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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-10
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 (5_l7hWY  
     kej@,8  
    1. 描述 }bIEWho  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 r}WV"/]p  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 3_J9SwtN  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 ] \4-e2N`\  
    Wgq*|teW  
    2. 系统 IA&((\YC  
    qK:.j  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    M98dQ%4I  
    3. 透镜系统组件编辑 gA2Il8K  
    r1}OlVbK  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 AXH4jQw  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 @H@&B`Kd  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 I=D`:u\H  
    包括序列光学表面和光学介质。 )KaQ\WJ:   
    HOsq _)K  
    yh]#V"W3  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 }qmZ  
    [ \V]tpl!  
    bV@53_)N2  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 e&8pTD3  
    可以选择选取光线的方法: ?qHW"0Tjn  
    — 在x-y-网格 +C/K@:p  
    — 六边形 EqUiC*u8{I  
    — 自由选取 u&STGc[  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    UI<'T3b  
    *.Y! ZaK  
    5. 系统的3维视图 w<J$12 "p+  
    j &,vju  
    gEO#-tMjOQ  
    6. 其他系统参数  3i?{E ^  
    系统由单色平面波照明 6IPhy.8  
    照明波长266.08nm kkyn>Wxv  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: 6%U1%;  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 Fu )V2[TY  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 @-kzSm  
    光束尺寸探测器置于焦平面 G&/}P$  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 Z:,HB]&;9  
    ;#EB0TK  
    8$v17 3  
    ~)tMR9=wX  
    fR5 NiH  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 l"IBt:  
    H^K(1  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    %ghQ#dZ]&  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    Gd%6lab  
    }UXj|SY  
    #n{wK+lz  
    15iCJ p  
    RNRMw;cT  
    .Z8 x!!Q*  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 :n0(gB  
    9w11kut-!  
    aZ*b"3  
    VirtualLab可用于计算点列图。 1 YMaUyL 1  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 6M"J3\ x  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 gBYL.^H^l  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 wy&VClT  
    @o9EX }  
    9. 焦平面上的结果 _#f/VE  
    o%M~Q<wf  
    ?F AsV&y  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 =ub&@~E  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 73Mh65  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm %dw-}1X  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 |rW}s+Kcr  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    P%' bSx1  
    B V+"uF  
    10. 总结 u$t*jw\fHg  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 9VV  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 9@QP?=\Y  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 >p\IC  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 >5/dmHPc  
     
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