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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-10
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 yrE|cH'f0  
    MpGWt#  
    1. 描述 V~NS<!+q  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 ! FhN(L[=j  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 mY |$=n5X  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 _N.ZpKVu  
    ;UArDwH  
    2. 系统 wvBJ?t,  
    $NT{ssh  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    &AoXv`l4  
    3. 透镜系统组件编辑 kYmkKl_  
    Ub4j3`  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 ppmDmi~X  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 {CYFM[V  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 ]* ':  
    包括序列光学表面和光学介质。  G\ru%  
    JY4 +MApN  
    6psK2d0  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 ,M5zhp$  
    }9:d(B9;  
    305()  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 "b|qyT* Sl  
    可以选择选取光线的方法: yI)~- E.  
    — 在x-y-网格 <t.yn\G-w  
    — 六边形 C8e{9CF  
    — 自由选取 &3:-(:<U  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    Nd%,V  
    ,_F1g<^@u  
    5. 系统的3维视图 Oz-X}eM  
    Kj;Q;Ii  
    9V9K3xWn  
    6. 其他系统参数 69p>?zn  
    系统由单色平面波照明 zr-HL:js  
    照明波长266.08nm -V%"i,t  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: t ux/@}I  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 a{GPAzO+  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 J4;w9[a$  
    光束尺寸探测器置于焦平面 p$`71w)'[  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 wzwEYZN(q  
    ~a^mLnY@  
    |k\4\a Lj  
    bqWo*>l  
    anxg D?<+B  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 TwH%P2)x  
    (y *7 g f  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    l=GcgxD+"d  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    gFizw:l  
    ,&e0~  
    ePv3M&\J  
    7 XE&[o  
    _2xNio&  
    8Wqh 8$  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 Tsch:r S  
    VHyH't_&s  
    /Jj7 +?  
    VirtualLab可用于计算点列图。 .ZQD`SRrI  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 ;)$bhNFHx  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 o@:${> jw  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 .);~H#  
    !xk`oW  
    9. 焦平面上的结果 ?1w{lz(P  
    7+ +Fak  
    )l?1 dR:sP  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 J>Pc@,y  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 C2}n &{T  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm Q\Wh]=}  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 IR JN  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    & pHSX  
    c"KN;9c,  
    10. 总结 k_;g-r,  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 d ~#B,+  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 g y5^JL  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 I]GGmN  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 (A(j.[4a  
     
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