关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 $DebXxJw0l
'\"G{jU@ 1. 描述 c8Z A5| ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 A]o4Mf0>I ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 Wd8Ru/ ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 1J{fXh
0[xpEiDx 2. 系统 &|9.}Z8U /_t|Dry015 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
W:`#% :C 3. 透镜系统组件编辑 M`7y>Ud
eC! #CK
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 ]$A(9Pn"
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 0;<)\Wt=i9
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 v.&>Ih/L
■ 包括序列光学表面和光学介质。 epg#HNP7^Y
n~.*1. P J?&l*_m;t 4. 光线追迹系统分析器-选项 A"uULfnk "m$3)7 $ 9Uf j
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 PuL<^aJ
■ 可以选择选取光线的方法: e6E?t[hEeS
— 在x-y-网格 ;_O)p,p
— 六边形 vLT0ETHg6
— 自由选取 0w=R_C)s
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 b2C`g]ibQ lg$zGa? 5. 系统的3维视图 J00VTb` P7.' kX9
k@dN$O%p 6. 其他系统参数 SaOYu &> ■ 系统由单色平面波照明 mGjN_ ■ 照明波长266.08nm BU|#e5 ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: T/1gI9X — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 5jB*fIz — 一个虚拟屏位于焦平面 fCWGAO2 — 光束尺寸探测器置于焦平面 |7k_N|E ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 T;5r{{ Q~{H@D`< QHq,/kWY Pe;Y1Qq>> n>>Qn&ym 7. 光线追迹系统分析器的结果 nkfZiyx G\de2Q"d:O 光线经过整个光学系统的三维视图
'' O 7=\ 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
=O).Lx2J iB[~U3 G<|8?6bq# 9iUr nG* 7&qy5y-Ap /U&Opo
{aO 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 W2FD+ wt (xHf4[[u 4)|8Eu[p7
■ VirtualLab可用于计算点列图。 E_e6^Sk5B(
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 \R36w^c3
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 !8NC# s
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
+ZM)bbB
VXLT^iX 9. 焦平面上的结果 %h?x!,q
Y
:L44]K5FL
fk1ASV<rN
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 (0YZZ93
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 [Zei0O
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm .sC?7O=
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 =U%Rvm
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 ?=m?jNa;nC gL_Y,A~Q{ 10. 总结 mGp.3 {j ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 R}^~^# ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 Lzu.)C@Amx ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 h3LE>}6D ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 $,+O9Et