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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-10
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 G&@-R{i  
    X"k^89y$  
    1. 描述 Bzu(XQ  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 s`#ntset0  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 a*6wSAA )  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 7}d$*C  
    D(qHf9  
    2. 系统 bk7^%O>  
    f^!11/Wv  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    L{2b0Zh'  
    3. 透镜系统组件编辑 c>S"`r  
    @1<omsl  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 dv^e 9b|  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 t&R!5^R  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 +MNSZLP]  
    包括序列光学表面和光学介质。 5 6Sh  
    p*pn@z  
    0 OAqA?Z  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 |"CJ  
    _\,rX\  
    ;48P vw>g}  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 :3a&Pb*PL  
    可以选择选取光线的方法: ;'=VrE6  
    — 在x-y-网格 7.Ml9{M/i  
    — 六边形 r7Nu>[r5  
    — 自由选取 "JzfL(yt  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    ?CH?kP  
    # #k #q=4  
    5. 系统的3维视图 M'cJ)-G  
    _YH<YOrMh  
    -l-AToO4  
    6. 其他系统参数 FNz84qVIx'  
    系统由单色平面波照明 a3O nW\N  
    照明波长266.08nm jOBY&W0r  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: s.^c..e75C  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 Lzh9DYU6  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 @+?+6sS  
    光束尺寸探测器置于焦平面 gI)w^7Gi  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 $Hp.{jw  
    <TI3@9\qXE  
    Az U|p  
    L"[IOV9S  
    R(:  4s  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 IIq"e~"Vs  
    pNp^q/- yB  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    `]K,'i{R  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    RI (=HzB  
    YO)')&  
    xJvLuzUD  
    5Xwk*@t2a  
    r~)VGdB+  
    .r~'(g{qt  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 |.j^G2x  
     ;e&!  
    M$,Jg5Dc  
    VirtualLab可用于计算点列图。 C0zrXhY_v  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 5\VxXiy 0  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 >4Iv[ D1  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 _kh>Z  
    -{!&/;Z  
    9. 焦平面上的结果 m +Y@UgB  
    PPN q:,  
    (.PmDBW  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 h=hoV5d@  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 6yN" l Q7  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm -<O JqB  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 >/b^fAG  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    LlU' _}>  
    BApa^j\?  
    10. 总结 *7\W=-  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 e d_m +NM  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 8, =G1c  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 xYmdCf@H  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 l x7Kw%  
     
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