关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 )_?H BTG
5D3&6DCH 1. 描述 E|6@h8# ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 2t=&h|6EW ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 4r7aZDVA\ ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 8*uaI7;*
\oP 2. 系统 {%\;'&@z\ ax2#XSCO 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
>F/E,U ] 3. 透镜系统组件编辑 RGY#0 .Z}
90wnwz
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 XqcNFSo)
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 E!,jTaZz
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 0-d&R@lX.
■ 包括序列光学表面和光学介质。 nGTqW/k[+s
R F;u1vEQ8 V9
EC@) 4. 光线追迹系统分析器-选项 &G3$q,`H %@C$xM" PK_2
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 V<KjKa+sG
■ 可以选择选取光线的方法: V9`jq$
— 在x-y-网格 ZalL}?E
?
— 六边形 :/}=s5aQl/
— 自由选取 A=*6|1w;
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 ;N
_%O :"+3Uk2 5. 系统的3维视图 ;Z,l};b B{V(g"dM
Jf@Xz7{z 6. 其他系统参数 obgO-d9l ■ 系统由单色平面波照明 mDWRYIuN ■ 照明波长266.08nm DuC_uNJ ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: ;$4:
&T — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 f>? b2a2HX — 一个虚拟屏位于焦平面 9a'}j#mJo — 光束尺寸探测器置于焦平面 :1#$p ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 fs#9*<]m J^pq< 1L3 $h0i 2W63/kRbU GbC JGqOR 7. 光线追迹系统分析器的结果 )/bv@Am RggZ'.\ 光线经过整个光学系统的三维视图
H.[(`wi!I 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
RRGs:h@; 3E8 Gh>J_ R~#&xfMd. m2F+6G qp/nWGj asbFNJG{ 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 70nBC >5Sm.7}R \Oe8h#%
■ VirtualLab可用于计算点列图。 ,B,0o*qc{K
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 =%;TVJk*a
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 X@~R<
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
=jRC4]M})
7+P-MT 9. 焦平面上的结果 qwd
T=H
kyD*b3MN
Lo +H&-
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 rX|{nb
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 e~$aJO@B.R
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
NF_[q(k'
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 ^O3p:X4u
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 Qmj%otSg 3u=>Y^wu 10. 总结 u9ue>I/ ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 VQ4rEO=t ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 W)u9VbPk[ ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 sfCU"O2G ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 4?aNJyV%&