关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 F=a+z/xKT
tfO#vw,@ 1. 描述 uRV<?y% ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 /! ajsn ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 I3b"|% ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 RzKb{>
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iP@6hG`: 2. 系统 sy* y\5yJ uzOYVN$t 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
6aft$A}XnD 3. 透镜系统组件编辑 )eeN1G`rDE
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■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 ~:4kU/]
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 Dr<='Ux[5
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 QbFHfA2Ij
■ 包括序列光学表面和光学介质。 IIFMYl gF
j V3)2C} -Yi,_#3{ 4. 光线追迹系统分析器-选项 zt24qTKL #Il_J\# $RX'(/
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 Z3KO90O!8
■ 可以选择选取光线的方法: ,U,By~s
— 在x-y-网格 :fcM:w&
— 六边形 .1 )RW5|c
— 自由选取 %V!iQzL1
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 x+5k
<Xi} gO?44^hMe 5. 系统的3维视图 NR%Y+8^M }Nj97R
H;ZHqcUX 6. 其他系统参数 4Aes#{R3v ■ 系统由单色平面波照明 ]w).8=I ■ 照明波长266.08nm zSTR^sgJ ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: %hS|68pN6 — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 B0}~G(t( — 一个虚拟屏位于焦平面 -!M,75nU — 光束尺寸探测器置于焦平面 AIl4]F5I ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 ?WI3/>:< S:Q! "U zR6siAV9 lU]un&[N FjfN3#qlg 7. 光线追迹系统分析器的结果 \BV
0zKd =v~1qWX 光线经过整个光学系统的三维视图
y7\"[<E`(V 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
c{#yx_)V& 8kL4~(hY *V^ #ga#A i%Z2wP.o VL+C&k v] j`*N,*ha 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 ITJ q _, AzJ^ 'm=*u
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■ VirtualLab可用于计算点列图。 ~,6b_W p/
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 u0)7i.!M
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 [dX`K`k
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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imL_lw^? 9. 焦平面上的结果 7^TV~E#
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 /?-7Fg+,
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 \,UZX&ip
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm zdun,`6
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 (P|~>k
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 K ?$#ntp H5>hx{ 10. 总结 w) ]H ^6 ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 ]uL+&(cr ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 uwIc963 ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 V,v[y\ ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 #.B"q:CW*P