关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 D4YT33$tC
F]dmc,Q 1. 描述
4WBoZJ ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 ,U} 5 ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 5$(b3] ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 H24ate?t,
(h'$3~ 2. 系统 "<g?x`iz gPA>*;?E;@ 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
uIVTs9\ 3. 透镜系统组件编辑 '@3a,pl
Q6s5#7h'"
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 E@\d<c.
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 Z7mGC`>
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 Mp DdJ,
■ 包括序列光学表面和光学介质。
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YUP%K!k wfU&{7yt 4. 光线追迹系统分析器-选项 q9g[+*9]$ \E ? iw.} I8pv:>EhC
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 R-2FNl
■ 可以选择选取光线的方法: vUodp#s
— 在x-y-网格 ?
bUpK
— 六边形 i+qLc6|S=2
— 自由选取 S4aHce5PXA
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 Bsih<`KF^ 3<~2"@J 5. 系统的3维视图 5;sQ@ jx5[bUp4u
/I`bh 6. 其他系统参数 !?us[f=g% ■ 系统由单色平面波照明 o\=i0HR9 ■ 照明波长266.08nm .5#tB*H ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: `lV — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 8f6;y1!; — 一个虚拟屏位于焦平面 U||w6:W5 — 光束尺寸探测器置于焦平面 c],frhmyd ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 !txELA~24 w50Bq&/jX &ttv4BC^r nDoiG#N0 95gsv\2 7. 光线追迹系统分析器的结果 "JQt#[9l '%]@a7w 光线经过整个光学系统的三维视图
Aa\=7 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
bN7 UO KWn1 %oGJ ;([tf; >`rNT|rg +~i+k~{`H hB GGs 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 _WjETyh
[H /i~^LITH kT }'"
■ VirtualLab可用于计算点列图。 _c(C;s3o
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 s2kZZP8-
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 Rm\'];
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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X\$W'^ np 9. 焦平面上的结果 &8_#hne_
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 ,O&PLr8cJ?
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 ]Re~V{uh
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm C +?@iMh
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 mP$G9R
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 x 1x j\O 3}#XA+Z 10. 总结
\#+2;L ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 :2UC{_ ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 Pq J* ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 3!oQmG_T ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 :@@A