关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 \a<7DTV
<WXGDCj 1. 描述 v|!u]!JM ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 TLcev* ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 \,UpFuU\ ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 cTC -cgp
;(&$Iw9X 2. 系统 /+V}. KT5amct 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
Mi>! 3. 透镜系统组件编辑 ae%Bl[
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■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 [b2KBww\
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 ,9A1p06
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 ^sF/-/ {?U
■ 包括序列光学表面和光学介质。 B$ =oU
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A WGmXq. 4. 光线追迹系统分析器-选项 _4#Mdnh}[ Yvi.l6JL ABx< Ep6
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 V4#b W
■ 可以选择选取光线的方法: ^Z
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— 在x-y-网格 1bz%O2U-(
— 六边形 *VUD!`F
— 自由选取 A#o ~nC<
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 }1xD*[W
;\'d9C 5. 系统的3维视图 k)3b0T@b 9QXBz=Fnf
D'8xP %P 6. 其他系统参数 yG'
5: ■ 系统由单色平面波照明 Exb?eHO ■ 照明波长266.08nm
rSg OQ ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: ngt?9i;N — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 gzMp&J — 一个虚拟屏位于焦平面 MdC}!&W — 光束尺寸探测器置于焦平面 :5'8MU ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 o8B$6w:_ Qi= pP/Y i5*BZv>e 7&hhKEA im-XP@< 7. 光线追迹系统分析器的结果 ykS-5E` ixvF`S9 光线经过整个光学系统的三维视图
iW?z2%# 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
^XgBkC~ ;RW0Dn)Q Nx;Oz CcJ%;.V,T ,
3&DA p
2>\ 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 TWeup6k C JYpgSr gq7l>vT.
■ VirtualLab可用于计算点列图。 oHPh2b0
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 |e_'%d&
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 'QdDXw5o
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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9. 焦平面上的结果 LOEiV
K^Ho%_)
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 adn2&7H
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 gQYs,
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm wZg~k\_lF
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 @@z5v bs'{
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 zq'KX/o vnx+1T 10. 总结 WB.w3w[f ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 ._[uSBR' ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 c$8M}q:X ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 W_L;^5Y;m ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 7o7*g 7