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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2023-05-10
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 @20~R/vh  
    4I %/}+Q  
    1. 描述 g#Doed.30=  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 ]Sl]G6#Iwv  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 v8PH(d2{@  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 >R&=mo~  
    4pkTOQq_tQ  
    2. 系统 \@%sX24D  
    /d/Quro  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    ,sn/FT^; q  
    3. 透镜系统组件编辑 N3C 8%  
    Hf^Tok^6@]  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 W5#5RK"uX  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 d7O\p(M1  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 ;?-`n4B&  
    包括序列光学表面和光学介质。 N=?! ~n9Q-  
    Y$L>tFA  
    }zK/43Vx  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 !uno!wUIYd  
    @qGg=)T  
    }'o[6#_*X  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 74hQ?Atw:  
    可以选择选取光线的方法: P0/B!8x  
    — 在x-y-网格 C/sDyv$  
    — 六边形 vW\|% @hW,  
    — 自由选取 6Eu&%`  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    T-'B-g  
    -_>g=a@&  
    5. 系统的3维视图 4_A9o9&_Rh  
    m4@f&6x  
    l:Y$A$W]>  
    6. 其他系统参数 .F*2]xj@"  
    系统由单色平面波照明 C}~/(;1V=  
    照明波长266.08nm REmD*gf  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: Ul EP;  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 4-YXXi}  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 s\-^vj3  
    光束尺寸探测器置于焦平面 UpA{$@  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 _z3Hl?qk=  
    H$ sNp\[{  
    bhFAt1h  
    bnWKfz5  
    T21SuM  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 ,0~/ Cn  
    vGk}r  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    F[ Itq  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    JqDj)}fzX  
    Z~Mq5#3F  
    [SW@"C!  
    x%;Q /7&$  
    >%"Q]p  
    JMMsOA_]  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 N1V qK  
    F C= %_y  
    aE_)iE|  
    VirtualLab可用于计算点列图。 VH{SE7  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 W biUz2)  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 J-W, ^%  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 (VPT% l6  
    O ).1>  
    9. 焦平面上的结果 RfT#kh/5  
    vWJhSpC[  
    GXEOgf#i  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 #"M 'Cs  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 Q7y6</4f  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm cVZCBcKC?  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 u+]v. Mt  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    `9Qr kkG+  
    l|-TGjsX  
    10. 总结 t9&z|?Vz  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 y*M,&,$  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 ;+-$=l3[a  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 }*n(RnCn  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 Ih}I`wY-  
     
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