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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-10
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 j.}@9  
    Vp"=8p#k  
    1. 描述 |r|<cc#  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 h`{agW B  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 >d/DXv 3  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 ,tZJSfHB  
    g3fxf(iY(  
    2. 系统 */8b)I}yY  
    ]6)~Sj$ 5  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    )uG7 DR  
    3. 透镜系统组件编辑 .k_> BD];  
    kK62yz,  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 |"gg2p  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 yUUg8xbpxF  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 -MA/:EB  
    包括序列光学表面和光学介质。 oR``Jiob|  
    yX`5x^wVw  
    *#{V ^}  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 3izGMH_`  
    [m*E[0Hu  
    dq6|m }g{  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 +1uAzm4SL  
    可以选择选取光线的方法: ^/"[jq3F  
    — 在x-y-网格 `<cn b!]  
    — 六边形 Ne!0`^`~  
    — 自由选取 t@_MWF  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    a;GuFnfn,  
    G8sxg&bf{  
    5. 系统的3维视图 3zr95$Mt  
    v@qU<\Y>  
    gG?sLgL:  
    6. 其他系统参数 tAi ~i;?  
    系统由单色平面波照明 +VE ] .*T  
    照明波长266.08nm jPDk~|  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: X npn{  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 }=7? & b  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 ?FV>[&-h#I  
    光束尺寸探测器置于焦平面 @7}]\}SR  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 ~_XK<}SK  
    &/\Q6$a  
    U8||)  +  
    y;$ !J  
    be->ofUYgs  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 ~uUN\qx52  
    9 SBVp 6'  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    ;A\SbLM  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    =sIkA)"!=  
    y\C_HCU H  
    -zSkon2Y^  
    w4<n=k  
    F5+)=P#  
    u]<_6;_  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 h!zev~u1)`  
    %fF0<c^-U  
    rFJPeK7  
    VirtualLab可用于计算点列图。 R?D c*,  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 'v~%rhq3  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 lL$no7HBy  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 y~r5KB6w  
    141G~@-  
    9. 焦平面上的结果 >[qoNy;  
    p~evPTHnrX  
    Y9w^F_relL  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 UG,<\k&  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 U;q GUqI  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm ]Jum(1Bo  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 gK#G8V-,  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    UXdnN;0  
    b" PRa|]  
    10. 总结 "<Q,|Md  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 #Ave r]eK  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 Tw]].|^f-  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 G@=H=' :~  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 -|WQs'%O  
     
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