关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 }}{n|l+R5
b.@a,:" 1. 描述 =I'3C']Z W ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 6e B; ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 {@^;Nw%J ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 PmRvjSIG
1J4Pnl+hN 2. 系统 J6AHc"k. 7l=;I % 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
<aJQV)]\ 3. 透镜系统组件编辑 iU;e!\A
:Ko6.|
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 q.VYPkEib
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 u]};QR
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 AO$AT_s
■ 包括序列光学表面和光学介质。 a+E&{pV
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y)b`r kkF)Tro\ 4. 光线追迹系统分析器-选项 >sfg`4 {P]C> 6:]N%
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 N8b\OTk2
■ 可以选择选取光线的方法: xi=ApwNj
— 在x-y-网格 kg[%Q]]
— 六边形 `za,sRFR
— 自由选取 CwA_jOp
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 2gPqB*H [|DKBJ 5. 系统的3维视图 $(aq;DR //U1mDFT
!hBpon 6. 其他系统参数 ?;XEb\Kf ■ 系统由单色平面波照明 f'^uuO#x ■ 照明波长266.08nm LH8jT ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: d,V#5l-6 — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 <+i(CGw — 一个虚拟屏位于焦平面 L>1hiD& — 光束尺寸探测器置于焦平面 i2~uhGJ ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 amu;grH #) aLD0p 3'0Pl8 d;Vy59}eY H\67Pd(Z6 7. 光线追迹系统分析器的结果 `6D?te Ymk?@mV4 光线经过整个光学系统的三维视图
1i y$ n 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
tnRf!A;m Je1d|1!3 `Y#At3{ )/H;5 cn r]DiB:. `@~e<s`j 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 sgX!4wG&Z .Pc>1#z&[ <v_=k],W
■ VirtualLab可用于计算点列图。 94u{k1d x
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 ;b$P*dSG}
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 { mi}3/
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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Z/#_Swv 9. 焦平面上的结果 iC
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m&UP@hUV-
uJ!&T
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 "O&93#8
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 HN5m %R&`
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm Kg[OUBv
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 mmAm@/
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 e
w^(3& MMM
tB6 10. 总结 )g0lI ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 f%Q{}fC{* ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 AM}R#86 ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 RLmOg{L ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 8+zW:0"[