关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 2;r]gT~
=\~E n5 1. 描述 nu&_gF,{ ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 DtzA$|Q} ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 p?+lAbe6H ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 xS6(K
#ZG3|#Q=L 2. 系统 "?apgx 6 9=t#5J#O 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
Vbg10pV0 3. 透镜系统组件编辑 %55@3)V8Rf
ZCy`2Fir
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 ;i<$7MR.e
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 uYFMv=>j
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 ry.;u*F
■ 包括序列光学表面和光学介质。 *#3*;dya]
C=fsJ=a5; 9YP*f 4. 光线追迹系统分析器-选项 `J72+ RA ?h/xAl F-_%>KJS
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 P DRnW
■ 可以选择选取光线的方法: 9mam ~)_ |
— 在x-y-网格 ^vJ"-{
— 六边形 hf;S]8|F
— 自由选取 y
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■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 }$o* &!ED# gs 5. 系统的3维视图
mDE'<c`b4 J.#(gFBBl\
x&'o ]Y 6. 其他系统参数 ac9qj ■ 系统由单色平面波照明 $:Rn; ■ 照明波长266.08nm z"tjDP ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: pX@Si3G` — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 bF*NWm$Lf — 一个虚拟屏位于焦平面 dXmV@ Noo — 光束尺寸探测器置于焦平面 _w 5RK( ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 {J (R !)N|J$FU p8Iw!HE yQ9ZhdQS rah,dVE] 7. 光线追迹系统分析器的结果 :M06 ;:e %m9CdWb=w 光线经过整个光学系统的三维视图
OA[&Za#w 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
Z1M>-[j) $f#agq_ L'lF/qe^ 7|YN:7iA oK2pM18 9qKzS<"h 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 0n.S,3|
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■ VirtualLab可用于计算点列图。 ` @8`qXg
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 'n0 .#E_
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 1"}cdq.
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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9Y/L?km_( 9. 焦平面上的结果 in<}fAro6
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 _d@=nK)
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 Y>BP?l
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm -?<4Og[^
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 ?vgH"W~3>
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 q@n^ZzTx \?D R
s 10. 总结 9I`Y-D ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 ,m^;&& ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 ME^,'& ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 jij<yM8$g ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 ,Ol ( piR