关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 gp$Ucfu'
TCT57P#b 1. 描述 ?Ma~^0 ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 n@ w^V ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 ,K:ll4{b ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 VmzbZTup
?<G]&EK~~] 2. 系统 .uNQBBNv h" H2z1$ 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
Cy*|&=>j 3. 透镜系统组件编辑 qlA7tU2p&
0afei4i~N
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 ^$&k5e/}C
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 `R"I;qV
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 Oy 2+b1{
■ 包括序列光学表面和光学介质。 8k(P,o
7}*6#KRG 0i8LWX_M 4. 光线追迹系统分析器-选项 a_h]?5
:c s?ko?qN( K}=|.sE9
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 Rq[ M29
■ 可以选择选取光线的方法: Me6+~"am/
— 在x-y-网格 rQ=,y>-*
— 六边形 c1%H4j4/
— 自由选取 "B_K
XL
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 : Sq?a0!S E~LTb)
! 5. 系统的3维视图 U%h);!< Z3!f^vAi&
kD bhu^~B 6. 其他系统参数 tgjr&G}a@0 ■ 系统由单色平面波照明 F @Te@n ■ 照明波长266.08nm tK
k#LWB ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: -{`@=U — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 w`l{LHrR — 一个虚拟屏位于焦平面 1^i Pji/ — 光束尺寸探测器置于焦平面 o!4!"O'E ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 _gD
pKEaY Jv.UQ gIA@l`" 0(_l|PScF v=('{/^~> 7. 光线追迹系统分析器的结果 ;(}V"i7Hu 3_q3Bk 光线经过整个光学系统的三维视图
@y31NH( 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
Py`N4y~ "T H6o:x ~q&pF"va8 LHJ":^ c$wsH25KH8 wu"&|dt 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 si4don Ew3ibXD D/h/Y) Y
■ VirtualLab可用于计算点列图。 Qv-@Zt!8
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 $ cu00K
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 ~{}#)gGU
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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JJRK7\~$ 9. 焦平面上的结果 N?X~ w <
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 0| ;
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■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 3OM2Y_
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm J~(Wf%jM~
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 L],f3<
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 "*O4GPj 67y Tvr@a 10. 总结 -[L!3jU ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 `yF`x8 ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 5[n(7;+gw ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 U.{l;EL:T ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 xooY'El*#