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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2023-05-10
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 o&ETs)n|  
    E.eUd4XG  
    1. 描述 ?/|KM8  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 "."ow|  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 K*S3{s%UR  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 yc+pNC)ue_  
    *WaqNMD[%  
    2. 系统 Ake@krh>$  
    YpI|=mv  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    n#^ii/H  
    3. 透镜系统组件编辑 z"P/Geb:O  
     D9h  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 5.d[C/pRw  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 Q|xa:`3?  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 s>*xAIx  
    包括序列光学表面和光学介质。 );;UA6CD  
    4i7+'F  
    e2^TQv2(=e  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 uH]oHh!}j  
    +}R#mco5K  
    }`.d4mm  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 ,pIh.sk7s*  
    可以选择选取光线的方法: 7@ \:l~{  
    — 在x-y-网格 )$ M2+_c  
    — 六边形 Bmt^*;WY+  
    — 自由选取 ^B:;uyG]M  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    -}3nIk<N  
    _ee<i8_Va  
    5. 系统的3维视图 Q[{RN ab  
    MX iQWg$  
    >L ')0<!&  
    6. 其他系统参数 u4j"U6"]M  
    系统由单色平面波照明 _\na9T~g  
    照明波长266.08nm X ,{ 3_  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: &`oybm-p(  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 S5V:HRj{?  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 *3)kr=x  
    光束尺寸探测器置于焦平面 Al=ByX@  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 [5!dO\-[  
    kH8/8  
    NfUt\ p*  
    k!Q{u2  
    IC?(F]$%>  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 2RQ- L  
    "([/G?QAG  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    bQ(-M:  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    T<-_#}.Hn  
    \W]gy_=D{  
    SL-;h#-y 4  
    s VHk;:e>x  
    -We9 FO~  
    )+R n[MMp  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 C~R ?iZ.&U  
    c_8<N7 C  
    )U=]HpuzI  
    VirtualLab可用于计算点列图。 T7%!JBg@  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 YZ`SF"Bd(  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 { :1X N  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 g(Q1d-L4e  
    <Se9 aD  
    9. 焦平面上的结果 8CZ%-}-%$  
    {`G d  
    U (#JC(E-#  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 aL%E#  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 BM`6<Z"3q  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm &7oL2 Wf  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 GX0zirz  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    &a;?o~%*]i  
    a6-.|tt#t  
    10. 总结 /0 4US5En  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 [iEz?1.,  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 bMxK@$G~  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 U8AH,?]#  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 z}B 39L  
     
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