关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 IzsphBI
%JXE5l+pJ 1. 描述 J!0DR4=Xi ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 TFH \K{DM ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 9)}[7Mg:C ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 Id'X*U7Q
QcgRAo+u 2. 系统 F5?m6`g? }'""(,2 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
"^4_@ oo 3. 透镜系统组件编辑 qC}-_u7s
t0o`-d(
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 21
O'M
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 )\_:{ c
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 X*M#FT-
■ 包括序列光学表面和光学介质。 &0='r;*i
d`P7}*;` d\p,2 4. 光线追迹系统分析器-选项 &S( .GdEf i;NUAmx 2r!s*b\Ix
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 B-.gI4xa
■ 可以选择选取光线的方法: 4#ug]X4Y')
— 在x-y-网格 n1~o1
— 六边形 3 DD ML,
— 自由选取 hJn%mdx~w|
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 x$IX5:E#e d{XO/YQw 5. 系统的3维视图 #cnq(S=. &QDW9
Mi
[onGNq?# 6. 其他系统参数 (5R?#vj ■ 系统由单色平面波照明 JQ,1D`?.a ■ 照明波长266.08nm q[HTnx ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: S/^"@?z,vE — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 >H'4{| — 一个虚拟屏位于焦平面 e?opkq\f — 光束尺寸探测器置于焦平面 'XZ)!1N ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 2W/?q!t @\0Eu212 '`eO\huf jqv- D oX0 D 7. 光线追迹系统分析器的结果 ]3VI|f$$ 7bk%mQk 光线经过整个光学系统的三维视图
)#.<]&P } 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
K@#(*." odPL{XFj Fb^:V4<T V>ieh2G( +)j$|x~(A VCn{mp*h 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 {P{bOe 0Uz\H0T1 +w.JpbQ&
■ VirtualLab可用于计算点列图。 L1ieaKw
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 NbC@z9Q
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 Z0 o~+Ct$
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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kB'Fkqwm 9. 焦平面上的结果 "Jt.lL ]5
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 tcLnN:
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 D+]a.& {p
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm /[Z,MG
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 dZi(&s
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 c3:,Ab| :lB=Lr) 10. 总结 G`\f ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 0TGLM#{ ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 >p.O0G
gg ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 #$c Rkw ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 YN`H
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