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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-10
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 zhvk%Y:  
    d`],l\o C  
    1. 描述 J%O4IcE  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 a a Y Q<  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 { d2f)ra.  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 b\|p  
    WJh;p: q[  
    2. 系统 <sWcS; x  
    f w>Gx9  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    %_@5_S  
    3. 透镜系统组件编辑 ao" ;5 m  
    fe9& V2Uu  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 v`ZusHJ1d  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 6_ &6'Vq  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 k\thEEVP0*  
    包括序列光学表面和光学介质。 Xx<&6 4W  
    RnBmy^l"  
    F6GZZKj  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 uSQ>oi]  
    \F+o=  
    QVRokI`BF  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 "KI,3g _V  
    可以选择选取光线的方法: G$kwc F'C  
    — 在x-y-网格 $I6eHjYT  
    — 六边形 46?F+,Rzl  
    — 自由选取 I&NpN~AU  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    ZYD88kQ  
    7D~O/#dcc  
    5. 系统的3维视图 Rd1ku=  
    %d#)({N  
    5NvyK[w]  
    6. 其他系统参数 uj1E* 98m  
    系统由单色平面波照明 1 GHgwT  
    照明波长266.08nm QKaj4?p$|S  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: #m$%S%s  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 *=If1qZs  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 [11-`v0  
    光束尺寸探测器置于焦平面 8OtUY}R  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 '%RK KA  
    56 kgL;$h  
    aE cg_es  
    AW;) _|xM  
    sv6U%qV  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 HXV73rDA  
    "oXAIfU#T  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    H|:)K^o  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    NlEWm8u   
    j}.J$RtW1f  
    H!>oLui  
    PXu<4VF  
    GGL4<P7  
    t7+Ic  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 l}-`E@w  
    =bg&CZV T  
    ?_j6})2zY  
    VirtualLab可用于计算点列图。 sCCr%r]zL  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 Y6%OV?}v!  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 H1j6.i}q  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 }=m?gF%3  
    W#_gvW  
    9. 焦平面上的结果 }_/h~D9-T#  
    UpseU8Wo  
    P:-/3  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 x&/Syb  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 +Y]*>afG  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm V;]VwsZ"  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 e27CbA{_w  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    8Y~T$Yj^  
    UVmyOC[Y{  
    10. 总结 )hJjVitG  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 DSZhl-uGM  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 Afhx`J1KO  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 la|l9N^,  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 >8;%F<o2  
     
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