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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2023-05-10
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 \a<7DTV  
    <WXGDCj  
    1. 描述 v|!u]!JM  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 TLcev*  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 \,UpFuU\  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 cTC -cgp  
    ;(&$Iw9X  
    2. 系统 /+V}.  
    KT5amct  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
     Mi>!  
    3. 透镜系统组件编辑 ae%Bl[  
    a&^HvXO(>(  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 [b2KBww\  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 ,9A1p06  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 ^sF/-/ {?U  
    包括序列光学表面和光学介质。 B$=oU   
    m|') A  
    WGmXq.  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 _4#Mdnh}[  
    Yvi.l6JL  
    ABx< Ep6  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 V 4#bW  
    可以选择选取光线的方法: ^Z |WD!>`  
    — 在x-y-网格 1bz%O2U-(  
    — 六边形 *VUD!`F  
    — 自由选取 A#o ~nC<  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    }1xD*[W  
    ;\'d9C  
    5. 系统的3维视图 k)3b0T@b  
    9QXBz=Fnf  
    D'8xP %P  
    6. 其他系统参数 yG' 5:  
    系统由单色平面波照明 Exb?eHO  
    照明波长266.08nm rSgOQ  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: ngt?9i;N  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 gzMp&J  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 MdC}!&W  
    光束尺寸探测器置于焦平面 :5'8MU  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 o8 B$6w:_  
    Qi=pP/Y  
    i5*BZv>e  
    7&hhKEA  
    im-XP@<  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 ykS-5E`  
    ixvF `S9  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    iW?z2%#  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    ^XgBkC~  
    ;RW0Dn)Q  
    Nx;Oz  
    CcJ%; .V,T  
    , 3&D A  
    p 2>\  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 TWeup6k  
    CJYpgSr  
    gq7l>vT.  
    VirtualLab可用于计算点列图。 oHPh2b0  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 |e_'% d&  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 'Q dDXw5o  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 OTj J'  
    ,$+ P  
    9. 焦平面上的结果 LOEiV  
    K^Ho%_)  
    8b[<:{[YB  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 adn2&7H  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 g QYs,  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm wZg~k\_lF  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 @@z5v bs'{  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    zq'KX/o  
    vn x+1T  
    10. 总结 WB.w3w [f  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 ._[uSBR'  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 c$8M}q:X  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 W_L;^5Y;m  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 7o7*g 7  
     
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