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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-10
    关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 X [dfms;H  
    hGV_K"~I0  
    1. 描述 `WL3aI":  
    ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 8,IF%Z+LI  
    ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 +`Q]p" G  
    ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 ])F+ C/Px1  
    -~8PI2  
    2. 系统 eEVB   
    "*<vE7  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    CUH u=  
    3. 透镜系统组件编辑 w%qnH e9  
    >qNpY(Ql  
    ■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 lmHQ"z 3G  
    ■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 H}~K51  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 #6|ve?`I  
    ■ 包括序列光学表面和光学介质。 aQL0Sj:,  
    `mteU"{bx  
    t27UlFX  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 Pd&KAu|<`  
    2#5Q~  
    %/e'6g<  
    ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 5`fUR/|[  
    ■ 可以选择选取光线的方法: h?/E/>  
    — 在x-y-网格 G?Gf,{#K  
    — 六边形 9HFEp-"  
    — 自由选取 T.I'c6|  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    &PV%=/ -J  
    e.MyJ:eL  
    5. 系统的3维视图 PUO7Z2  
    |%5Aku0`s  
    Rl cL(HM  
    6. 其他系统参数 HN367j2e  
    ■ 系统由单色平面波照明 C)i8XX  
    ■ 照明波长266.08nm Tf5m YCk  
    ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: aE)1LP  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 SPlt=*C#_  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 HRE?uBkjf  
    — 光束尺寸探测器置于焦平面 {'+{ASpO!  
    ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 3xz~##  
    "AjC2P],  
     q%d'pF  
    zdPJ>PNU  
    x#SE%j?  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 &@@PJ!&  
    z@e(y@  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    g#74c'+  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    i?pd|J  
    x[TLlV:{  
    3s%DF,  
    9teP4H}m  
    Ig!0 A}f  
    +2:HgW  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 u*%mUh  
    }[|9vF"g.y  
    O, eoO,gB  
    ■ VirtualLab可用于计算点列图。 ^#e|^]] L  
    ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 w+ ')wyB  
    ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 rlh:| #GTJ  
    ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 Xa>'DO2  
    8 0nu^ _  
    9. 焦平面上的结果 \(Nx)F  
    ]SAY\;,_  
    {Lv"wec*x  
    ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 9C?SEbC  
    ■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 qY%|Uo  
    ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm 4=^Ha%l  
    ■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 k*2khh-  
    ■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。
    $ s1/Rmw  
    xC9?rLUZ  
    10. 总结 ehB '@_y  
    ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 ;lE=7[UJ3X  
    ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 7wWx8  
    ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 NL|c5y<r  
    ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 Z >R@  
     
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