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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-10
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 ri49r*_1  
    )BZ6QO`5n  
    1. 描述 GQYB2{e>  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 +&.39q !  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 NCVhWD21|  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 ++BQ==@  
    $49;\pBZl  
    2. 系统 0GQKM~|H  
    Pu(kCH{  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    SP4(yJy&  
    3. 透镜系统组件编辑 Q zY5S0  
    UYGO|lkEU  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 2tS,q_-=  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 cA~bH 6  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 {6mFI1;q  
    包括序列光学表面和光学介质。 B;t{IYhq{  
    !.7m4mKzo  
    K/$5SN1  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 lt%9Zgr[u  
    Ue=1NnRDkA  
    =WK's8FB;8  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 ,uZz?7mO  
    可以选择选取光线的方法: S~B{G T\M  
    — 在x-y-网格 !T.yv5ge'  
    — 六边形 bQHJ}aCi  
    — 自由选取 OG^#e+  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    i<!1s%i}  
    v V>=Uvm  
    5. 系统的3维视图 juMHc$d17  
    }x:}9iphF  
    b<BkI""b  
    6. 其他系统参数 ",]A.,  
    系统由单色平面波照明 A",R2d  
    照明波长266.08nm (R!`Z%  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: {*X|)nr  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 @DlN;r ?Cv  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 <-HWs@8#  
    光束尺寸探测器置于焦平面 n66b(6"mO2  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 [jTZxH<  
    ooj^Z%9P  
    oot kf=  
    1n#{c5T  
    mzcxq:uZ5  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 Y r8gKhv W  
    Fu65VLKh  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    T!|-dYYI  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    ygxaT"3"=  
    Q7_#k66gb7  
    r|3<UR%  
    twp~#s:\z  
    RA}Y$}^#'  
    Ju_(,M-Vgr  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 \7Fp@ .S3  
    lN7YU-ygz  
    \j0016;  
    VirtualLab可用于计算点列图。 zS `>65}e  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 O>IG7Ujl  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 wdRk+  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 ~(eD 4"  
    )_K:A(V>  
    9. 焦平面上的结果 XXb,*u 3  
    ES5a`"H  
    [k=LX+w@  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 <H|]^An!H  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 >ajcfG .k(  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm D;Y2yc[v  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 Kp[5"N8  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    H4BuxM_r  
    GX N:=  
    10. 总结 1Ch0O__2L  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 qcfg 55]'c  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 , 1il&  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 cLIeo{H  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 !lI1jb"  
     
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