关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 __8&Jv\
BS N6|W 1. 描述 ('=Z}~ ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 _zdNLwE[ ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 dIma{uv ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 s~L`53A
iwUv`>l& 2. 系统 LyIKP$t W+KF2(lB 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
/K f L+"^| 3. 透镜系统组件编辑 !6lOIgn
wY/bA}%
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 > 84e`aGE
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 _0K.Fk*(!
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 0}B?sNr
■ 包括序列光学表面和光学介质。 k!&:(]
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f nh<Z1tMU 4. 光线追迹系统分析器-选项 L${m/@9 kL|\wci yX`#s]M
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 6Z Xu,ks}
■ 可以选择选取光线的方法: "9w}dQ
— 在x-y-网格 p+$+MeBz
— 六边形 0 <g{ V
— 自由选取 K!p,x;YX
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 WVOoHH P/G>/MD/l 5. 系统的3维视图 *#zS^b n opXDm\
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+Aw$u 6. 其他系统参数 B_hPcmB ■ 系统由单色平面波照明 nWk e#{[ ■ 照明波长266.08nm n&$/Q$d& ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: 5Dd:r{{ Q — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 q(gjT^aN — 一个虚拟屏位于焦平面 z|I0-1tAK — 光束尺寸探测器置于焦平面 }-74 f ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 2L:$aZ D^|9/qm$ grspt} BKay*!'PX W!91tzs: 7. 光线追迹系统分析器的结果 [X<Pk myIe_k,F 光线经过整个光学系统的三维视图
B)M&\:
_ 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
P_&p=${ LL.x11o3 !>3LGu, U7h(-dV
Plfdr~$ q(H ip<6p 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 ~>g+2]Bn>$ i $C-)d] $Asr`Q1i
■ VirtualLab可用于计算点列图。 WI&lj<*
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 gfN2/TDC]P
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 n1,S_Hs
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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cS(;Qs]Q 9. 焦平面上的结果 <( EyXV
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 g*J@[y;
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 Vm,,uF
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm e)b%`ntF
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。
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■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 N 9LgU)-Jt C6]OAUXy:F 10. 总结 m*Cu-6&qd ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 4-^[%&>} ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 "VTF}#Uo ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 J+ts ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 pRrHuLj^