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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-10
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 ybiTWM  
    THhxj)  
    1. 描述 ^(^P#EEG  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 se %#U40*  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 Hi={(Z5tC4  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 LHA^uuBN}  
    d.+  
    2. 系统 B1_9l3RM  
    x t-s"A  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    UxNn5(:sM@  
    3. 透镜系统组件编辑 Q,5PscE6&k  
    VQpt1cK*  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 aInt[D(  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 9< ?w9D.1  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 k_]'?f7Z  
    包括序列光学表面和光学介质。 Pg T3E  
    LSc^3=X  
    :bct+J}l~  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 E7/UsUV.  
    h@R n)D  
    ]7_>l>  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 qY8; k #  
    可以选择选取光线的方法: }PK4 KRn  
    — 在x-y-网格 {mD0 ug  
    — 六边形 &mN]U<N  
    — 自由选取 zgjgEhnvU  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    KX~ uE6rX  
    ]2m=lt1  
    5. 系统的3维视图 B0b|+5WhR  
    T3oFgzoO  
    []@@  
    6. 其他系统参数 MXaik+2  
    系统由单色平面波照明 e">&B]#}  
    照明波长266.08nm aQmS'{d?^  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能:  it H  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 $O\m~r4  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 wqDf\k}'v  
    光束尺寸探测器置于焦平面 d3rjj4N"z  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 ;U4O` pZ  
    =Ya^PAj '}  
    [xM&Jdf8  
    wp}Q4I  
    `/ T.u&QF  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 fGV'l__\\  
    t+A*Ws*o  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    0"e["q{|  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    DtBvfYO8)>  
    ).jQ+XE'>  
    #L!`n )J"  
    }5PC53q  
    /F.<Gz;w  
    -sv%A7i  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 3_wR2AU~  
    3L==p`   
    Hx+r9w  
    VirtualLab可用于计算点列图。 UBW,Q+Q  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 [gUD +  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 VM5'd  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 U0 -RG  
    5GAW3j{  
    9. 焦平面上的结果 -l}"DP _  
    O+mEE>:w%  
    kO`!!M[Oo  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 k+[oYd  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 XS2/U<s d  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm >.UEs 8QV  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 FP&Ykx~  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    a\m=E#G  
    mN{H^  
    10. 总结 j{FRD8]V  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 \h[*oeh  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 38-kl,Vw  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 &&$*MHJ  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 &^&0,g?To  
     
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