关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 ri49r*_1
)BZ6QO`5n 1. 描述 GQYB2{e> ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 +&.39q! ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 NCVhWD21| ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 ++BQ==@
$49;\pBZl 2. 系统 0GQKM~|H Pu(kCH{ 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
SP4(yJy& 3. 透镜系统组件编辑 QzY5S0
UYGO|lkEU
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 2tS,q_-=
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 cA~bH 6
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 {6mFI1;q
■ 包括序列光学表面和光学介质。 B;t{IYhq{
!.7m4mKzo K/$5SN1 4. 光线追迹系统分析器-选项 lt%9Zgr[u Ue=1NnRDkA =WK's8FB;8
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 ,uZz?7mO
■ 可以选择选取光线的方法: S~B{G T\M
— 在x-y-网格 !T.yv5ge'
— 六边形 bQHJ}aCi
— 自由选取 OG^#e+
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 i<!1s%i} vV>=Uvm 5. 系统的3维视图 juMHc$d17 }x:}9iphF
b<BkI""b 6. 其他系统参数 " ,]A., ■ 系统由单色平面波照明 A",R2d ■ 照明波长266.08nm (R!`Z% ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: {*X|)nr — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 @DlN;r?Cv — 一个虚拟屏位于焦平面 <-HWs@8# — 光束尺寸探测器置于焦平面 n66b(6"mO2 ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 [jTZxH< ooj^Z%9P ootkf= 1n#{c5T mzcxq:uZ5 7. 光线追迹系统分析器的结果 Y r8gKhv W Fu65VLKh 光线经过整个光学系统的三维视图
T!|-dYYI 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
ygxaT"3"= Q7_#k66gb7 r|3<UR% twp~#s:\z RA}Y$ }^#' Ju_(,M-Vgr 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 \7Fp@ .S3 lN7YU-ygz \j0016;
■ VirtualLab可用于计算点列图。 zS `>65}e
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 O>IG7Ujl
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 wdRk+
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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)_K:A(V> 9. 焦平面上的结果 XXb,*u 3
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 <H|]^An!H
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 >ajcfG.k(
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm D;Y2yc[v
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 Kp[5"N8
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 H4BuxM_r GX N:= 10. 总结 1Ch0O__2L ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 qcfg 55]'c ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 ,1i l& ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 cLIeo{H ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 !lI1jb"