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即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 .v
#0cQX+.
/H\^l.|vk 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 . T6_N
=#POMK".6 要求工具箱：光栅工具箱 ~
X]"P4 u
D*d 3w 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 i
h`y0(<
Zi <Sw 一、模拟任务： T 9<H%iF 二、光栅的描述 JL]k:i^`A
uusY,Dt/9 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 HonAK
6S! lD= 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 , IMT '*
_Ssv:x c, 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 (zM+ 7tJH
# RLch 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” TeGLAt
/\3XARt 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 vZ_DG}n11
*m K);@pL 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 5JU(@}Db R
uFu,H- % b>y mk[d7Yt{O 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm pxCGE[@` GH; F3s ]mD=Br*r~ 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm
jKb=Zkd m ISu o 2\z`G 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm VvM U) <4!&iU+; vU \w3 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm !Lg}q!*%>V g*w-" %"O ]Gd]KP@S 5. 参数运行 y?R <g^A
HZr/0I ? 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 i*cE
q I V`zZc 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 t#D\*:Xi k+m_L{#m5 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 p-(ADQS "` ?W u t-<[._: + <8z[,X }bM 7. 总结 bcx{_&1p
%BYlbEx 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 B'Bb TI,
uy*x ~v*I] 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 woH3?zR
{If2[4!z 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 -Bwu$$0
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