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即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 ` bg {\ .q
J NsK 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 0BBWuNF.
ZOU$do>O 要求工具箱：光栅工具箱 g#H#i~E^
BG=h1ybz 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 Dn9Ta}miTO Ye,E7A*L 一、模拟任务： M~^|dR)D 二、光栅的描述 J%%nv5y
2. CI^.5& 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 C:H9C
|)0kv f? 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 ?}O\'Fa8
o^lKM?t 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 P,*R@N
!$fBo3!B_8 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” &% FpNU9
0;]tC\D1 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 3VcG
/rf
&a7KdGP8V 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 +A/n <VH {E>kFeg "tm2YUG},s 2#p6.4h= 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm TTBl5X @m# 7E4 + S _1R]n1/ 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm ^e)KEkh St'3e< mKn:EqA 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm 8 \%*4L' !,|yrB&`S -2bu`oD
` 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm +Z /Pj_.o D/B b)]9I P!1y@R>Ln 5. 参数运行 2Fp.m}42i(
mD=x3d 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 "1WwSh}Z
..;}EFw5 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 \M< C6m5 F0])g 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 ?%#3p[ ^vfp; 0c
/xE<h c? >@P 7. 总结 6|~N5E~SX
l/#;GYB] 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 ALJ^XvB4V
AEp|#H'
> 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 ]u G9WT6l
_e7 Y R+ 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 7c5+8k3
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