关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 tP! %(+V
OjlX<y. 1. 描述 ZXb{-b?[` ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 sv%E5@ ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 nrev!h ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 %zGv+H?
FNLS=4 2. 系统 z-gMk@l *Xk5H,: 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
}gXhN" 3. 透镜系统组件编辑 sHBTB6)lx
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■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 -(
p%+`
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 3^
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■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 =Y|( }92
■ 包括序列光学表面和光学介质。 e'$[PF
dcmf~+T g4,ldr"D 4. 光线追迹系统分析器-选项 M-h+'G .E^w, o <\$"U5"`
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 J'ce?_\?PY
■ 可以选择选取光线的方法: VV1sadS:S`
— 在x-y-网格 %Jh(5
— 六边形 M.y!J
— 自由选取 L%$-?O|
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 B`R@%US HM)D/CO,? 5. 系统的3维视图 w]qM
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O0'|\:my 6. 其他系统参数 r@r*|50 ■ 系统由单色平面波照明 Z_bVCe{ ■ 照明波长266.08nm UVlB= ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: gd#R7[AVi — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 &Cj~D$kDEu — 一个虚拟屏位于焦平面 1QA/ !2E — 光束尺寸探测器置于焦平面 ly34aD/p~, ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 .F@Lx45 X(x,6cC pm=O.)g4` qgl-,3GY%N iP9]b& 7. 光线追迹系统分析器的结果 BQWgL | WJ]7C 光线经过整个光学系统的三维视图
55.2UN 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
-E6av|c,F ]8 }2 u{=h%d/ NvIg,@} /f?;,CyI jEQ_#KKYJ 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 Ih5Y7<8b~ U3B&3K} ~ =/a`X[9vI
■ VirtualLab可用于计算点列图。 5|eX@?QF58
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 8i;drvf
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 N
e{=KdzT
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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rz|Sjtq 9. 焦平面上的结果 8iD7K@
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B0yGr\KJ
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 _z%\53h
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 g&p(XuN
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm p@Os
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 H(n
fHp.3
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 "Y^Fn,c \ CcVk"/ 10. 总结 )Rbt0 ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 -tWxBGSa@ ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 Oz\J+ ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 :tFcPc' ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 UK^w;w2F