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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-10
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 ,O=a*%0rt  
    > 1L=,M  
    1. 描述 CR4rDh8za  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 O|kKwadC  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 9D@$i<D:  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 y-?>*fN o  
    0m[dP  
    2. 系统 &zL#hBE  
    fbrp#G71y  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    BOlAm*tFt  
    3. 透镜系统组件编辑 @mw "W{  
    ir> ]r<Zl  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 nR \'[~+  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 qOCJTOg7  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 |YJCWFbs8  
    包括序列光学表面和光学介质。 4}v@C|.p  
    |wxGpBau  
    tury<*  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 !}TMiCK  
    ~ <0Z>qr  
    oR+-+-? ?$  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 1.@vS&Y7OE  
    可以选择选取光线的方法:  R)Q 4  
    — 在x-y-网格 P sjbR  
    — 六边形 Df07y<>7Q  
    — 自由选取 S{F-ttS"  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    [um&X=1V8  
    \jW)Xy  
    5. 系统的3维视图 jX=lAs~6  
    4C_c\;d  
    t *6loS0+  
    6. 其他系统参数 S^RUw  
    系统由单色平面波照明 W-2i+g)  
    照明波长266.08nm Zp`T  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: )yee2(S  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 6y+b5-{'  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 -H(vL=  
    光束尺寸探测器置于焦平面 Q}%tt=KD  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 2F_ R/{D  
    4 (?MUc  
    s}x>J8hK  
    bPD)D'Hs  
    Ry;$^.7%  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 hAR? t5c  
    ZwI 1* f  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    @_'OyRd8  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    eBB:~,C^q.  
    pck>;V  
    {5:Zl<0  
    >mu)/kl  
    ~2 }Pl)  
    N$aZ== $5  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 R|,7d:k  
    $`Nd?\$  
    64oxjF)  
    VirtualLab可用于计算点列图。 <zB*'m  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 j\)H  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 x/TGp?\g  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 w8M2N]&:  
    q|#MB7e/  
    9. 焦平面上的结果 _+QwREP  
    ``4wX-y  
    cf8-]G?tK  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 T{MC-j _T9  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 a0_(eO-S  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm 66:ALFwd7  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 iLq#\8t^  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    |"k&fkS$  
    -e>|kPfv!  
    10. 总结 \P?ToTTV  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 hb^!LtF#Y  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 <)#kq1b?  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 Cw1( 5  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 $C_M&O}  
     
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