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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-10
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 \0bZ1"  
     XKEbK\  
    1. 描述 'kE^oX_  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 PvkHlb^x%  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 )K>2  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 r$/.x6g//  
    S!{Kn ;@  
    2. 系统 -MTO=#5z  
    ];7/DM#Np  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    y^tp^  
    3. 透镜系统组件编辑 (cpaMn@)g  
    V+dFL9  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 15U[F0b  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 ?YA5g' l  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 ATq-&1hs  
    包括序列光学表面和光学介质。 d_!l RQ^N  
    nv-_\M   
    KX$Q`lM   
    4. 光线追迹系统分析器-选项 {z0PB] U  
    .:?cU#.  
    h"849c;C.  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 *=~X1s  
    可以选择选取光线的方法: B>{\qj)%  
    — 在x-y-网格 {S=gXIh(y  
    — 六边形 }rbsarG@  
    — 自由选取 K26x,m]p  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    $"`9QD~  
    \[5mBuk  
    5. 系统的3维视图 v:w $l{7  
    _3{,nhkf:!  
    a8[Q1Fa4|  
    6. 其他系统参数 AfOq?V  
    系统由单色平面波照明 69tT'U3vb$  
    照明波长266.08nm }y P98N5o  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: sXmo.{Ayb  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 J"W+9sI0  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 %\n&iRwDF  
    光束尺寸探测器置于焦平面 {V*OYYI`R  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 ukH?O)0O  
    b/Q\ .!  
    2`]_c=  
    i[M]d`<36  
    R404\XGL  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 k3FpD=N  
    $h|rd+},  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    nM,5KHU4a  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    ?=lnYD j  
    lS:R##  
    Vy:MK9U2  
    Z<t(h=?  
    af WEt -  
    K`d3p{M  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 -$J%.fdPs  
    05>xQx?"m4  
    ^"?b!=n!  
    VirtualLab可用于计算点列图。 J@I-tS  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 >RMp`HxDf  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 NXyuv7%5=  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 I$7TnMug  
    l .wf= /  
    9. 焦平面上的结果 : %hxg  
    ^M Zdht   
    @`X-=GCl  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 w'b|*_Q4Q  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 $*u{i4b  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm !Ci\Zg  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 V,@Y,  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    }ST0?_0F*  
    43?J~}<Vs  
    10. 总结 fP9k(mQX  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 aF'9&A;q  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 N>A*N,+  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 ;_^ "}  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 B?xu!B,  
     
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