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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2023-05-10
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 )_?HBTG  
    5D3&6DCH  
    1. 描述 E|6@h8 #  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 2t=&h|6EW  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 4r7a ZDVA\  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。  8*uaI7;*  
    \oP  
    2. 系统 {%\;'&@z\  
    ax 2#XSCO  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    >F/E,U ]  
    3. 透镜系统组件编辑 RGY#0.Z}  
    90wnwz  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 XqcNFSo)  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 E!,jTaZz  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 0-d&R@lX.  
    包括序列光学表面和光学介质。 nGTqW/k[+s  
    R F;u1vEQ8  
    V9  EC@)  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 &G3$q,`H  
    %@C$xM"  
    PK_2  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 V<KjKa+sG  
    可以选择选取光线的方法: V9`jq$  
    — 在x-y-网格 ZalL}?E ?  
    — 六边形 :/}=s5aQl/  
    — 自由选取 A=*6|1w;  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    ;N _ %O  
    :"+3Uk2  
    5. 系统的3维视图 ;Z,l};b  
    B{V(g"dM  
    Jf@Xz7{z  
    6. 其他系统参数 obgO-d9l  
    系统由单色平面波照明 mDWRYIuN  
    照明波长266.08nm DuC_uNJ  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: ;$4: &T  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 f>?b2a2HX  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 9a'}j#mJo  
    光束尺寸探测器置于焦平面 :1#$p  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 fs#9*<]m  
    J^pq<   
    1L3 $h0i  
    2W63/kRbU  
    GbC JGqOR  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 )/bv@Am  
    R ggZ'.\  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    H.[(`wi!I  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    RRGs:h@;  
    3E8 Gh>J_  
    R ~#&xfMd.  
    m2F+ 6G  
    qp/nWGj  
    asbFNJG{  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 70nBC  
    >5Sm.7}R  
    \Oe8h#%  
    VirtualLab可用于计算点列图。 ,B,0o*qc{K  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 =%;TVJk*a  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 X@~R<  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 =jRC4]M})  
    7+P-MT  
    9. 焦平面上的结果 qwd T= H  
    kyD*b3MN  
    Lo +H&-  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 rX|{nb  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 e~$aJO@B.R  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm NF_[q(k'  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 ^O3p:X4u  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    Qmj%otSg  
    3u= >Y^wu  
    10. 总结 u9ue>I /  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 VQ4rEO=t  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 W)u9VbPk[  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 sfCU"O2G  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 4?aNJyV%&  
     
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