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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-10
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 $DebXxJw0l  
    '\"G{jU@  
    1. 描述 c8Z A5|  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 A]o4Mf0>I  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 Wd8R u/  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 1J{fXh  
    0[xpEiDx  
    2. 系统 &|9.}Z8U  
    /_t|Dry015  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    W:`#% :C  
    3. 透镜系统组件编辑 M`7y>Ud  
    eC! #CK  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 ]$A(9Pn"  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 0;<)\Wt=i9  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 v.&>Ih/L  
    包括序列光学表面和光学介质。 epg#HNP7^Y  
    n~.*1. P  
    J?&l*_m;t  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 A"uULfnk  
    "m$3)7 $  
    9Uf j  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 PuL<^aJ  
    可以选择选取光线的方法: e6E?t[hEeS  
    — 在x-y-网格 ;_O)p,p  
    — 六边形 vLT0ETHg6  
    — 自由选取 0w=R_C)s  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    b2C`g]ibQ  
    lg$zGa?  
    5. 系统的3维视图 J00VTb`  
    P7.'kX9  
    k@dN$O%p  
    6. 其他系统参数 SaOYu &>  
    系统由单色平面波照明 m GjN_  
    照明波长266.08nm BU|#e5  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: T/1gI9 X  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 5jB* fIz  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 fCWGAO2  
    光束尺寸探测器置于焦平面 |7k_N|E  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 T;5r{{  
    Q~{H@D`<  
    QHq,/kWY  
    Pe;Y1Qq>>  
    n>>Qn&ym  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 nkfZiyx  
    G\de2Q"d:O  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    '' O7=\  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    =O).Lx2J  
    iB[~U3  
    G<|8?6bq#  
    9iUrnG*  
    7&qy5 y-Ap  
    /U&Opo {aO  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 W2FD+ wt  
    (xHf4[[u  
    4)|8Eu[p7  
    VirtualLab可用于计算点列图。 E_e6^Sk5B(  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 \R36w^c3  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 !8NC# s  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 +Z M)bbB  
    VX LT^iX  
    9. 焦平面上的结果 %h?x!,q Y  
    :L44]K5FL  
    fk1ASV<rN  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 (0YZZ93  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 [Zei0O  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm .sC?7O =  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 =U%Rvm  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    ?=m?jNa;nC  
    g L_Y,A~Q{  
    10. 总结 mGp.3{j  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 R}^~^#  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 Lzu.)C@Amx  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 h3LE>}6D  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 $,+O9Et  
     
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