关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 A D1=[I3
{$R' WXVs 1. 描述 J3n-`k8 ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 RLbKD> ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 ?YZ- P{rTS ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 :^kZ.6Q@
>sWp? 2. 系统 =bHD#o|R /lo2y?CS* 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
=&,]Z6{> 3. 透镜系统组件编辑 Zrvz;p@~
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■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 ~kZ G{
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 B?4boF?~
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 8ELCs<xI
■ 包括序列光学表面和光学介质。 ^
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@&1ZB6OCb: nHm}zOLc 4. 光线追迹系统分析器-选项 TNGU6j}oq H`0|tepz s (zL
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 jg.QRny^
■ 可以选择选取光线的方法: ig/%zA*Bo
— 在x-y-网格 <4P4u*/o
— 六边形 "J4WzA%i
— 自由选取 #)C[5?{SNq
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 *q()f\ cUA7#1\T= 5. 系统的3维视图 3wC' r
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;~D)~=|ZZ 6. 其他系统参数 8=gjY\Dp ■ 系统由单色平面波照明 r]b_@hT', ■ 照明波长266.08nm !t gi ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: LN@F+CyDc — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 DP3PYJ%+B — 一个虚拟屏位于焦平面 xO&eRy?% — 光束尺寸探测器置于焦平面 y~F,0"N\r ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 ;i<|9{; qYlhlHD go'-5in( Zo g']= )pq;*~IBI 7. 光线追迹系统分析器的结果 T[j#M+p <})2#sZO! 光线经过整个光学系统的三维视图
"x 3lQ 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
{=F/C,- c.>oe*+ X)7x<?DAy ~v6OsH%vx R}q>O5O Yy)tmq 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 qI~xlW
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■ VirtualLab可用于计算点列图。 4cl\^yD
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 ug+io mZ
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 tE]= cTSV
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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E0MGRI"me 9. 焦平面上的结果 a2
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 6~1|qEe6I
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 !f&Kf,#b`
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm D"ND+*Q[X
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 7z!tKs"TMT
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 h-Fn? rL+!tH 10. 总结 V3c l~ ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 3td)'} ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 ]>~)<
■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 XgLL!5` ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 ?34 e-