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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-10
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 uCNQ.Nbf C  
    x|U]x  
    1. 描述 BpDf4)|  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 &Km?(%?  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 jzI\Q{[m'  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 }Da8S|)H  
    {tu* ="d=  
    2. 系统 VaZS_ qGe:  
    6.EfM^[  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    W2%(a0p  
    3. 透镜系统组件编辑 VMad ]bEf  
    r7C  m  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 vo!:uvy;2  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 cP$b>3O  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 m3F.-KPO  
    包括序列光学表面和光学介质。 mmwwz  
    f|Z3VS0x  
    V F6OC4 K  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 qk~QcVg  
    MO9}It g  
    #n{wK+lz  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 vFL3eu#  
    可以选择选取光线的方法: /B|#GJ\\3  
    — 在x-y-网格 "LaNXZ9  
    — 六边形 9s73mu`Twg  
    — 自由选取 gBYL.^H^l  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    TkWS-=lNH0  
    kQ.atr`?e  
    5. 系统的3维视图 "!p#8jR^  
    ;L(W'+  
    ef f6=DP  
    6. 其他系统参数 U+@yx>!  
    系统由单色平面波照明 M (b'4  
    照明波长266.08nm 1_7x'5GdA  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: 87~. |nu  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 *3S,XMS{O  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 e<~uU9 lg1  
    光束尺寸探测器置于焦平面 *N\U{)b\  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 6by5VESx  
    ptb t  
    E|6X.Ny]   
     B*Hp  
    *Z|!%C  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 +Y)rv6}m  
    !fzqpl\ze  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    J%j#gyTU  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    wbd>By(T1  
    9y.C])(2  
    ?Q9/C|  
    W zy8  
    9g^@dfBV  
    6dC!&leNi  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 {r[ *}Bv  
    "LP4)hr_`  
    :ozHuHJ#  
    VirtualLab可用于计算点列图。 FT`y3 ~  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 dlJkxEh 2  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 e/#4)@]  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 ;`X-.45  
    d cPh @3  
    9. 焦平面上的结果 J>!p^|S{  
    +Nc|cj  
    VaVKWJg$  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 oo- ^BG  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 dr,j~s  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm <adu^5BI  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 Fypqf|  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    ^row=5]E  
    ={={ W  
    10. 总结 7D9R^\K  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 ]y.,J  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 ~NU~jmT2  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 rd%3eR?V  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 <0v'IHlZ8  
     
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