关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 &%<G2x$
{fWZ n 1. 描述 P_}$|zj7 ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 Bs*s8}6 ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 \BA_PyS?W+ ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 H4U;~)i
>*&[bW'}? 2. 系统 xYbF76B /@K?W=w4 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
;XjKWM; 3. 透镜系统组件编辑 \VW.>@s~
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■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 G 7u85cie
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 >i'3\
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 (Xx
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■ 包括序列光学表面和光学介质。 MEE]6nU
| jlR], xJ4T7 )* 4. 光线追迹系统分析器-选项 Kgcg:r: O1QHG'00 CR<*<=rI
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 aDs[\'
■ 可以选择选取光线的方法: 7J\I%r
— 在x-y-网格 kC)dia{$
— 六边形 ) E5ax~
— 自由选取 *<KY^;
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 Q"KH!Bu%P l ^{]pD 5. 系统的3维视图 lPjgBp{/ 9.<$&mVk7`
sf%=q$z 6. 其他系统参数 Zu!3RN[lp? ■ 系统由单色平面波照明 Z# 1Qj9 ■ 照明波长266.08nm Fik*7!XQ8 ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: L_/.b%0) — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 }a8N!g — 一个虚拟屏位于焦平面 c#_%|gg — 光束尺寸探测器置于焦平面 w\a\I ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 Rzz*[H Te;`-EL [qc90)^Q, cdk;HK_Ve. UJO+7h' 7. 光线追迹系统分析器的结果 V /|@ zg]9~i8 光线经过整个光学系统的三维视图
oo`mVRVf 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
@D%VV=N~[ RP6QS )| }V09tK/M 07n=H~yU =*t)@bn Dp>/lkk. 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 </7J:# *T 6<'a nlh%O@,
■ VirtualLab可用于计算点列图。 Bp9
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■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 R6!t2gdKe@
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 LFtnSB8
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
PM,I?lJ ,
[(]uin+9Q 9. 焦平面上的结果 w<>B4m\
y/E%W/3
(.Sj"6+
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 Rzw}W7zg[
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 /:l>yKI+~
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm iielAj*b
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 -GQ`n01
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 %<P&"[F]v@ g+U6E6}1 10. 总结 G$WMW@fy ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 _HGbR/ ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。
K-#v5_* ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 o[aRG7C ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 DdPU\ ZWR