{ '%W'HqVcG1 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm qz |`\^ 87/!u]q x+kP,v 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm z|Z<S+=f GZ L{~ 7n ?)B"\#`t 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm Zk#^H*jg x 0D[D;MW
b>N) H 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm 0nko n3H |!r.p_Zt V:M$-6jv 5. 参数运行 #z|\AmZ\
5 z ebH 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 +O< 0q "E
sGNVZx 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 :!omog t@GPB]3[ 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 <Sxsmf0" o<`)cb } l2DhFt$!= Jjb(l W 7. 总结 j8@ Eqh
hcQvL> 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 JHY0 J
&4s
PZ/ g D 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 ,&S ^R yc
Tc t[0B 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 !/4f/g4Ze
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