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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-10
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 &%<G2x$  
    {fWZ n  
    1. 描述 P_}$|zj7  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 Bs*s8}6  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 \BA_PyS?W+  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 H4U;~)i  
    >*&[bW'}?  
    2. 系统 xYbF76B  
    /@K?W=w4  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    ;XjKWM;  
    3. 透镜系统组件编辑 \VW.>@s~  
    G 8@%)$A  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 G7u85cie  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 >i '3\  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 (Xx @_  
    包括序列光学表面和光学介质。 MEE]6nU  
    |jlR] ,  
    xJ4T7 )*  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 Kgcg:r:  
    O1QHG'00  
    CR<*<=rI  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 aDs[\ '  
    可以选择选取光线的方法: 7J\I%r  
    — 在x-y-网格 kC)dia{$  
    — 六边形 ) E5ax~  
    — 自由选取 *<KY^;  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    Q"KH!Bu%P  
    l ^{]pD  
    5. 系统的3维视图 lPjgBp{/  
    9.<$&mVk7`  
    s f%=q$z  
    6. 其他系统参数 Zu!3RN[lp?  
    系统由单色平面波照明 Z# 1Qj9  
    照明波长266.08nm Fik*7!XQ8  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: L_/.b%0)  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 }a8N!g  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 c#_%|gg  
    光束尺寸探测器置于焦平面 w\a\I  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 Rzz*[H  
    Te;`-E L  
    [qc90)^Q,  
    cdk;HK_Ve.  
    UJO+7h'  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 V /|@   
    zg]9~i8  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    oo`mVRVf  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    @D%VV=N~[  
    RP6QS)|  
    }V 09tK/M  
    07n=H~yU  
    =*t)@bn  
    Dp>/lkk.  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果  </7J:#  
    *T 6<'a  
    nlh%O@,  
    VirtualLab可用于计算点列图。 Bp9 u6R  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 R6!t2gdKe@  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 LFtnSB8  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 PM ,I?lJ,  
    [(]uin+9Q  
    9. 焦平面上的结果 w<>B4m\  
    y/E%W/3  
    (.Sj"6+  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 Rzw}W7zg[  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 /:l>yKI+~  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm iielAj*b  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 -GQ`n01  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    %<P&"[F]v@  
    g+U6E6}1  
    10. 总结 G$WMW@fy  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 _HGbR/  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 K-#v5_*  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 o[aRG7C  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 DdPU\ ZWR  
     
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