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即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 u /W
ShFC@)<lJ 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 T4H/D^X|
T&@xgj|!) 要求工具箱：光栅工具箱 j A/xe
d"h*y H@ 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 Na6z 1&wS j^ y9+W_b 一、模拟任务： 7r,s+u. 二、光栅的描述 2h W tpus
bU3e*Er 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 ]I
pLF#
}ZPO^4H;- 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。
S xn#
#2&DDy)B f 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 bf#@YkE
?ykQ]r6 a< 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” P;B<R"
|s<IZ2z]}R 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 s"tyCDc.c
? zFeP6C 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 l'Oz-p.@ G {wIY" ~4 -o\o{?t, >a6{y 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm ^T^l3B[ +`y{r^xD !|\$|m<n 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm 5" 5tY %Y0, ww2 k/U1
: 9 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm 7FQ&LF46 UaW,#P <FaF 67[Q 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm H8$ l }pOz nTy8:k '] uItzFX* 5. 参数运行 A }( V2
!xqy6 %p 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 @y"/hh_?
>#9 f { 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 H K]-QTEn r)4GH%+?fv 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 ; 7;=)/- \B72 # NR g ?TPRr~$9 0@O:C:: 7. 总结 O)2==_f\
,b b/
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1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 d*}dM "
"UNWbsn6Qr 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 <`PW4zSI
Q sXy(w# F 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 -l:4I6-hi
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