切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • 704阅读
    • 0回复

    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

    上一主题 下一主题
    离线infotek
     
    发帖
    6441
    光币
    26350
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-10
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 6nE/8m  
    I}o} # OJ  
    1. 描述 Yq51+\d  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 +D4m@O  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 P (7Q8i'  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 a%U#PF6   
    zSD_t  
    2. 系统 !~%DR~^`  
    &n_f.oUc  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    ,g}$u'A+d  
    3. 透镜系统组件编辑 o+x! (  
    M^8zqAA  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 |n tWMm:(  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 <yX  u!  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 8@LWg d  
    包括序列光学表面和光学介质。 9O-~Ws ;  
    C7vBa<a  
    EATVce]T  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 #k)z5vZ$h  
    R_g(6l"3R^  
     )sdHJ  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 v X6JjE!  
    可以选择选取光线的方法: Ri`6X_xU  
    — 在x-y-网格 4t }wMOR  
    — 六边形 hx;kNcPbI  
    — 自由选取 ;Wy03}K4J  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    "5k 6FV  
    kiN,N]-V  
    5. 系统的3维视图 7?uDh'utt  
    (!5Pl`:j"  
    fU ;H  
    6. 其他系统参数 ,q#SAZ/N  
    系统由单色平面波照明 7<)  
    照明波长266.08nm @{fwM;me]P  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: '{.4~:  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 R\&z3<-S  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 BI-'&kPk  
    光束尺寸探测器置于焦平面 Q <D_QJ  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 +FadOx7X$  
    b:~#;$g  
    K n1;=k  
    f&^"[S"\f  
    ({C[RsY=6  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 ?yj g\S?L  
    @J 5TDq @  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    Dzu//_u  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    @|t]9  
    8N"WKBj|_d  
    =8tK]lb  
    1,OkuyXy!>  
    R+K|K2"  
    gfIS  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 YuVlD/  
    :/5G Hfyj  
    ]R}(CaT1  
    VirtualLab可用于计算点列图。 }AB_i'C0  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 DBaZcO(U  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 uK(]@H7~!c  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 %{rb,6  
    $)KODI>|  
    9. 焦平面上的结果 wy:Gy9\  
    sm{0o$\Z  
    %f("3!#H  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 ;P juO  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 z^tzP~nI  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm 6A.%)whI;  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 ]ke9ipj]:  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    U*yOe*>  
    .s4v*bng  
    10. 总结 V0 Z8VqV  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 n^|xp;] :  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 (gVN<Es  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 )hQ]>o@i{  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 d*6/1vyjT  
     
    分享到