关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 yrE|cH'f0
MpGWt# 1. 描述 V~NS<!+q ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 !
FhN(L[=j ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 mY
|$=n5X ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 _ N.ZpKVu
;UArDw H 2. 系统 wvBJ?t, $NT{ssh 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
&AoXv`l4 3. 透镜系统组件编辑 kYmkKl_
Ub4j3`
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 ppmDmi~X
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 {CYFM[V
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 ]* ':
■ 包括序列光学表面和光学介质。 G\ru%
JY4 +MApN 6psK2d0 4. 光线追迹系统分析器-选项 ,M5zhp$ }9:d(B9; 305()
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 "b|qyT* Sl
■ 可以选择选取光线的方法: yI)~- E.
— 在x-y-网格 <t.yn\G-w
— 六边形 C8e{9CF
— 自由选取 &3:-(:<U
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 Nd%,V ,_F1g<^@u 5. 系统的3维视图 Oz-X}eM Kj;Q;Ii
9V9K3xWn 6. 其他系统参数 69p>?zn ■ 系统由单色平面波照明 zr-HL:js ■ 照明波长266.08nm -V%"i,t ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: tux/@}I — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 a{GPAzO+ — 一个虚拟屏位于焦平面 J4;w9[a$ — 光束尺寸探测器置于焦平面 p$`71w)'[ ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 wzwEYZN(q ~a^mLnY@ |k\4\aLj bqWo*>l anxgD?<+B 7. 光线追迹系统分析器的结果 TwH%P2)x (y*7
gf 光线经过整个光学系统的三维视图
l=GcgxD+"d 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
gFizw:l ,&e0~ ePv3M&\J 7 XE&[o _2xNio& 8Wqh 8$ 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 Tsch:r S VHyH't_&s /Jj7+?
■ VirtualLab可用于计算点列图。 .ZQD`SRrI
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 ;)$bhNFHx
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 o@:${>jw
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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!xk`oW 9. 焦平面上的结果 ?1w{lz(P
7+
+Fak
)l?1dR:sP
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 J>Pc@,y
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 C2}n &{T
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm Q\Wh]=}
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。
IR JN
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 &pHSX c"KN;9c, 10. 总结 k_;g-r, ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 d~#B,+ ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 gy5 ^JL ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 I]GGmN ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 (A(j.[4a