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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-10
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 #<_gY  
    >%qk2h>  
    1. 描述 D,cGW,2Nv  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 kjCXP  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 2|="!c8K  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 ZUDdLJ  
    &yu3nA:7D  
    2. 系统 SZ/}2_;  
    Gk"o/]Sf  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    QU`M5{#  
    3. 透镜系统组件编辑 &/%A 9R,  
    c!,&]*h"k  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 !m7`E  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 x#wkODLqi  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 }b$?t7Q)  
    包括序列光学表面和光学介质。 q_0So}  
    !Q-h#']~L  
    `2}Frw+?  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 aT9+] Ig  
    Y}db<Cz X  
    $-HP5Kj(k-  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 oJ r&9.S  
    可以选择选取光线的方法: Vjv~RNGF  
    — 在x-y-网格 5m.{ayE  
    — 六边形 />wM#)o2  
    — 自由选取 zWN/>~}U \  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    RK7vR~kf<  
    2(SU# /,  
    5. 系统的3维视图 GM1z@i\5  
    U;o$=,_p  
    ]4{ )VXod  
    6. 其他系统参数 dA)JR"r2  
    系统由单色平面波照明 kTC'`xv  
    照明波长266.08nm Qs38VlR_m  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: -?jI{].:8  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 (d> M/x?W  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 74[wZDW|(  
    光束尺寸探测器置于焦平面 H@+1I?l  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 kIC $ai6.  
    LB(I^  
    J^!2F}:  
    ,M4G_U[  
    > whcZ.8  
    7. 光线追迹系统分析器的结果  U(d K  
    n! Dr:$  
    光线经过整个光学系统的三维视图
     X.q,  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    u-8b,$@Z>'  
    q=EHB5!q  
    & bKl(,  
    J?oI%r7^  
    _1c0pQ^}3  
    W2$MH: j  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 6KvoHo  
    Nldy76|g  
    &["s/!O1R  
    VirtualLab可用于计算点列图。 Z<yLu'48)A  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 lQ8h-Tz  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 + :IwP  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 |)Q#U$ m  
    gwA+%]  
    9. 焦平面上的结果 *?JNh;  
    NsPAWI|4  
    Q[vQT?J7  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 R&-Vm3mc3  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 <UEta>jj  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm \80W?9qj  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 &H4Y`xV^=  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    Nf]h8d~  
    {4 y#+[  
    10. 总结 >=6 j:  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 IjPCaH.:t  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 !y$:}W?_  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 nF)b4`Nd  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 Z!& u_  
     
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