-
UID：317649
-
- 注册时间2020-06-19
- 最后登录2025-09-19
- 在线时间1858小时
-
-
访问TA的空间加好友用道具
|
即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 bd&N f2
KeWI C,kq 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 P,)\#([vc
|XJ|vQGU 要求工具箱：光栅工具箱 |N0RBa4%
x{3q'2 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 (^$SM uC u-=VrHff^* 一、模拟任务： /\U:F 二、光栅的描述 fJ;1ii~
|u.3Tp|3W 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 .[o`TlG%
s lYC\"$ 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 WfYC`e7q
z
q@"qnr 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 -H$C3V3]
,f$ftn\~j/ 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” W];l[D<S*
T^S $|d 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 6*s:I&
V82hk0*j 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 |3Bms d/3 aK-- D2@}i '
BY|7j~ is `~C 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm +0M0g_sk qcoTt~ \ Sz>Lbs 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm Mh=j^ [4Q _CG
ED{b@ R T/)<RT9 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm lbC9^~T + _*n
4W^8 b5W(}ka+ 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm zE?@_p1gei a7"Aq:IjU 8UXtIuQ 5. 参数运行 ' 6GW.;
RU% 4~WC 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 MGs Y3~!K
O |*-J 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 SzyaVBD3 ! rff/0/x" 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 yE|hA2G?0 n7L|XkaQ g])iU9)8 [p_<`gU? 7. 总结 uEr[' >
B:(a?X-7 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 unt{RVR%
RAF do 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 w-La SJ (T
TnJN s 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 Ym
1; /'
|
