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即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 tfu `_6
t{QQ ;' 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 s;..a &C'
k DXQpe 要求工具箱：光栅工具箱 (> _Lb
$VB
dd~f 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 ~)n[V f H^54o$5 一、模拟任务： SF9N S*mr 二、光栅的描述 W#E(?M[r
_RU L$Ds 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 =@S
a\;
>{9V XSc 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 H
XFY
rS+) )! 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 #p7gg61
e!o\AB%d 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” >MSK.SNh
: p)R,('g 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 e&*b{>1*
p*)I QM<B 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 -FI)o`AE TOF V`7q;3 {Z 7ixc523 dJ/gc"7aO 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm !> D[ Y H(tC4'tA #/jug[wf*! 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm W G@3+R>{ PTLlLa85< ~, E }^ 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm qp/1 tC` +/l@o u' 3 o$zT 9j 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm Rd5-ao4 dP(.l}O GlTpK^. 5. 参数运行 I.G[|[. Do
]1XtV< 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 @/ |g|4
}A,!|m4 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 Yj*T'<e </D.}ia 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 sNcU>qjj6 IW& *3I<K `e~i<Pi Du65> O 7. 总结 24k]X`/n
fP5i3[T 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 r5ldK?=k+*
uR{ )%udu 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 }$ySZa9
D!!
B4zt 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 -j]c(Q MA]
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