关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 l)0yv2[h
fli7Ow?M~ 1. 描述 0I.! ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 rmnnV[@o ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 }% ?WS ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 >LB x\/
ZW8;?#_ 2. 系统 CwfGp[|}e <gr2k8m6$ 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
[WunA,IuR 3. 透镜系统组件编辑 6HR*)*>z_
S>?B)
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 tgm(tDL
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 .rbKvd?-}
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 Jc9^Hyqu&
■ 包括序列光学表面和光学介质。 >z8y L+
!]WC~#|{B CQ%yki 4. 光线追迹系统分析器-选项 $U5$*R@jo[ QnDLSMx) V -9z{
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 #*K!@X
■ 可以选择选取光线的方法: QmB,~x{j>
— 在x-y-网格 ?B,B<@='%
— 六边形 N6-bUM6%I
— 自由选取 ~;Xkt G:
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 /B9jmvj` ol8uV{:" 5. 系统的3维视图 |teDe6\m ,k3aeM~`%w
S{ !m})1? 6. 其他系统参数 Hz<)a(r!J ■ 系统由单色平面波照明 H~"XlP ■ 照明波长266.08nm [ w1" ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: q\5C-f — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 j~Xn\~*n — 一个虚拟屏位于焦平面 c'6$`nC — 光束尺寸探测器置于焦平面 6P I-"He ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 y0XI?Wr 6<A3H$3b _`Sz}Yk OKq={l /2!"_?<L 7. 光线追迹系统分析器的结果 6ypqnOTr X{riI^( 光线经过整个光学系统的三维视图
V/-~L]G 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
YPq`su7m9 ;42D+q=s ~d?\rj3= P%Ux-0& Uyyw'Ni W(tXq 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 Iq[,)$ #8d$%F)) .el_pg
■ VirtualLab可用于计算点列图。 /`Lki>"
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 oYN# T=Xi
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 Gu_Rf&:
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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v)2@;Q 9. 焦平面上的结果 7e"(]NC84
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ARu^hz=
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 2'r8#,)
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 , 0rC_)&B
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm u$[T8UqF
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 7iKbd
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 t(MlZ>H ;"nEEe]? 10. 总结 =;$&:Zjy/% ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 Ja#idF[V ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 o&~z8/?LA ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 &,&oTd. ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 \ca4X{x