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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-10
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 ghu8Eg,Y  
    $b=4_UroS  
    1. 描述 =i:6&Y~VGq  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 ;\[ el<Y)s  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 F^bzE5#  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 U#{^29ik=o  
    {u4=*> ?G  
    2. 系统 X \GB:#:X  
    %@9pn1,  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    n 0*a.  
    3. 透镜系统组件编辑 d|?'yX  
    C% )Xz  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 knU=#  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 ]BiLLDz(  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 tbr1mw'G  
    包括序列光学表面和光学介质。 f#3U,n8:  
    Yo$NE  
    n fU\l<  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 0-!K@#$>=  
    / Q8glLnM  
    P pF"n[j  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 43p0k&;-7  
    可以选择选取光线的方法: yu>DVD  
    — 在x-y-网格 sVjM^y24  
    — 六边形 UNB'Xjp}@  
    — 自由选取 M]JD(  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    f6d:5 X_  
    sMhUVc4  
    5. 系统的3维视图 TDtS^(2A7K  
    N-g=_86C"  
    q\fZ Q  
    6. 其他系统参数 ;E{k+vkqy  
    系统由单色平面波照明 !L)~*!+Gf  
    照明波长266.08nm lNw8eT~2  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: ZI8*PX%2  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 .7"]/9oB  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 SK @%r  
    光束尺寸探测器置于焦平面 cGVIO"(VP  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 vg6 ' ^5S7  
    qek[p_7  
    HpD<NVu  
    V&75n.L  
    ~H)s>6>#v  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 5[py{Gq  
    8LMO2Wyq  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    e{<r<]/j  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    0 kM4\E n  
    !Xzne_V<  
    q4~w D  
    [A.ix}3mm  
    !M&Qca2  
    os3jpFeG'  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 T|{1,wP  
    {vf"`#Q9  
    %FDv6peH  
    VirtualLab可用于计算点列图。 ^D=1%@l?#  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 {H5a.+-(bE  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 s?irT;=  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 "GTlJqhk  
    1zDat@<H  
    9. 焦平面上的结果 (zO)J`z>  
    +@ FM~q  
    U>,E]'  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 e;kH,fHUI3  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 %)|pUa&  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm 8-2e4^ g(  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 w4m)lQM  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    "\x<Zg;  
    E,/<;  
    10. 总结 >+ P5Zm(_  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 / X #4  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 FKX+ z  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 Ju"* ;/  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 T;f`ND2fY  
     
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