关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 o&ETs)n|
E.eUd4XG 1. 描述 ?/|KM8 ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 "."ow| ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 K*S3{s%UR ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 yc+pNC)ue_
*WaqNMD[% 2. 系统 Ake@krh>$ YpI|=mv 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
n#^ii/H 3. 透镜系统组件编辑 z"P/Geb:O
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■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 5.d[C/pRw
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 Q|xa:`3?
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
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■ 包括序列光学表面和光学介质。 );;UA6CD
4i7+'F e2^TQv2(=e 4. 光线追迹系统分析器-选项 uH]oHh!}j +}R#mco5K }`.d4mm
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 ,pIh.sk7s*
■ 可以选择选取光线的方法: 7@
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— 在x-y-网格 )$ M2+_c
— 六边形 Bmt^*;WY+
— 自由选取 ^B:;uyG]M
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 -}3nIk<N _ee<i8_Va 5. 系统的3维视图 Q[{RNab MXiQWg$
>L')0<!& 6. 其他系统参数 u4j"U6"]M ■ 系统由单色平面波照明 _\na9T~g ■ 照明波长266.08nm X,{ 3_ ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: &`oybm-p( — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 S5V:H Rj{? — 一个虚拟屏位于焦平面 *3)kr=x — 光束尺寸探测器置于焦平面 Al=ByX @ ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 [5!dO\-[ kH8/8 NfUt\ p* k!Q{u2 IC?(F]$%> 7. 光线追迹系统分析器的结果 2RQ-L "([/G?QAG 光线经过整个光学系统的三维视图
bQ(-M: 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
T<-_#}.Hn \W]gy_=D{ SL-;h#-y
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FO~ )+R n[MMp 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 C~R
?iZ.&U c_8<N7 C )U=]HpuzI
■ VirtualLab可用于计算点列图。 T7%!JBg@
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 YZ`SF"Bd(
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 {
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■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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<Se9aD 9. 焦平面上的结果 8CZ%-}-%$
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 aL%E#
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 BM`6<Z "3q
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm &7oL2Wf
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 GX0zirz
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 &a;?o~%*]i a6-.|tt#t 10. 总结 /0 4US5En ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 [iEz?1., ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 bMxK @$G~ ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 U8AH,?]# ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 z}B39L