关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 uCNQ.Nbf C
x|U]x 1. 描述 BpDf4)| ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 &Km?(%? ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 jzI\Q{[m' ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 }Da8S|)H
{tu* ="d= 2. 系统 VaZS_qGe: 6.EfM^[ 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
W2%(a0p 3. 透镜系统组件编辑 VMad ]bEf
r7C
m
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 vo!:uvy;2
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 cP$b>3O
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 m3F.-KPO
■ 包括序列光学表面和光学介质。 mmwwz
f|Z3VS0x V F6OC4 K 4. 光线追迹系统分析器-选项 qk~QcVg MO9}Itg #n{wK+lz
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 vFL3eu#
■ 可以选择选取光线的方法: /B|#GJ\\3
— 在x-y-网格 "LaNXZ9
— 六边形 9s73mu`Twg
— 自由选取 gBYL.^H^l
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 TkWS-=lNH0 kQ.atr`? e 5. 系统的3维视图 "! p#8jR^ ;L(W'+
eff6=DP 6. 其他系统参数 U+@yx>! ■ 系统由单色平面波照明 M(b'4 ■ 照明波长266.08nm 1_7x'5GdA ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: 87~. |nu — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 *3S,XMS{O — 一个虚拟屏位于焦平面 e<~uU9
lg1 — 光束尺寸探测器置于焦平面 *N\U{)b\ ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 6by5VESx ptb t E|6X.Ny]
B*Hp *Z|!%C 7. 光线追迹系统分析器的结果 +Y)rv6}m !fzqpl\ze 光线经过整个光学系统的三维视图
J%j#gyTU 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
wbd>By(T1 9y.C])(2 ?Q9/C| W zy8 9g^@dfBV 6dC!&leNi 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 {r[*}Bv
"LP4)hr_` :ozHuHJ#
■ VirtualLab可用于计算点列图。 FT `y3~
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 dlJkxEh2
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 e/#4)@]
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
;`X -.45
d cPh@3 9. 焦平面上的结果 J>!p^|S{
+Nc|cj
VaVKWJg$
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 oo-^BG
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 dr,j~ s
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm <adu^5BI
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 F ypqf|
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 ^row=5]E ={={W 10. 总结 7D9R^\K ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 ]y.,J ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 ~NU~jmT2 ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 rd%3eR?V ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 <0v'IHlZ8