关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 |3$Ew.
0d2P 1. 描述 >`QBN1 Y ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 jaS<*_~#R ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 ]2zM~ ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 A;cA|`b
}G4I9Py 2. 系统 KGt: }i9:k kfq2 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
N2:Hdu: 3. 透镜系统组件编辑 >N&{DJmD
q@.>eB'92P
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 >Eh U{@Y
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 s,R:D).
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 wm@m(ArE=
■ 包括序列光学表面和光学介质。 jUT`V
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?mMM{{%(. We6eAP /Z 4. 光线追迹系统分析器-选项 S5>s& 4U2{1aN` FNGa4
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 pPL=(9d
■ 可以选择选取光线的方法: |v+z*}fKw
— 在x-y-网格 TX)W.2u=
— 六边形 he|Q(?
— 自由选取 %/dOV[/
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 3ynkf77cn K6{wM 5. 系统的3维视图 ?NBae\6r 6R :hs C$
9hr7+fW]t 6. 其他系统参数 =r]l"T ■ 系统由单色平面波照明 }u#3 hYa ■ 照明波长266.08nm 'Agw~
&$ ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: E PE_2a} — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 MkW=sD_ — 一个虚拟屏位于焦平面 tE%g)hL- — 光束尺寸探测器置于焦平面 fz=8"cDR ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 MKbcJZe I<}% L
V A%#M#hD/ 'VVU-)(8 [4?r0vO 7. 光线追迹系统分析器的结果 B/X$ZQ0 $SQ$2\iC 光线经过整个光学系统的三维视图
b}TvQ+W]2 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
,X!) z Amm P'wo+Tn* A=kOSq 4Q ge`GQ> )4rt-_t< aEdA'> 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 1 b7jNkQ 4prJ!k Y. J!]|
■ VirtualLab可用于计算点列图。 7V%P
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 a~Dk@>+P>
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 }etdXO_^
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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:G>w MMv&z 9. 焦平面上的结果 t]I9[5Pq\
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 g} !{_z
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 9mxg$P4
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm t
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■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 1j<uFhi>
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 N.mRay, uxyj6( 10. 总结 Ma! ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 OxDqLX ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 Hc\C0V< ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 PVg<Ovi^d ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 LEM%B??&5z