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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-10
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 {(Ba  
    ~JB4s%&  
    1. 描述 'JJ :  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 JykNEMB#  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 J!H)[~2/  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 8COGe=+o  
    (R!`Z%  
    2. 系统 {*X|)nr  
    @DlN;r ?Cv  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    D 1(9/;9  
    3. 透镜系统组件编辑 [ub)`-6 u  
    ^39 ?@xc@  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 1%7zCM0s  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 c LfPSA  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 [@0Hmd7  
    包括序列光学表面和光学介质。 !*}E  
    c@$W]o"A  
    *s?C\)x  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 FLQ^J3A,I  
    W,.Exh  
    uCj)7>}v{M  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 wvH*<,8V q  
    可以选择选取光线的方法: k>#-NPU$  
    — 在x-y-网格 d6A+pa'2  
    — 六边形 |%j7Es  
    — 自由选取 &&Otj-n5  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    5oR)  
    >~uKkQ_p  
    5. 系统的3维视图 *a` _,Q{x  
    *7C l1o  
    ~uuM0POo  
    6. 其他系统参数 |^O3~!JP(>  
    系统由单色平面波照明 hYVy65Ea  
    照明波长266.08nm J74kK#uF=  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: T/q*k)IoR  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 C+0BV~7J<<  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 #^w8Y'{?  
    光束尺寸探测器置于焦平面 T8Ye+eP}  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 o 'Z W  
    D\  P-|}  
    -_f-j  
    2K2_-  
    >n5Kz]]%  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 aK8X,1g%)  
    c/,B?  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    1+Bj` ACP  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    l(~NpT{=V  
    :D:J_{HJ  
    dDqT#N?Y  
    [-1Yyy1}  
    <#lNi.?.  
    2l+t-  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 U-#vssJhk  
    v#9Uy}NJ9  
    `W u.wx  
    VirtualLab可用于计算点列图。 8%;]]{(B  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 NZuylQ)0  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 #wF6WxiG  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 3MoVIf1  
    s+a#x(7{  
    9. 焦平面上的结果 2MDY nMy  
    e_llW(*l8^  
    5- "aK~@+  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 HCaEETk5  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 "SV/'0  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm m!:sDQn{3  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 $wqi^q*)  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    t8Giv89{  
    0;"  >.  
    10. 总结 { ?]&P  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 l6-%)6u>  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 l8d }g  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 @*JS[w$1  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 I0OfK3!^  
     
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