关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 1\K%^<QY
f*U3s N^y 1. 描述 J3`a}LyDf ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 U7i WYdt$ ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 DtLga[M ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 =?hGa;/rb
If[4]-dq 2. 系统 uL| Wuq 91'i7&~xdG 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
6 z(7l 3. 透镜系统组件编辑 W
u?A} fH
.)J7 \z8m
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 03Czx `
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 2H+!78
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 h$]=z\=
■ 包括序列光学表面和光学介质。 8[@aX;I
N 0<([B; =GH>-*qp 4. 光线追迹系统分析器-选项 |hHj7X<?k U4`6S43ki %@Mv-A6)
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 fL-lx-~
■ 可以选择选取光线的方法: aTXmF1_n
— 在x-y-网格 ]34fG3D|
— 六边形 PX!$w*q
— 自由选取 mmSC0F
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 ppL*#/jYt /Mq9~oC 5. 系统的3维视图 02+ k,xFb =zaf{0c
Bgw=((p 6. 其他系统参数 ~@Yiwp\" ■ 系统由单色平面波照明 Y
1v9sMN, ■ 照明波长266.08nm oW[];r ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: ~1xfE C/ — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
DT2uUf — 一个虚拟屏位于焦平面 ,Q%q!#@
— 光束尺寸探测器置于焦平面 )-jA4!& ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 kh7RQbNY<I @la/sd4` ,1|Qm8O
ORCG(N $%:=;1Jl 7. 光线追迹系统分析器的结果 9-B/n0 %?sPKOh3N} 光线经过整个光学系统的三维视图
r$Gz 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
e@j&c:p(Y +Oxw?`I$ -e2f8PV?3
]S2F9 b7uxCH]Z
*(+*tjcWa 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 .
.5s2 J]AkWEiCJ Y|
dw>qO
■ VirtualLab可用于计算点列图。 GZq~Pl
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 TWU[/>K
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 BE$Wj;Q
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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L>3- z>u, 9. 焦平面上的结果 1#w'<}h#U
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Jc=~BT_G
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 jtH>&O
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 U,g)N[|
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm hJc^NU5
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 dEu\}y|
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 ,5XDH6L1 fD* ?JzVY 10. 总结 Y2!P!u+Q ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 j6&q6C X ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 `Q1;Y ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 V\m51H1mqo ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 'Szk!,_