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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-10
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 tP! %(+V  
    Ojl X<y.  
    1. 描述 ZXb{-b?[`  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 sv% E5@  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 nrev!h  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 %zGv+H?  
    FNLS=4  
    2. 系统 z-gMk@l  
    *Xk5H,:  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    }gX hN"  
    3. 透镜系统组件编辑 sHBTB6)lx  
    &\6},JN  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 -( p%+`  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 3^ UoK  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 =Y|( }92  
    包括序列光学表面和光学介质。 e'$[PF  
    dcmf~+T  
    g4,ldr"D  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 M-h+'G  
    .E^w, o  
    <\$"U5"`  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 J'ce?_\?PY  
    可以选择选取光线的方法: VV1sadS:S`  
    — 在x-y-网格 %Jh( 5  
    — 六边形 M.y!J  
    — 自由选取 L%$ -?O|  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    B`R@%US  
    HM)D/CO,?  
    5. 系统的3维视图 w]qM  
    !?ZR_=Y%  
    O0'|\:my  
    6. 其他系统参数 r@r*|50  
    系统由单色平面波照明 Z_bVCe{  
    照明波长266.08nm UVl B=  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: gd#R7[AVi  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 &Cj~D$kDEu  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 1QA/ !2E  
    光束尺寸探测器置于焦平面 ly34aD/p~,  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 .F@Lx45  
    X(x,6cC  
    pm=O.)g4`  
    qgl-,3GY%N  
    iP9]b&  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 BQWg L  
    | WJ]7C  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    55.2UN  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    -E6av|c,F  
    ]8}2  
    u{=h%d/  
    NvIg,@}  
    /f?;,CyI  
    jEQ_#KKYJ  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 Ih5Y7<8b~  
    U3B&3K} ~  
    =/a`X[9vI  
    VirtualLab可用于计算点列图。 5|eX@?QF58  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 8i;drvf  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 N e{=KdzT  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 ]aMDx>OE  
    rz|Sjtq  
    9. 焦平面上的结果 8iD7K@  
    8wd["hga<%  
    B0yGr\KJ  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 _z%\53h  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 g&p(XuN  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm p@Os  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 H(n fHp.3  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    "Y^Fn,c  
    \ CcVk"/  
    10. 总结 )Rb t0   
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 -tWxB GSa@  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 Oz\J+  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 :tFc Pc'  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 UK^w;w2F  
     
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