关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 [leW/2i
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~^K 1. 描述 mND XzT& ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 gKmX^A5< ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 7cIC&(h5 ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 UH5w7M
PV?]UUc'n< 2. 系统 w-
UKMW9" 3^!Hl8P7 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
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[%\jq{a 3. 透镜系统组件编辑 (7IqY1W
X Y~;)<s_
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 S3SV.C:z>
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 Y8)}PWMs
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 {*N^C@
■ 包括序列光学表面和光学介质。 HR;/Br
sC% b~ A:kkCG!~Nf 4. 光线追迹系统分析器-选项 G7
1U 7 D,MyI# I^WIa"u_
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 UQ5BH%EPb
■ 可以选择选取光线的方法: %PzQ\c
— 在x-y-网格 k]Zo-xh4
— 六边形 8O;Vl
— 自由选取 zu52 p4
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 >[a FOA Q4X7Iu: 5. 系统的3维视图 hF2/
y.:P Am=wEu[b
x Y| yI> 6. 其他系统参数 <D;MT96SG ■ 系统由单色平面波照明 w TlGJ$D0 ■ 照明波长266.08nm QjLji+L ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: (B&h;U$HAH — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 z/S,+!|z — 一个虚拟屏位于焦平面 h}avX*Lx_ — 光束尺寸探测器置于焦平面 [Gh"ojt]w ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 oAY_sg+ CD} Ns k_!+V`Ro# tev QW ^\:yf.k 7. 光线追迹系统分析器的结果 vVAb'`ysv }'lNi^"XL 光线经过整个光学系统的三维视图
z!:'V] 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
6^sHgYR m=QCG)s =N_,l'U\^ eZNitGaU @;m$ua*|: \OcMiuw 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 Z v4<b O-j$vzHpdY l)Zs-V!M^\
■ VirtualLab可用于计算点列图。 ]M3#3Ha"
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 W<NmsG})_g
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 #XI"@pD
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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Noh?^@T`Ov 9. 焦平面上的结果 $M':&i5`,
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 &EovZ@u
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 Jf)3< ~G
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm &!jq!u$(
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 oEu>}JD
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 ~GG?GB <qhBc:kc 10. 总结 s*Ih_Ag=: ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 S5_t1wqBJ ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 u g\w\b ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 se!mb _! ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 ~Fw<eY