关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 \0bZ1"
XKEbK\ 1. 描述 'kE^oX_ ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 PvkHlb^x% ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 )K>2 ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 r$/.x6g//
S!{Kn ;@ 2. 系统 -MTO=#5z ];7/DM#Np 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
y^tp^ 3. 透镜系统组件编辑 (cpaMn@)g
V+dFL9
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 15U[F0b
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 ?YA5g' l
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 ATq-&1hs
■ 包括序列光学表面和光学介质。 d_!lRQ^N
nv-_\M KX $Q`lM
4. 光线追迹系统分析器-选项 {z0PB] U .:?cU#. h"849c;C.
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 *=~X1s
■ 可以选择选取光线的方法: B>{\qj)%
— 在x-y-网格 {S=gXIh(y
— 六边形 }rbsarG@
— 自由选取 K26x,m]p
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 $" `9QD~ \[ 5mBuk 5. 系统的3维视图 v:w $l{7 _3{,nhkf:!
a8[Q1Fa4| 6. 其他系统参数 AfOq?V ■ 系统由单色平面波照明 69tT'U3vb$ ■ 照明波长266.08nm }y P98N5o ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: sXmo.{Ayb — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 J"W+9sI0 — 一个虚拟屏位于焦平面 %\n&iRwDF — 光束尺寸探测器置于焦平面 {V*OYYI`R ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 ukH?O)0O b/Q\
.! 2`]_c= i[M]d`<36 R404\XGL 7. 光线追迹系统分析器的结果 k3FpD=N $h|rd+}, 光线经过整个光学系统的三维视图
nM,5KHU4a 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
?=lnYD j lS:R## Vy:MK9U2 Z<t(h=? afWEt - K`d3p{M 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 -$J%.fdPs 05>xQx?"m4 ^"?b!=n!
■ VirtualLab可用于计算点列图。 J@I-tS
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 >RMp`HxDf
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 NXyuv7%5=
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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l.wf= / 9. 焦平面上的结果 :%hxg
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 w'b|*_Q4Q
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 $*u{i4b
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm !Ci\Zg
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 V,@Y,
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 }ST0?_0F* 43?J~}<Vs 10. 总结 fP9k(mQX ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 aF'9&A;q ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 N>A*N,+ ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 ;_ ^"} ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 B?xu!B,