关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 *nNzhcuR
E#"QaI8` 1. 描述 N_<sCRd]9 ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 p>v,b&06 ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 =/=x"q+X ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 RsBo\#`
y8: 0VZox 2. 系统 eux_tyC Qi Wv 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
47I:o9E 3. 透镜系统组件编辑 ~Wu Elns
Qu]0BVIe
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 475yX-A
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 Ku LZg
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 b{)('C$
■ 包括序列光学表面和光学介质。 Ff>Y<7CQ
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x( w <U1 jIE>t5 fy 4. 光线追迹系统分析器-选项 Wq)'0U;{$ ~J2-B2S! DGY#pnCu
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 L*tXy>&b.
■ 可以选择选取光线的方法: ?>MD /l(l
— 在x-y-网格 yp5*8g5
— 六边形 e<5+&Cj
— 自由选取 ^
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■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 Y^LFJB|b4 OxElvbM# 5. 系统的3维视图 iM2
EEC 3sGrX"0D
wlqV1.K 6. 其他系统参数 |PH]0.m5 ■ 系统由单色平面波照明 ^a; V-US ■ 照明波长266.08nm Te'^O,C)y$ ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: yG&kP:k< — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 {#QFDA — 一个虚拟屏位于焦平面 `Q26Dk — 光束尺寸探测器置于焦平面 f<SSg*A; ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 {N5g52MN *B}vYX JmNeqpbB`w $Fz/&;KX! ,b>cy&ut 7. 光线追迹系统分析器的结果 ~b\7qx_a9 `m<="No 光线经过整个光学系统的三维视图
%W"\ 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
2DQ'h}BI ORQGay b("CvD8 gbpm:: n!Y.?mU6 %>I!mD"X\ 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 #a#~YSnG v{
C]\8 uNd ;;X
■ VirtualLab可用于计算点列图。 j,/o0k,
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 /l(:H
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 }"m@~kg=
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
EoU}@MjM~
S-2xe?sb 9. 焦平面上的结果 EVO5+
h>mQ; L
7]e]Y>wZap
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 pMt]wyKr
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 &tMvs<q,
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm :NbD^h)R
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 eg(xN/D
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 bSz6O/A/ QQ2xNNF[ 10. 总结 nt;A7pI` ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 EzNmsbtZ( ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 yrsP'th ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 $,i:#KT` ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 u85y;AE,(