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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-10
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 V.}U p+WL  
    TQ FD  
    1. 描述 ^?,/_3  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 e_e|t>nQ  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 ' x|B'  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 RV~w+%f  
    XyhdsH5%3!  
    2. 系统 J_tJj8  
    &c'unKH  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    Y,9("'bo  
    3. 透镜系统组件编辑 > 2$M~to"1  
    &p*N8S8  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 [Gu]p&  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 (jXgJ" m  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 SU:Cm: $  
    包括序列光学表面和光学介质。 |h;MA,qva  
    F4@h} T5)  
    umj7-fh  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 Yq.Omr!  
    nBQG.3  
    ~ohW9Z1  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 A ="h}9ok  
    可以选择选取光线的方法: >q}EZC  
    — 在x-y-网格 <I} k%q'  
    — 六边形 $0WAhq  
    — 自由选取 9yQ[*  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    sUA)I%Q!  
    ms~ mg:  
    5. 系统的3维视图 7oUYRqd  
    lA{Sr0f TP  
    o] = &  
    6. 其他系统参数 H|Eu,eq-E  
    系统由单色平面波照明 F3?v&  
    照明波长266.08nm OyVp 3O  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: he/FtkU  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 {8E hC/=  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 Ly3^zF W  
    光束尺寸探测器置于焦平面 7;Wj ^#  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 %H:!/'45  
    X)Kd'6zg  
    ' e-FJ')|  
    >Z/,DIn,I  
    M6?*\ 9E  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 _m@QeO'yh  
    (fq>P1-  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    pbu8Ib8z  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    ?g!py[CrE  
    *.20YruU;j  
    B4I|"5G2y  
    x3]es"4Q  
    7Rq;V=2YV  
    BK,= (;d3  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 )t =Cj?5  
    A|jaWZM-  
    RXh/[t+  
    VirtualLab可用于计算点列图。 R}*e%EG/  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 afH`<!  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 55fV\3F|R  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 Riw#+#r]/  
    W0X?"Ms|a  
    9. 焦平面上的结果 MOdodyG  
    faThXq8B  
    \9!W^i[+  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 m"NZ;*d'  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 ><dSwwu  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm OLlNCb#t  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 <kt,aMw[*  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    z6$W@-Vd  
    ?-Fp rC  
    10. 总结 ]7Tjt A.\q  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 K t9:V,  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 JZ'`.yK:  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 9)'L,Xt4:T  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 &ciU`//`  
     
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