关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 zhvk%Y:
d`],l\oC 1. 描述 J%O4IcE ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 aa YQ< ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 { d2f)ra. ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 b\|p
WJh;p: q[ 2. 系统 <sWcS; x f w>Gx9 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
%_@5_S 3. 透镜系统组件编辑 ao";5m
fe9& V2Uu
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 v`ZusHJ1d
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 6_&6'Vq
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 k\thEEVP0*
■ 包括序列光学表面和光学介质。 Xx<&6
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RnBmy^l" F6GZZKj 4. 光线追迹系统分析器-选项 uSQ>oi] \F+o= QVRokI`BF
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 "KI,3g _V
■ 可以选择选取光线的方法: G$kwc
F'C
— 在x-y-网格 $I6eHjYT
— 六边形 46?F+,Rzl
— 自由选取 I&NpN~AU
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
ZYD88kQ 7D~O/#dcc 5. 系统的3维视图 Rd1ku= %d#)({N
5NvyK[w] 6. 其他系统参数 uj1E*
98m ■ 系统由单色平面波照明 1
GHgwT ■ 照明波长266.08nm QKaj4?p$|S ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: #m$% S%s — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 *=If1qZs — 一个虚拟屏位于焦平面 [11-`v0 — 光束尺寸探测器置于焦平面 8OtUY}R ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 '%RK KA 56
kgL;$h aE cg_es AW;)_|xM sv6U%qV 7. 光线追迹系统分析器的结果 HXV73rDA "oXAIfU#T 光线经过整个光学系统的三维视图
H|:)K^o 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
NlEWm8u j}.J$RtW1f H!>oLui PXu<4VF GGL4<P7 t7+Ic 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 l}-`E@w =bg&CZVT ?_j6})2zY
■ VirtualLab可用于计算点列图。 sCCr%r]zL
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 Y6%OV?}v!
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 H1j6.i}q
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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W#_gvW 9. 焦平面上的结果 }_/h~D9-T#
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P:-/3
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 x&/Syb
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 +Y]*>afG
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm V;]VwsZ"
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 e27CbA{_w
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 8Y~T$Yj^ UVmyOC[Y{ 10. 总结 )hJjVitG ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 DSZhl-uGM ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 Afhx`J1KO ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 la|l9N^, ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 >8;%F<o2