关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 AqrK==0N
eR8>5:V_ 1. 描述 Xb*>7U/'T ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 Q[Tbdc%1EG ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 t2%gS"
[ ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 kZ
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jRdW=/q+( 2. 系统 j)O8&[y= 23UXOY0BW 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
ZW8;?#_ 3. 透镜系统组件编辑 CwfGp[|}e
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■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 [WunA,IuR
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 rg+3pX\{
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 S>?B)
■ 包括序列光学表面和光学介质。 7m9T'
=0mGfTc Jc9^Hyqu& 4. 光线追迹系统分析器-选项 c6pGy%T- "[]J[!}x x6*.zo5e
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 :20k6 )
■ 可以选择选取光线的方法: P~*v}A
— 在x-y-网格 v]KI=!Gs
— 六边形 2HvzMo-4
— 自由选取 X`n*M]
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 qfEB VS( 12%4>2}~> 5. 系统的3维视图 p/uOCQ|1l ol8uV{:"
\A3yM{G~+ 6. 其他系统参数 T]J#>LBd ■ 系统由单色平面波照明 o!t1EPJE* ■ 照明波长266.08nm SjOIln ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: zn{[]J — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 fYv{M; — 一个虚拟屏位于焦平面 /T2f~1R — 光束尺寸探测器置于焦平面 FwGMrJW ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 6MRS0{ =Hs~fHa) V.274e q&wXs