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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-10
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 AqrK==0N  
    eR8>5:V_  
    1. 描述 Xb*>7U/'T  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 Q[Tbdc%1EG  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 t2%gS" [  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 kZ 9n@($B  
    jRdW=/q+(  
    2. 系统 j)O8&[y=  
    23UXOY0BW  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    ZW8;?# _  
    3. 透镜系统组件编辑 CwfGp[|}e  
    <gr2k8m6$  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 [WunA,IuR  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 rg+3pX\{  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 S>?B)  
    包括序列光学表面和光学介质。 7m 9T'  
    =0mGfT c  
    Jc9^Hyqu&  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 c6pGy%T-  
    " []J[!}x  
    x6*.zo5e  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 :20k6)  
    可以选择选取光线的方法: P~*v}A  
    — 在x-y-网格 v]KI=!Gs  
    — 六边形 2HvzMo-4  
    — 自由选取 X`n*M]  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    qfEB VS(  
    12%4>2}~>  
    5. 系统的3维视图 p/uOCQ|1l  
    ol8uV{:"  
    \A3yM{G~+  
    6. 其他系统参数 T]J#>LBd  
    系统由单色平面波照明 o!t1EPJE*  
    照明波长266.08nm  SjO Iln  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: zn{[]J  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 fYv{M;  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 /T2f~1R  
    光束尺寸探测器置于焦平面 FwGMrJW  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 6MR S0{  
    =Hs~fHa)  
    V.274e  
    q&wXs/$a  
    RJI*ZNb A  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 OL"So u4  
    DK;/eZe  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    y7s.6i}7  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    :`P;(h  
    ?|9$o/Q}  
    *`V-zD  
    $$G^#t1=XZ  
    w]0jq U6  
    Swz1RT  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 rJm%qSZz  
    )Z 3fytY  
     goT:\2  
    VirtualLab可用于计算点列图。 /`Lki>"  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 DP_ bB(  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 YR`Mi.,Sfm  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 $bKa"T*  
    5OUe |mS  
    9. 焦平面上的结果 j{'@g[HW  
    ]H|1q uT  
    2'r8#,)  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 wB( igPi  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 2WOdTM{u  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm m,TqyP#  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 Swua dN  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    .ODtduURe  
    k\}qCDs  
    10. 总结 3^us;aOr  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 hTn }AsfLY  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 9aC>gye!  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 #UJ@P Dwil  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 uS|Zkuk[!  
     
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