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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-10
    关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 gp$Ucfu'  
    TCT57P#b  
    1. 描述 ?Ma~^0  
    ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 n@ w^ V   
    ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 ,K:ll4{b  
    ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 VmzbZTup  
    ?<G]&EK~~]  
    2. 系统 .uNQBBNv  
    h"H2z1$  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    Cy*|&=>j  
    3. 透镜系统组件编辑 qlA7tU2p&  
    0afei4i~N  
    ■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 ^$&k5e/}C  
    ■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 `R"I;qV  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 Oy 2+b1{  
    ■ 包括序列光学表面和光学介质。 8k(P,o  
    7}*6#KRG  
    0i8LWX_M  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 a_h]?5 :c  
    s?ko?qN(  
    K}=|.sE9  
    ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 Rq[ M29  
    ■ 可以选择选取光线的方法: Me6+~"am/  
    — 在x-y-网格 rQ=,y>-*  
    — 六边形 c1%H4j4/  
    — 自由选取 "B_K XL  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    : Sq?a0!S  
    E~LT b) !  
    5. 系统的3维视图 U%h);!<  
    Z3!f^vAi&  
    kD bhu^~B  
    6. 其他系统参数 tgjr&G}a@0  
    ■ 系统由单色平面波照明 F @Te@n  
    ■ 照明波长266.08nm tK k#LWB  
    ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: -{`@=U  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 w`l{LHrR  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 1^i Pji/  
    — 光束尺寸探测器置于焦平面 o !4!"O'E  
    ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 _gD pKEaY  
    Jv.U Q  
    gIA@l `"  
    0(_l|PScF  
    v=('{/^~>  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 ;(}V"i7Hu  
    3_q3Bk  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    @y31NH(  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    Py`N4y ~  
    "TH6o: x  
    ~q&pF"va8  
    LHJ":^  
    c$wsH25KH8  
    wu"&|dt  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 si4don  
    Ew3ibXD  
    D/h/Y) Y  
    ■ VirtualLab可用于计算点列图。 Qv-@Zt!8  
    ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 $cu00K  
    ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 ~{}#)gGU  
    ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 GJqE!I,.  
    JJRK7\~$  
    9. 焦平面上的结果 N?X~w <  
    t#!yrQ..'G  
    _{jjgQJ5  
    ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 0|; .6\  
    ■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 3OM2Y_  
    ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm J~(Wf%jM~  
    ■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 L],f3<  
    ■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。
    "*O4GPj  
    67y Tvr@a  
    10. 总结 -[L!3jU  
    ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 `yF`x8  
    ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 5[n(7;+gw  
    ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 U.{l;EL:T  
    ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 xooY' El*#  
     
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