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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-10
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 D4YT33$tC  
    F] dmc,Q  
    1. 描述 4WBo ZJ  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 ,U} 5  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 5$ (b3]  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 H24ate?t,  
    (h'$3~  
    2. 系统 "<g?x`iz  
    gPA>*;?E;@  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    uIVTs9\  
    3. 透镜系统组件编辑 '@3a,pl  
    Q6s5#7h'"  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 E@\d<c.  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 Z7m GC`>  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 Mp DdJ,  
    包括序列光学表面和光学介质。 f4A4  
    YUP%K!k  
    wfU&{7yt  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 q9g[+*9]$  
    \E ? iw.}  
    I8pv:>EhC  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 R-2FNl  
    可以选择选取光线的方法: vUodp#s  
    — 在x-y-网格 ? bUpK  
    — 六边形 i+qLc6|S=2  
    — 自由选取 S4aHce5PXA  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    Bsih<`KF^  
    3<~2"@J  
    5. 系统的3维视图 5;sQ@  
    jx5[bUp4u  
    /I`bh  
    6. 其他系统参数 !?us[f=g%  
    系统由单色平面波照明 o\=i0HR9  
    照明波长266.08nm .5#tB*H  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: `lV  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 8f6;y1!;  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 U||w6:W5  
    光束尺寸探测器置于焦平面 c],frhmyd  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 !txELA~24  
    w50Bq&/jX  
    &ttv4BC^r  
    nDoiG#N0  
    95gsv\2  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 "JQt#[9l  
    '%]@a7w  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    Aa\=7  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    bN7UO  
    KWn1%oGJ  
    ;([tf;  
    >`rNT|rg  
    +~i+k~{`H  
    hB GGs  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 _WjETyh [H  
    /i~^LITH  
    kT } '"  
    VirtualLab可用于计算点列图。 _ c(C;s3o  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 s2kZZP8-  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 Rm\ '];  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 ,Q /nS$  
    X\$W'^np  
    9. 焦平面上的结果 &8_#hne_  
    ,p/b$d1p  
    l SVW}t  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 ,O&PLr8cJ?  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 ]Re~V{uh  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm C +?@iMh  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 mP$G9R  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    x 1xj\O  
    3}#XA+Z  
    10. 总结  \#+2;L  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 :2UC{_  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 PqJ*   
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 3!oQmG_T  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 :@@A  
     
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