关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 ilQt`-O!
^C;ULUn3 1. 描述 M?I^`6IOc8 ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 9\%`/tJM ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 3u9}z+q ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 #X0Y8:vj
,6x>gcR 2. 系统 ;;Jx1Q :%IB34e 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
iT</ 3. 透镜系统组件编辑 MK <\:g
Uq.hCb`:
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 \
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■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 c4}|a1R\=
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 o RK:{?Y
■ 包括序列光学表面和光学介质。 {6>$w/+~
d1 lxz?r U"a7myB+jX 4. 光线追迹系统分析器-选项 )QI#szv6 =0SJf 3 .d+zF,02Z
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 SA?1*dw)
■ 可以选择选取光线的方法: Nr`v|_U
— 在x-y-网格 'Qg.D88
— 六边形 ?h,.1Tb
— 自由选取 @QF;m
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 P|TM4i] DkW^gt 5. 系统的3维视图 M%7|7V<o)^ aTs9lr:
xsU3c0wbr8 6. 其他系统参数 ~w}=Oby'y ■ 系统由单色平面波照明 CW+gZ! ■ 照明波长266.08nm SZvC4lOn# ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: lLI%J>b@ — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 gOy{ RE — 一个虚拟屏位于焦平面 +R"n_6N — 光束尺寸探测器置于焦平面 BJ{?S{"6%G ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 t|*UlTLm 1D%E})B6 6rlvSdB l|M|;5TW +P.JiH`\= 7. 光线追迹系统分析器的结果 VREDVLQT $9Gra# 光线经过整个光学系统的三维视图
(N5"'`NZA 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
i*mI-l L+0:'p=
&%T*sR Uh'W d_? /f hS#+V* W >|'4y) 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 Y@+9Ukd/ aj-:JTf c*R18,5-
■ VirtualLab可用于计算点列图。 .ZM0cwF
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 r>G||/Z
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 bnV)f<
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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3M>y.MS 9. 焦平面上的结果 ACF_;4%&
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 EW/N H&{
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 kqGydGh*"
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
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■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 T7N\b]?j@Y
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 `R*!GHro 4}]In/yA 10. 总结 !ED,'d%J ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 <f0yh"?6VH ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 :^]FpUY ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 jI$7vmO ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 VYrs4IFT$