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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-10
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 [leW/2i  
    YniZ( ~^K  
    1. 描述 mND XzT&  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 gKmX^A5<  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 7cIC&(h5  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 UH5w7M  
    PV?]UUc'n<  
    2. 系统 w- UKMW9"  
    3^!Hl8P7  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    ?k [%\jq{a  
    3. 透镜系统组件编辑 (7IqY1W  
    X Y~;)<s_  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 S3SV.C:z>  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 Y8)}P WMs  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 {*N^C@  
    包括序列光学表面和光学介质。 HR;/Br  
    sC% b~  
    A:kkCG!~Nf  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 G7 1U7  
    D,MyI#  
    I^WIa"u_  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 UQ5BH%EPb  
    可以选择选取光线的方法: %PzQ\c  
    — 在x-y-网格 k]Zo-xh4  
    — 六边形 8O;Vl  
    — 自由选取 zu52 p4  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    >[a FOA  
    Q4X7Iu:  
    5. 系统的3维视图 hF2/ y.:P  
    Am=wEu[b  
    x Y| yI>  
    6. 其他系统参数 <D;MT96SG  
    系统由单色平面波照明 w TlGJ$D0  
    照明波长266.08nm QjLji +L  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: (B&h;U$HAH  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 z/S,+!|z  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 h}avX*Lx_  
    光束尺寸探测器置于焦平面 [Gh"ojt]w  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 oAY_sg+  
    CD}Ns  
    k_!+V`Ro#  
    tevQW  
    ^\:yf.k  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 vVAb'`ysv  
    }'lNi^"XL  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    z!:'V]  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    6^sHgYR  
    m=QCG)s  
    =N_,l'U\^  
    eZNitGaU  
    @;m$ua*|:  
    \OcMiuw  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 Z v4<b  
    O-j$vzHpdY  
    l)Zs-V!M^\  
    VirtualLab可用于计算点列图。 ]M3# 3Ha"  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 W<NmsG})_g  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 #XI"@pD  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 O6iCZ  
    Noh?^@T`Ov  
    9. 焦平面上的结果 $M':&i5`,  
    snYr9O[E6  
    :mpiAs<%U"  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 &EovZ@u  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 Jf)3< ~G  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm &!jq!u$(  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 oEu>}JD  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    ~GG?GB  
    <qhBc:kc  
    10. 总结 s*Ih_Ag=:  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 S5_t1wqBJ  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 u g\w\b  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 se!mb _!  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 ~F w<eY  
     
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