关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 X[dfms;H
hGV_K" ~I0 1. 描述 `WL3aI": ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 8,IF%Z+LI ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 +`Q]p "G ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 ])F+ C/Px1
-~8PI2 2. 系统 eEVB "*<vE7 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
CUH u= 3. 透镜系统组件编辑 w%qnH e9
>qNpY(Ql
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 lmHQ"z 3G
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 H}~K51
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 #6|ve?`I
■ 包括序列光学表面和光学介质。 aQL0Sj:,
`mteU"{bx t27UlFX 4. 光线追迹系统分析器-选项 Pd&KAu|<` 2#5Q~ %/e'6g<
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 5`fUR/|[
■ 可以选择选取光线的方法: h?/E />
— 在x-y-网格 G?Gf,{#K
— 六边形 9HFEp-"
— 自由选取 T.I'c6|
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 &PV%=/-J e.MyJ:eL 5. 系统的3维视图 PUO7Z2 |%5Aku0`s
Rl cL(HM 6. 其他系统参数 HN367j2 e ■ 系统由单色平面波照明 C)i8XX ■ 照明波长266.08nm Tf5m
YCk ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: aE)1LP — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 SPlt=*C#_ — 一个虚拟屏位于焦平面 HRE?uBkjf — 光束尺寸探测器置于焦平面 {'+{ASpO! ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 3xz~## "AjC2P], q%d'pF zdPJ>PNU x#SE%j? 7. 光线追迹系统分析器的结果 &@@PJ!& z@e(y@ 光线经过整个光学系统的三维视图
g#74c'+ 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
i ?pd|J x[TLlV:{ 3s%DF, 9teP4H}m Ig!0A}f +2:HgW 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 u*%mUh }[|9vF"g.y O,
eoO,gB
■ VirtualLab可用于计算点列图。 ^#e|^]]
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■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 w+')wyB
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 rlh:|#GTJ
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
Xa>'DO2
8 0nu^_ 9. 焦平面上的结果 \(Nx)F
]SAY\;,_
{Lv"wec*x
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 9C?SEbC
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 qY%|Uo
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm 4=^Ha%l
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 k*2khh-
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 $s1/Rmw xC9?rLUZ 10. 总结 ehB'@_y ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 ;lE=7[UJ3X ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 7wW x 8 ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 NL|c5y<r ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 Z>R@