关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 {( Ba
~JB4s%& 1. 描述 'JJ : ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 JykN EMB# ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 J!H)[~2/ ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 8COGe=+o
(R!`Z% 2. 系统 {*X|)nr @DlN;r?Cv 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
D 1(9/;9 3. 透镜系统组件编辑 [ub)`-6 u
^39?@xc@
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 1%7zCM0s
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 c
LfPSA
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 [@0Hmd7
■ 包括序列光学表面和光学介质。 !*}E
c@$W]o"A *s?C\)x 4. 光线追迹系统分析器-选项 FLQ^J3A,I W,.Exh uCj)7>}v{M
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 wvH*<,8Vq
■ 可以选择选取光线的方法: k>#-NPU$
— 在x-y-网格 d6A+pa'2
— 六边形 |%j7Es
— 自由选取 &&Otj-n5
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 5oR) >~uKkQ_p 5. 系统的3维视图 *a`_,Q{x *7C l1o
~uuM0POo 6. 其他系统参数 |^O3~!JP(> ■ 系统由单色平面波照明 h YVy 65Ea ■ 照明波长266.08nm J74kK#uF= ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: T/q*k)IoR — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 C+0BV~7J<< — 一个虚拟屏位于焦平面 #^w8Y'{? — 光束尺寸探测器置于焦平面 T8Ye+eP} ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 o'ZW D\ P-|} -_f-j 2K2_- >n5Kz]]% 7. 光线追迹系统分析器的结果 aK8X,1g%) c/,B ? 光线经过整个光学系统的三维视图
1+Bj` ACP 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
l(~NpT{=V :D:J_{HJ dDqT#N?Y [-1Yyy1}
<#lNi.?. 2l +t- 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 U-#vssJhk v#9Uy}NJ9 `Wu.wx
■ VirtualLab可用于计算点列图。 8%;]]{(B
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 NZuylQ)0
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 #wF6Wx iG
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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s+a#x(7{ 9. 焦平面上的结果 2MDY nMy
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 HCa EETk5
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 "SV/'0
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm m!:sDQn{3
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 $wqi^q*)
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 t8Giv89{ 0;" >. 10. 总结 {?]&