关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 (5_l7hWY
kej@,8 1. 描述 }bIEW ho ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 r}WV"/]p ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 3_J9SwtN ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 ] \4-e2N`\
Wgq*| teW 2. 系统 IA&((\YC qK:.j 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
M98dQ%4I 3. 透镜系统组件编辑 gA2Il8K
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■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 AXH4jQw
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 @H@&B`K d
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 I=D`:u\H
■ 包括序列光学表面和光学介质。 )KaQ\WJ:
HOsq _)K yh]#V"W3 4. 光线追迹系统分析器-选项 }qmZ [\V]tpl! bV@53_)N2
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 e&8pTD3
■ 可以选择选取光线的方法: ?qHW"0Tjn
— 在x-y-网格 +C/K@:p
— 六边形 EqUiC*u8{I
— 自由选取 u&STGc[
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 UI<'T3b *.Y!ZaK 5. 系统的3维视图 w<J$12
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gEO#-tMjOQ 6. 其他系统参数 3i?{E^ ■ 系统由单色平面波照明 6IPhy.8 ■ 照明波长266.08nm kkyn>Wxv ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: 6%U1%; — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 Fu )V2[TY — 一个虚拟屏位于焦平面 @-kzSm — 光束尺寸探测器置于焦平面 G&/}P$ ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 Z:,HB]&;9 ;#EB0TK 8$v17 3 ~)tMR9=wX fR5
NiH 7. 光线追迹系统分析器的结果 l"IBt: H^K(1
光线经过整个光学系统的三维视图
%ghQ#dZ]& 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
Gd%6lab }UXj|SY #n{wK+lz 15iCJ p RNRMw;cT .Z8 x!!Q* 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 :n0(g B 9w11kut-! aZ*b"3
■ VirtualLab可用于计算点列图。 1
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■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 6M"J3\
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■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 gBYL.^H^l
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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