关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 _7c3=f83
O. * 0;5 1. 描述 JF=R$! 5 ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 "zEl2Xn28_ ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 YI0
wr1N ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 v">?`8V
bC{4a_B 2. 系统 cO?*(e1m= I Xc `Ec 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
+H-=`+, 3. 透镜系统组件编辑 \:vF FK4a
[txOh!sxD
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 u6|C3,!z"
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 ;n&95t1$
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 .LzA'q1+z
■ 包括序列光学表面和光学介质。 U8_{MY-9}
QoD_`d Y>x{ [er 4. 光线追迹系统分析器-选项 DE(XSzX >AJ/!{jD* (Y1*Bs[l
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 'Ru(`"
1|
■ 可以选择选取光线的方法: {oQs*`=l>
— 在x-y-网格 s:T%,xS
— 六边形 UHl3/m7g
— 自由选取 mGT('iTM4
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 &;PxDlY5 -E-#@s 5. 系统的3维视图 PGTEIptX7 g~U(w
[gW eD 6. 其他系统参数 oz!)x\m*H ■ 系统由单色平面波照明 +gl\l?>sr ■ 照明波长266.08nm k!c7eP"%8^ ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: w{ja*F6 — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 K+3-XhG — 一个虚拟屏位于焦平面 %ZVYgtk;* — 光束尺寸探测器置于焦平面 KzHN|8$o ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 Mh%{cLM ; lMv xt: J0sD?V|{1~ Tmg C {_ e!u]l 7. 光线追迹系统分析器的结果 o "z()w~ v93b8/1 光线经过整个光学系统的三维视图
Nd(,oXa~ 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
@?B+|*cm }?[];FB V,r~%p E ,i^rA m . ,|C>^ ^t0!Dbx3SE 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 P1F-Wy1 [@i:qB>B 1_Yx]%g<
■ VirtualLab可用于计算点列图。 ]d*9@+Iu
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 }dc0ZRKgx
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 E'6>3n
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
f_k'@e {
80nE QT
y 9. 焦平面上的结果 r S@/@jKZE
CJ<nUIy'z
zs=3e~o3
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 O-,
"/Z
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 -2.7Z`*(
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm XoN~d
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 :zL)O
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 CE"/&I QE]'Dc% 10. 总结 ]J Yz(m[ ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 BlJiHz! ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 CCTU-Xz/ ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 dGZie.Zx ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 (T1< (YZ