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即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 z ub"Ap3
OUk"aAo 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 w *M&@+3I
RY
.@_{ 要求工具箱：光栅工具箱 k-Yli21-/|
(^NYC$ZxM= 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 02_+{vk! 5%%e$o+ 一、模拟任务： M$48}q+ 二、光栅的描述 ?g9:xgkF
^
@y '0_Y0-B 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 Mbp7%^E"A
)qRH?Hsb7 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 JC MUK<CG
[ {$%9lm 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 e }Mf
N; '] & f 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” p|C[T]J\@
.P
<3+ 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 <D[0mi0
Y4C<4L? 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 +Bf?3 5LP yQ)&u+r vc :% ^Z-oO#)h# 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm :h(` eC p$t|e u
%.m+6
zaF 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm wFX9F3m NS65F7<& aeISb83Y | 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm ?-zuy US $J^fp XO AhD C5ue= 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm F"bz<{ 9 QaE)wt O%3Hp.|! 5. 参数运行 vK% *5
"M, 1ElQ 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 D#AqZS> B
S=0DQ19 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 ruQt0q,W3% J#48c' 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 `%
Qv CAR M.K^W ` 2E?!Q I\O cGiL9|k 7. 总结 *i}X(s fe
ei<0,w[V1{ 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 )S
7+y6f&*
c:.~%AJx 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 c} +*$DeT
lH; V9D^ 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 z)S6f79`Q
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