关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 ghu8Eg,Y
$b=4_UroS 1. 描述 =i:6&Y~VGq ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 ;\[el<Y)s ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 F^bzE5# ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 U#{^29ik=o
{u4=*>?G 2. 系统 X
\GB:#:X %@9pn1, 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
n0*a. 3. 透镜系统组件编辑 d|?'yX
C%)Xz
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 knU=#
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 ]BiLLDz(
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 tbr1mw'G
■ 包括序列光学表面和光学介质。 f#3U,n8:
Y o$NE n fU\l< 4. 光线追迹系统分析器-选项 0-!K@#$>= /Q8glLnM PpF"n[j
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 43p0k&;-7
■ 可以选择选取光线的方法: yu>DVD
— 在x-y-网格 sVjM^y24
— 六边形 UNB'Xjp}@
— 自由选取 M]JD(
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 f6d:5
X_
sMhUVc4 5. 系统的3维视图 TDtS^(2A7K N-g=_86C"
q\f Z Q 6. 其他系统参数 ;E{k+vkqy ■ 系统由单色平面波照明 !L)~*!+Gf ■ 照明波长266.08nm lNw8eT~2 ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: ZI8*PX%2 — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 .7"]/9oB — 一个虚拟屏位于焦平面 SK@%r — 光束尺寸探测器置于焦平面 cGVIO"(VP ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 vg6'^5S7 qek[p_7 HpD<NVu V&75n.L ~H)s>6>#v 7. 光线追迹系统分析器的结果 5[py{Gq 8LMO2Wyq 光线经过整个光学系统的三维视图
e{<r<]/j 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
0 kM4\En !Xzne_V< q4~w
D [A.ix}3mm !M&Qca2 os3jpFeG' 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 T|{1,wP { vf"`#Q9 %FDv6peH
■ VirtualLab可用于计算点列图。 ^D=1%@l?#
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 {H5a.+-(bE
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 s?irT;=
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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1zDat@<H 9. 焦平面上的结果 (zO)J`z>
+@ FM~q
U>,E]'
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 e;kH,fHUI3
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 %)|pUa&
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm 8-2e4^
g(
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 w4m)lQM
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 "\x<Zg; E,/<; 10. 总结 >+P5Zm(_ ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 / X
#4 ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 FKX+
z ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 Ju"*;/ ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 T;f`ND2fY