关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 j.}@ 9
Vp"=8p#k 1. 描述 |r|<cc# ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 h`{agWB ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 >d/DXv
3 ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 ,tZJSfHB
g3fxf(iY( 2. 系统 */8b)I}yY ]6)~Sj$ 5 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
)uG7 DR 3. 透镜系统组件编辑 .k_>
BD];
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■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 |"gg2p
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 yUUg8xbpxF
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 -MA/:EB
■ 包括序列光学表面和光学介质。 oR``Jiob|
yX`5x^wVw *#{V^} 4. 光线追迹系统分析器-选项 3izGMH_` [m*E[0Hu dq6|m
}g{
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 +1uAzm4SL
■ 可以选择选取光线的方法: ^/ "[jq3F
— 在x-y-网格 `<cnb!]
— 六边形 Ne!0 `^`~
— 自由选取 t@ _MWF
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 a;GuFnfn, G8sxg&bf{ 5. 系统的3维视图 3zr95$Mt v@qU<\Y>
gG?sLgL: 6. 其他系统参数 tAi
~i;? ■ 系统由单色平面波照明 +VE]
.*T ■ 照明波长266.08nm jPDk~| ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: X npn{ — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 }=7?
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b — 一个虚拟屏位于焦平面 ?FV>[&-h#I — 光束尺寸探测器置于焦平面 @7}]\}SR ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 ~_XK<}SK &/\Q 6$a U8||)+ y;$
!J be->ofUYgs 7. 光线追迹系统分析器的结果 ~uUN\qx52 9 SBVp6' 光线经过整个光学系统的三维视图
;A\SbLM 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
=sIkA)"!= y\C_HCU H -zSkon2Y^ w4<n=k F5+)=P# u]<_6;_ 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 h!zev~u1)` %fF0<c^-U rFJPeK7
■ VirtualLab可用于计算点列图。 R?Dc*,
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 'v~%rhq3
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 lL$no7HBy
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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141G~@- 9. 焦平面上的结果 >[qoNy;
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 UG,<\k&
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 U;qGUqI
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm ]Jum(1Bo
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 gK#G8V-,
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 UXdnN;0 b"PRa|] 10. 总结 "<Q,|Md ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 #Aver]eK ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 Tw]].|^f- ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 G@=H='
:~ ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 -|WQs'%O