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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2023-05-10
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 TO|&}sDh  
    Cqy)+x_OQ,  
    1. 描述 h ?Ni5  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 6u'+#nm  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 :k"VR,riF  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 +frkC| .  
    f.~-31  
    2. 系统 ?<l,a!V'6  
    %e71BZo~^s  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    W_C#a'$  
    3. 透镜系统组件编辑 xD#r5  
    "/O`#Do/  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 \"X<\3z2  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 '|9fDzW"]  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 ,xJ1\_GI`  
    包括序列光学表面和光学介质。 PS13h_j  
    OjUZ-_J  
    n&`=.[+A  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 S"/M+m+ ]  
    S S/9fT"[  
    ZE!dg^-L  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 T/A[C  
    可以选择选取光线的方法: TCC([  
    — 在x-y-网格 ^x:%_yGY  
    — 六边形 JIGoF  
    — 自由选取 RkrZncBgV<  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    |@rPd=G^(/  
    RwG@C|sG  
    5. 系统的3维视图 AaVj^iy/X  
    EEU)eltI  
    ?3x7_=4t@  
    6. 其他系统参数 I1IuvH6  
    系统由单色平面波照明 m~LB0u$ac  
    照明波长266.08nm rr@S|k:|  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: Y\Z.E ;  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 rfl-(_3  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 aBH!K   
    光束尺寸探测器置于焦平面 2itJD1;  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 {GTOHJ2  
    4490l"  
    (sXR@Ce$  
    (4hCT*  
    K!JXsdHK  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 nkv+O$LXP  
    'T8(md299  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    v*Fr #I0U  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    ': }  
    gCVgL]jj(  
    [SFX;v!9  
    ^9{mjy0Q  
    0""t`y&  
    7_HJ|QB  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 !,}F2z?4c  
    0gI^GJN%Y!  
    LSR{N|h+)  
    VirtualLab可用于计算点列图。 IfK%i/J  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 d3$*z)12`  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 l"I G;qO.  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 }.nHT0l  
    0Y%u[i/  
    9. 焦平面上的结果 $50/wb6s  
    |KV|x ^fJ  
    pyW&`(]S  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 Rh[%UNl  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 |;G9K`8  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm :sf(=Y.qA  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 @w8MOT$  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    S? -6hGA j  
    [VD)DO5  
    10. 总结 h!vq~g  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 zNZ"PYh<u  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 tX<. Ud  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 N8]DW_bsB  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 F8c^M</  
     
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