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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-10
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 F =a+z/xKT  
    tfO#vw,@  
    1. 描述 uRV<?y%  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 /! ajsn  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 I3b"|%  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 RzKb{> ;A  
    iP@6hG`:  
    2. 系统 sy* y\5yJ  
    uzOYVN$t  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    6aft$A}XnD  
    3. 透镜系统组件编辑 )eeN1G`rDE  
    ] ,etZ%z&  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 ~:4kU/]  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 Dr<='Ux[5  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 QbFHfA2Ij  
    包括序列光学表面和光学介质。 IIFMYl gF  
    j V3)2C}  
    -Yi,_#3{  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 zt24qTKL  
    #Il_J\#  
    $RX'(/  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 Z3KO90O!8  
    可以选择选取光线的方法: ,U,By~s  
    — 在x-y-网格 :fcM:w&  
    — 六边形 .1 )RW5|c  
    — 自由选取 %V!iQzL1  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    x+5k <Xi}  
    gO?44^hMe  
    5. 系统的3维视图 NR%Y+8^M  
    }Nj97 R  
    H;ZHqcUX  
    6. 其他系统参数 4Aes#{R3v  
    系统由单色平面波照明 ]w).8=I  
    照明波长266.08nm zSTR^sgJ  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: %hS|68pN6  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 B0}~G(t(  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 -!M,75nU  
    光束尺寸探测器置于焦平面 AIl4]F5I  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 ?WI3/>:<  
    S:Q! "U  
    zR6siAV9  
    l U]un&[N  
    FjfN3#qlg  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 \BV 0zKd  
    =v~1qWX  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    y7\"[<E`(V  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    c{#yx_)V&  
    8kL4~(hY  
    *V^ #ga#A  
    i%Z2wP.o  
    VL+C&k v]  
    j`*N,*ha  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 ITJ q  
    _,AzJ^  
    'm=*u SJK  
    VirtualLab可用于计算点列图。 ~,6b_W p/  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 u0)7i.!M  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 [dX`K`k  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 *4Fr&^M\  
    imL_lw^?  
    9. 焦平面上的结果 7^TV~E#  
    EpPf _ \o  
    `s#Hq\C  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 /?-7Fg+,  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 \,UZX&ip  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm zdun,`6  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 (P|~>k  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    K ?$#nt p  
    H5>hx {  
    10. 总结 w)] H ^6  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 ]uL +&(cr  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 uwIc963  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 V,v[y\  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 #.B"q:CW*P  
     
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