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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-10
    关键词：光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸 IzsphBI  
     %JXE5l+pJ  
    1. 描述 J!0DR4=Xi  
    ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 TFH\K{DM  
    ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 9)}[7Mg:C  
    ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 Id'X*U7Q  
     Qc gRAo+u  
    2. 系统 F5?m6`g?  
    }'""(,2  
    文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    "^4_@ oo  
    3. 透镜系统组件编辑 qC}-_u7s  
    t0o`-d(  
    ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。 21 O'M  
    ■ 透镜系统是由序列光学表面（OIS）定义的。 )\_:{c  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 X*M#FT-  
    ■ 包括序列光学表面和光学介质。 &0='r;*i  
     d`P7}*; `  
    d\p,2  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 &S( .GdEf  
    i;NUAmx  
    2r!s*b\Ix  
    ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 B-.gI4xa  
    ■ 可以选择选取光线的方法： 4#ug]X4Y')  
    — 在x-y-网格 n1~o1  
    — 六边形 3 DDML,  
    — 自由选取 hJn%mdx~w|  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。     x$IX5:E#e  
    d{XO/YQw  
    5. 系统的3维视图 #cnq(S=.  
    &QDW9 Mi  
    [onGNq?#  
    6. 其他系统参数 (5R?#vj  
    ■ 系统由单色平面波照明 JQ,1D`?.a  
    ■ 照明波长266.08nm q[HTnx  
    ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能： S/^"@?z,vE  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 >H'4{|  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 e?opkq\f  
    — 光束尺寸探测器置于焦平面 'XZ) !1N  
    ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 2W/?q!t  
    @\0Eu212  
    '`eO\huf  
    jqv-D  
    oX0D  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 ]3VI|f$$  
    7bk%mQk  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    )#.<]&P}  
    光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
    K@#(*."  
    odPL {XFj  
    Fb^:V4<T  
    V>ieh2G(  
    +)j$|x~(A  
    VCn{mp*h  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 {P{bOe  
    0Uz\H0T1  
    +w.JpbQ&  
    ■ VirtualLab可用于计算点列图。 L1i eaKw  
    ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 NbC@z9Q  
    ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 Z0o~+Ct$  
    ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 .Jt[(;  
     kB'Fkqwm  
    9. 焦平面上的结果 "Jt.lL ]5  
    iTag+G4*  
    QS{1CC9$  
    ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 tcLnN:  
    ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。 D+]a.& {p  
    ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm /[Z,MG  
    ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。 dZi(&s  
    ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。     c3:,Ab|  
    :lB=L r)  
    10. 总结 G`\f  
    ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 0TGLM#{  
    ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。 >p.O0G gg  
    ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 #$c Rkw  
    ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。 YN`H BFH  
     
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