关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 TO|&}sDh
Cqy)+x_OQ, 1. 描述 h ?Ni5 ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 6u'+#nm ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 :k"VR,riF ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 +frkC| .
f.~-31 2. 系统 ?<l,a!V'6 %e71BZo~^s 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
W_C#a'$ 3. 透镜系统组件编辑 xD#r5
"/O`#Do/
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 \"X<\3z2
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 '|9fDzW"]
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 ,xJ1\_GI`
■ 包括序列光学表面和光学介质。 PS13h_j
OjUZ-_J n&`=.[+A 4. 光线追迹系统分析器-选项 S"/M+m+ ] SS/9fT"[ ZE!dg^-L
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 T/A[C
■ 可以选择选取光线的方法: TCC([
— 在x-y-网格 ^x:%_yGY
— 六边形 JIGoF
— 自由选取 RkrZncBgV<
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 |@rPd=G^(/ RwG@C|sG 5. 系统的3维视图 AaVj^iy/X EEU)eltI
?3x7_=4t@ 6. 其他系统参数 I1IuvH6 ■ 系统由单色平面波照明 m~LB0u$ac ■ 照明波长266.08nm rr@S|k:| ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能:
Y\Z.E; — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 r fl-(_3 — 一个虚拟屏位于焦平面 aBH!K
— 光束尺寸探测器置于焦平面 2itJD1; ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 {GTOHJ2 4490l" (sXR@Ce$ (4hCT* K!JXsdHK 7. 光线追迹系统分析器的结果 nkv+O$LXP 'T8(md299 光线经过整个光学系统的三维视图
v*Fr#I0U 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
':} gCVgL]jj( [SFX;v!9 ^9{mjy0Q 0""t`y& 7_HJ|QB 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 !,}F2z?4c 0gI^GJN%Y! LSR{N|h+)
■ VirtualLab可用于计算点列图。 IfK%i/J
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 d3$*z)12`
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 l"I
G;qO.
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
}.nHT0l
0Y%u[i/ 9. 焦平面上的结果 $50/wb6s
|KV|x^fJ
pyW&`(]S
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 Rh[%UNl
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 |;G9K`8
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm :sf(=Y.qA
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 @w8MOT$
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 S? -6hGA
j [VD)DO5 10. 总结 h!vq~g ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 zNZ"PYh<u ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 tX<.
Ud ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 N8]DW_bsB ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 F8c^M</