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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-10
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 }}{n|l+R5  
    b.@a,:"  
    1. 描述 =I'3C']Z W  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 6eB;  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 {@^;Nw%J  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 PmRvjSIG  
    1J4Pnl+hN  
    2. 系统 J6AHc"k.  
    7l=;I%  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    <aJQV)]\  
    3. 透镜系统组件编辑 iU;e!\A  
    :Ko6.|  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 q.VYPkEib  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 u] };QR  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 AO$AT_s  
    包括序列光学表面和光学介质。 a+E&{p V  
    &~ y)b`r  
    kkF)Tro\  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 >s f g`4  
    {P]C>  
    6 :] N%  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 N8b\OTk2  
    可以选择选取光线的方法: xi=ApwNj  
    — 在x-y-网格 kg[%Q]]  
    — 六边形 `za,sRFR  
    — 自由选取 CwA_jOp  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    2gPqB*H  
    [|DKBJ  
    5. 系统的3维视图 $(aq;DR  
    //U1mDFT  
    !hBpon  
    6. 其他系统参数 ?;XEb\Kf  
    系统由单色平面波照明 f'^uuO#x  
    照明波长266.08nm LH8jT  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: d,V#5l-6  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 <+i(CGw  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 L>1hiD&  
    光束尺寸探测器置于焦平面 i2~uhGJ  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 amu;grH  
    #) aLD0p  
    3'0Pl8  
    d;Vy59}eY  
    H\67Pd(Z6  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 `6D?te  
    Ymk?@mV4  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    1iy$n  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    tnRf!A;m  
    Je1d|1!3  
     `Y#At3{  
    )/H;5 cn  
    r ]DiB:.  
    `@~e<s`j  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 sgX!4wG&Z  
    .Pc>1#z&[  
    <v_=k],W  
    VirtualLab可用于计算点列图。 94u{k1d x  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 ;b$P*dSG}  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 { mi}3/  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 K p3}A$uV  
    Z/#_Swv  
    9. 焦平面上的结果 iC gZ3M]  
    m&UP@hUV-  
    uJ !&T  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 " O&93#8  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 HN5m%R&`  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm Kg[OUBv  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 mmAm@/  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    e w^(3&  
    MMM tB6  
    10. 总结 )g0lI  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 f%Q{}fC{*  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 AM}R#86  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 RLmOg{L  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 8+zW:0"[  
     
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