关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 ,O=a*%0rt
>1L=,M 1. 描述 CR4rDh8z a ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 O|kKwadC ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 9D@$i<D: ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 y-?>*fNo
0m[dP 2. 系统 &zL#hBE fbrp#G71y 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
BOlAm*tFt 3. 透镜系统组件编辑 @mw "W{
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■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 nR
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■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 qOCJT Og7
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 |YJCWFbs8
■ 包括序列光学表面和光学介质。 4}v@C|.p
|wxGpBau tury<* 4. 光线追迹系统分析器-选项 !}TMiCK ~ <0Z>qr oR+-+-??$
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 1.@vS&Y7OE
■ 可以选择选取光线的方法:
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— 在x-y-网格 PsjbR
— 六边形 Df07y<>7Q
— 自由选取 S{F-ttS"
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 [um&X=1V8 \jW)Xy 5. 系统的3维视图 jX=lAs~6 4C_c\;d
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*6loS0+ 6. 其他系统参数 S^RUw ■ 系统由单色平面波照明 W-2i+g) ■ 照明波长266.08nm Zp`T ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: )yee2(S
— 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 6y+b5-{' — 一个虚拟屏位于焦平面 -H(vL= — 光束尺寸探测器置于焦平面 Q}%tt=KD ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 2F_
R/{D 4 (?MUc s}x>J8hK bPD)D'Hs Ry;$^.7% 7. 光线追迹系统分析器的结果 hAR?
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1* f 光线经过整个光学系统的三维视图
@_'OyRd8 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
eBB:~,C^q. pck >;V {5:Zl<0 >mu)/kl ~2}Pl) N$aZ== $5 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 R|,7d:k $`Nd?\$ 64ox jF)
■ VirtualLab可用于计算点列图。 <zB*'m
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 j\)H
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 x/TGp?\g
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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q|#MB7e/ 9. 焦平面上的结果 _+QwREP
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cf8-]G?tK
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 T{MC-j _T9
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 a0_(eO-S
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm 66:ALFwd7
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 iLq#\8t^
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 |"k&fkS$ -e>|kPfv! 10. 总结 \P?ToTTV ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 hb^!LtF#Y ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 <)#kq1b? ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 Cw1(5 ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 $C_M&O}