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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-10
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 ilQt`-O!  
    ^C;ULUn3  
    1. 描述 M?I^`6IOc8  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 9\%`/tJM  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 3u9}z+q  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 #X0Y8:vj  
    ,6x>gcR  
    2. 系统 ;;Jx1Q  
    :%IB34e  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    iT</  
    3. 透镜系统组件编辑 MK <\:g  
    Uq.hCb`:  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 \ F)}brPc  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 c4}|a1R\=  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 o RK:{?Y  
    包括序列光学表面和光学介质。 {6>$w/+~  
    d1 lxz?r  
    U"a7myB+jX  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 )QI#szv6  
    =0SJf 3  
    .d+zF,02Z  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 SA?1*dw)  
    可以选择选取光线的方法: Nr`v|_U  
    — 在x-y-网格 'Qg.D88  
    — 六边形 ?h,.1Tb  
    — 自由选取 @QF;m  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    P|TM4i]  
    DkW^gt  
    5. 系统的3维视图 M%7|7V<o)^  
    aTs9lr:  
    xsU3c0wbr8  
    6. 其他系统参数 ~w}=Oby'y  
    系统由单色平面波照明 CW+gZ!  
    照明波长266.08nm SZvC4lOn#  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: lLI%J>b@  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。  gOy{ RE  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 +R"n_6N  
    光束尺寸探测器置于焦平面 BJ{?S{"6%G  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 t|*UlTLm  
    1D%E})B6  
    6rlvSdB  
    l|M|;5TW  
    +P.JiH`\=  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 VREDVLQT  
    $9Gra#  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    (N5"'`NZA  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    i*mI-l  
    L+0:'p=  
     &%T*sR  
    Uh'W d_?  
    /f hS#+V*  
    W >|'4y)  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 Y@+9Ukd/  
    aj-:JTf  
    c*R18,5-  
    VirtualLab可用于计算点列图。 .ZM0cwF  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 r>G||/Z  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 bnV)f<  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 !. :b}t  
    3M>y.MS  
    9. 焦平面上的结果 ACF_;4%&  
    JC}T*h>Ee  
    %h v-3L#V  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 EW/NH&{  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 kqGydGh*"  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm jn oX%3d-  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 T7N\b]?j@Y  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    `R*!GHro  
    4}] In/yA  
    10. 总结 !ED,'d%J  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 <f0yh"?6VH  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 :^]Fp UY  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 jI$7vmO  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 VYrs4IFT$  
     
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