切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • 553阅读
    • 0回复

    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

    上一主题 下一主题
    离线infotek
     
    发帖
    5797
    光币
    23137
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-10
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 _7c3=f83  
    O. * 0;5  
    1. 描述 JF=R$!5  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 "zEl2Xn28_  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 YI0 wr1N  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 v">?`8V  
    bC{4a_B  
    2. 系统 cO?*(e1m=  
    I Xc `Ec  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    +H-=`+,  
    3. 透镜系统组件编辑 \:vF FK4a  
    [txOh!sxD  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 u6|C3,!z"  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 ;n&95t1$  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 .LzA'q1+z  
    包括序列光学表面和光学介质。 U8_{MY-9}  
    QoD_`d  
    Y>x{ [er  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 DE(XS zX  
    >AJ/!{jD*  
    (Y1*Bs[l  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 'Ru(`" 1|  
    可以选择选取光线的方法: {oQs*`=l>  
    — 在x-y-网格 s:T%, xS  
    — 六边形 UHl3/m7g  
    — 自由选取 mGT('iTM4  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    &;PxDlY5  
    -E-#@s  
    5. 系统的3维视图 PGTEIptX7  
    g~U( w  
    [gW eD  
    6. 其他系统参数 oz!)x\m*H  
    系统由单色平面波照明 +gl\l?>sr  
    照明波长266.08nm k!c7eP"%8^  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: w{ja*F6  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 K+3-XhG  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 %ZVYgtk;*  
    光束尺寸探测器置于焦平面 KzHN|8 $o  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 Mh%{cLM  
    ;lMvxt:  
    J0sD?V|{1~  
    TmgC {_  
    e!u]l  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 o"z()w~  
    v93b8/1  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    Nd(,oXa~  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    @?B+|*cm  
    }?[];FB  
    V,r~%p  
    E,i^rAm  
    . ,|C>^  
    ^t0!Dbx3SE  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 P1F-Wy1  
    [@i:qB>B  
    1_Yx]%g<  
    VirtualLab可用于计算点列图。 ]d*9@+Iu  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 }dc0ZRKgx  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 E '6>3n  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 f_k'@e{  
    80nEQT y  
    9. 焦平面上的结果 rS@/@jKZE  
    CJ<nUIy'z  
    zs=3e~o3  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 O-, "/Z  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 -2.7Z`*(  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm XoN~d  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 :zL)O  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    CE"/&I  
    QE]'Dc%  
    10. 总结 ]J Yz(m[   
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 BlJiHz!  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 CCTU-Xz/  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 dGZie .Zx  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 (T1< (YZ  
     
    分享到