关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 #<_gY
>%qk2h> 1. 描述
D,cGW,2Nv ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 kjCXP ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 2|="!c8K ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 ZUDdLJ
&yu3nA:7D 2. 系统 SZ/}2_; Gk"o/]Sf 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
QU`M5{# 3. 透镜系统组件编辑 &/%A 9R,
c!,&]*h"k
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 !m7`E
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 x#wkODLqi
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 }b$?t7Q)
■ 包括序列光学表面和光学介质。 q_0So}
!Q-h#']~L `2}Frw+? 4. 光线追迹系统分析器-选项 aT9+]
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■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 oJ
r&9.S
■ 可以选择选取光线的方法: Vjv~RNGF
— 在x-y-网格 5m.{ayE
— 六边形 />wM#)o2
— 自由选取 zWN/>~}U\
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 RK7vR~kf< 2(SU# /, 5. 系统的3维视图 GM1z@i\5 U;o$=,_p
]4{ )VXod 6. 其他系统参数 dA)JR"r2 ■ 系统由单色平面波照明 kTC'`xv ■ 照明波长266.08nm Qs38VlR_m ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: -?jI{].:8 — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 (d>
M/x?W — 一个虚拟屏位于焦平面 74[wZDW|( — 光束尺寸探测器置于焦平面 H@+1I?l ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 kIC$ai6. LB(I^ J^!2F}: ,M4G_U[ >
whcZ.8 7. 光线追迹系统分析器的结果
U(d K n!Dr:$
光线经过整个光学系统的三维视图
X.q, 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
u-8b,$@Z>' q=EHB5!q & bKl(, J?oI%r7^ _1c0pQ ^}3 W2$MH: j 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 6Kvo Ho Nld y76|g &["s/!O1 R
■ VirtualLab可用于计算点列图。 Z<yLu'48)A
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 lQ8h -Tz
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 +:IwP
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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gwA+%] 9. 焦平面上的结果 *?JNh;
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Q[vQT?J7
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 R&-Vm3mc3
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 <UEta>jj
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm \80W?9qj
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。
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■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 Nf]h8d~ {4y#+[ 10. 总结 >=6 j: ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 IjPCaH.:t ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 !y$:}W?_ ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 nF)b4`Nd ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 Z!& u_