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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-10
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 2;r]gT~  
    =\~E n5  
    1. 描述 nu&_gF,{  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 DtzA$|Q}  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 p?+lAbe6H  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 xS6(K  
    #ZG3|#Q=L  
    2. 系统 "?apgx 6  
    9=t#5J#O  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    V bg10pV0  
    3. 透镜系统组件编辑 %55@3)V8Rf  
    ZCy`2Fir  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 ;i<$7MR.e  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 uYFMv=>j  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 ry.;u*F  
    包括序列光学表面和光学介质。 *#3*;dya]  
    C=fsJ=a5;  
    9 YP*f  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 `J72+RA  
    ?h/xAl  
    F-_%>KJS  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 P DRnW  
    可以选择选取光线的方法: 9mam ~)_ |  
    — 在x-y-网格 ^vJ"-{  
    — 六边形 hf;S]8|F  
    — 自由选取 y Wpi|  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    }$o*  
    &!ED# gs  
    5. 系统的3维视图 mDE'<c`b4  
    J.#(gFBBl\  
    x&'o ]Y  
    6. 其他系统参数 ac9qj  
    系统由单色平面波照明 $:Rn;  
    照明波长266.08nm z"tjDP  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: pX@Si3G`  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 bF*NWm$Lf  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 dXmV@ Noo  
    光束尺寸探测器置于焦平面 _w 5RK(  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 {J (R  
    !)N|J$FU  
    p8Iw!HE  
    yQ9ZhdQS  
    rah,dVE]  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 :M06 ;:e  
    %m9CdWb=w  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    OA[&Za#w  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    Z1M>-[j)  
    $f#agq_  
    L'l F/qe^  
    7|YN:7iA  
    oK2pM18  
    9qKzS<"h  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 0n.S,3|  
    J{`eLmTu  
    98fu>>*G{  
    VirtualLab可用于计算点列图。 ` @8`qXg  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 'n0 .#E_  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 1"}cdq.  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 Wqra8u#  
    9Y/L?km_(  
    9. 焦平面上的结果 in<}fAro6  
    cq*=|m0}Z  
    c"7j3/p  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 _d@=nK)  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 Y>B P?l  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm -?<4Og[^  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 ?vgH"W~3>  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    q@n^ZzTx  
    \?DR s  
    10. 总结 9I`Y-D  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 ,m^;&&  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 ME^ ,'&  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 jij<yM8$g  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 ,Ol (piR  
     
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