关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 G5'_a$
GHN3PEJ> 1. 描述 @Z\~ ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 +2T!z= ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 Rs$5PdH ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 t;#Gmo
h{]#ag5` 2. 系统 Rf[V)x {0's~U+@ 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
Q;26V4 3. 透镜系统组件编辑 C}CKnkMMD
kR6A3?[
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 ESDB[
O+`x
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 QB 77:E
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 93w~.p
■ 包括序列光学表面和光学介质。 2@MN]Low
wq72%e &:!ij 4. 光线追迹系统分析器-选项 kX8=cL9G C{Blqf3V0 <TjBd1
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 ,$Tk$
■ 可以选择选取光线的方法: ,k*F`.[
— 在x-y-网格 koH4~m{
— 六边形 v["3
— 自由选取 u@D.i4U
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 ~Fx&)kegTo 6GKT yN 5. 系统的3维视图 jzrt7p*k} W/v|8-gcK
}aZrou3E 6. 其他系统参数 ]P*!'iYN( ■ 系统由单色平面波照明 )vHi|~( ■ 照明波长266.08nm B| Q6! ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: c$#GM57V — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 |s`Kd-'|q — 一个虚拟屏位于焦平面 MFTC6L+T — 光束尺寸探测器置于焦平面 H7jTQW0rp5 ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 .;slrg(5F pF='jj51 _$(GRNRYK 8vJdf9pB* WF)s*$'uz; 7. 光线追迹系统分析器的结果 dzxI QlP }jcIDiSu 光线经过整个光学系统的三维视图
gfV DqDF 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
m0Z7N5v) `Qq/F] IHVMHOq}' 1"$R 3@s; T?e9eYwS Ws>i)6[ 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 YOKR//|3 vXf:~G] 3k{c$x}
■ VirtualLab可用于计算点列图。 @Mr}6x*
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 ^;64!BaK
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 l4Y1(
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
Y^5"qd|`
UKYupLu5 9. 焦平面上的结果 H%~Q?4
>D3zV.R
@tQ2E}psP,
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 *2#FRA#q
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 ^yD"d =z
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm :}y| 4*z
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 2MT_#r_
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 {]@Qu" M kc|>Q7~{ 10. 总结 _r7=&oL.Q ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 1!f2*m ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 b.,$# D{p ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 NlMQHma ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 `rq<jtf+