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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2023-05-10
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 G5'_a$  
    GHN3PEJ>  
    1. 描述 @Z\~  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 +2T! z=  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 Rs$5PdH  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 t;#Gmo  
    h{]#ag5`  
    2. 系统 Rf[V)x  
    {0's~U+@  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    Q;26V4  
    3. 透镜系统组件编辑 C}CKnkMMD  
    kR6A3?[  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 ESDB[ O+`x  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 QB 77:E  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。  93w~.p  
    包括序列光学表面和光学介质。 2@MN]Low  
    wq72% e  
    &:!ij  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 kX8=cL9G  
    C{Blqf3V0  
    <TjBd1  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 ,$Tk$  
    可以选择选取光线的方法: ,k*F`.[  
    — 在x-y-网格 koH4~m{  
    — 六边形 v["3  
    — 自由选取 u@D .i4U  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    ~Fx&)kegTo  
    6GKT yN  
    5. 系统的3维视图 jzrt7p*k}  
    W/v|8-gcK  
    }aZr ou3E  
    6. 其他系统参数 ]P*!'iYN(  
    系统由单色平面波照明 )vHi|~(   
    照明波长266.08nm B| Q6!  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: c$#GM57V  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 |s`Kd-'|q  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 MFTC6L+T  
    光束尺寸探测器置于焦平面 H7jTQW0rp5  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 .;slrg(5F  
    pF='jj51  
    _$(GRNRYK  
    8vJdf9pB*  
    WF)s*$'uz;  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 dzxI QlP  
    }jcIDiSu  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    gfVDqDF  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    m0Z7N5v)  
    `Qq/ F]  
    IHVMHOq}'  
    1"$R 3@s;  
    T?e9eYwS  
    Ws>i)6[  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 YOKR//|3  
    v Xf:~G]  
    3k{c$x}  
    VirtualLab可用于计算点列图。 @Mr}6x*  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 ^;64!BaK  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 l4Y1(  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 Y^5"qd|`  
    UKYupLu5  
    9. 焦平面上的结果 H%~Q?4  
    >D3z V.R  
    @tQ2E}psP,  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 *2#FRA#q  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 ^yD"d =z  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm :}y| 4*z  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 2MT_#r_  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    {]@Qu"M  
    kc|>Q7~{  
    10. 总结 _r7=&oL.Q  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 1!f2*m  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 b.,$# D{p  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 NlMQHma  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 `rq<jtf+  
     
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