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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2023-05-10
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 __ 8&Jv\  
    BSN6|W  
    1. 描述 ('=Z }~  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 _zdNLwE[  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 dIma{uv  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 s~L`53A  
    i wUv`>l&  
    2. 系统 LyIKP$t  
    W+KF2(lB  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    /K f L+"^|  
    3. 透镜系统组件编辑 !6lOIgn  
    wY/bA}%  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 > 84e`aGE  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 _0K.Fk*(!  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 0}B?sNr  
    包括序列光学表面和光学介质。 k!&:(]  
    {o( * f  
    nh<Z1tMU  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 L ${m/@9  
    kL|\wci  
    yX`#s]M  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 6Z Xu,ks}  
    可以选择选取光线的方法: "9w}dQ  
    — 在x-y-网格 p+$+MeBz  
    — 六边形 0 <g{ V  
    — 自由选取 K!p,x;YX  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    WVOoHH  
    P/G>/MD/l  
    5. 系统的3维视图 *#zS^b n  
    opXDm\  
    ZNi +Aw$u  
    6. 其他系统参数 B_hPcmB  
    系统由单色平面波照明 nWk e#{[  
    照明波长266.08nm n&$/Q$d&  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: 5Dd:r{{ Q  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 q(gjT^aN  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 z|I0-1tAK  
    光束尺寸探测器置于焦平面 }-74 f  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 2 L:$aZ  
    D^|9/qm$  
    g rspt}  
    BKay*!'PX  
    W!91tzs:  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 [X<Pk  
    myIe_k,F  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    B)M& \: _  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    P_&p=${  
    LL.x11 o3  
    !>3LGu,  
    U7h(-dV   
    Plfdr~$  
    q(Hip<6p  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 ~>g+2]Bn>$  
    i$C-)d]  
    $Asr`Q1i   
    VirtualLab可用于计算点列图。 WI&lj<*  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 gfN2/TDC]P  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 n1,S_Hs  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 Xh}&uZ`A  
    cS(;Qs]Q  
    9. 焦平面上的结果 <( EyXV  
    8vSIf+  
    @^&7$#jq%  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 g*J@[y;  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 Vm,,u F  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm e)b%`ntF  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 )M:)y  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    N 9LgU)-Jt  
    C6]OAUXy:F  
    10. 总结 m*Cu-6&qd  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 4-^[%&>}  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 "VTF}#Uo  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 J+ts  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 pRrHuLj^  
     
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