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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-10
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 1\K%^<QY  
    f*U3s N^y  
    1. 描述 J3`a}LyDf  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 U7i WYdt$  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 DtLga[M  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 =?hGa;/rb  
    If[4]-dq  
    2. 系统 uL| Wuq  
    91'i7&~xdG  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    6z (7l  
    3. 透镜系统组件编辑 W u?A} fH  
    .)J7 \z8m  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 03Czx`  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 2H+!78  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 h$ ]=z\=  
    包括序列光学表面和光学介质。 8[@aX;I  
    N 0<([B;  
    =GH>-*qp  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 |hHj7X <?k  
    U4`6S43ki  
    %@Mv-A6)  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 fL-lx-~  
    可以选择选取光线的方法: aTXmF1_n  
    — 在x-y-网格 ]34fG3D|  
    — 六边形 PX!$w*q  
    — 自由选取 mmSC0F  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    ppL*#/jYt  
    /Mq9~oC  
    5. 系统的3维视图 02+ k,xFb  
    =zaf{0c  
    Bgw=((p  
    6. 其他系统参数 ~@Yiwp\"  
    系统由单色平面波照明 Y 1v9sMN,  
    照明波长266.08nm oW[];r  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: ~1xfE C/  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。  DT2uUf  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 ,Q%q!#@  
    光束尺寸探测器置于焦平面 )-jA4!&  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 kh7RQbNY<I  
    @la/sd4`  
    ,1|Qm8O  
    ORCG(N  
    $%:=;1Jl  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 9-B/n0  
    %?sPKOh3N}  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    r$Gz  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    e@j&c:p(Y  
    +Oxw?`I$  
    -e2f8PV?3  
    ]S2F9  
    b7uxCH]Z  
    *(+*tj cWa  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 . .5s 2  
    J]AkWEiCJ  
    Y| dw>qO  
    VirtualLab可用于计算点列图。 GZq~Pl  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 TWU[/ >K  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 BE$Wj;Q  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 )/:j$aq  
    L>3-z>u,  
    9. 焦平面上的结果 1#w'<}h#U  
    XI5TVxo(q  
    Jc=~BT_G  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 j tH>&O  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 U,g)N[|  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm hJc^NU5  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 dEu\}y|  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    ,5XDH6L1  
    fD* ?JzVY  
    10. 总结 Y2!P!u+Q  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 j6&q6C X  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 `Q1;Y  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 V\m51H1mqo  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 'Szk!,_  
     
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