关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 iPOZ{'Z
`[\phv 1. 描述 h'x~"k1 ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 `[&2K@u ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 ;"
*`
■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 d"UW38K{
,]mwk~HeF 2. 系统 | dwxea U;GoC$b}| 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
jZ!JXmVV 3. 透镜系统组件编辑 '5U$`Xe1
\xxVDr.
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 af(JoX*U
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 u&x K>7
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 yp^* TD/J
■ 包括序列光学表面和光学介质。 )1}g7:
0gD0}nH H@ms43v\ 4. 光线追迹系统分析器-选项 i@Zj7#e* h.;CL#s jPNfLwVkl:
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 ?ljod6
■ 可以选择选取光线的方法: Ib8i#D V
— 在x-y-网格 5ba[6\Af
— 六边形 <WJ0St
— 自由选取 rcmAVl:$>
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 nln6:^w ';,Bn9rv 5. 系统的3维视图 +~Ay h[V _vV&4>
Rl4zTAI 6. 其他系统参数 !<zzP LC ■ 系统由单色平面波照明 \{zAX~k6 ■ 照明波长266.08nm XFTMT'9 ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: x,gE$dNzy — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 az;jMnPpR5 — 一个虚拟屏位于焦平面 -==qMrKP — 光束尺寸探测器置于焦平面 [=6~"!P} ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 !muYn-4M IWo~s `L#?eQ{ iv+jv2ZF% B8AzN9v&"N 7. 光线追迹系统分析器的结果 )?&kQ^@v Ja v2A6a 光线经过整个光学系统的三维视图
(Q8?) 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
<-:@} |br #S%Y;ilq `uZv9I" +`zi>= 9m!! b{ SWjQ.aM 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 <yI,cM<c r`R~{;oT &^n>ZY,
■ VirtualLab可用于计算点列图。 p?$G>nkdq
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 PT#eXS9_
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 &s^>S?L-
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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cia-OVX 9. 焦平面上的结果 Kq 4<l
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 2Uv3_i<
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 d&T6p&V$
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm [AX"ne#M*
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 Wx?&igh
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 rW~?0 6{ +_T 10. 总结 5Z6-R}uXk ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 '"w}gx ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 vDW&pF_eI> ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 ]\RSHz ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 AX!>l;