关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 V.}U p+WL
TQFD 1. 描述 ^?,/_ 3 ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 e_e|t>nQ ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 '
x|B' ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 RV~w+%f
XyhdsH5%3! 2. 系统 J_tJj8 &c'unKH 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
Y,9("'bo 3. 透镜系统组件编辑 >2$M~to"1
&p*N8S8
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 [Gu]p&
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 (jXgJ" m
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 SU:Cm:$
■ 包括序列光学表面和光学介质。 |h;MA,qva
F4@h}T5) umj7-fh 4. 光线追迹系统分析器-选项 Yq.Omr! nBQG.3 ~ohW9Z1
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 A="h}9ok
■ 可以选择选取光线的方法: >q}EZC
— 在x-y-网格 <I}k%q'
— 六边形 $0WAhq
— 自由选取 9yQ[ *
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 sUA)I%Q! ms~ mg: 5. 系统的3维视图 7oUYRqd lA{Sr0fTP
o]
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& 6. 其他系统参数 H|Eu,eq-E ■ 系统由单色平面波照明 F3?v& ■ 照明波长266.08nm OyVp 3O ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: he/FtkU — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 {8E
hC/= — 一个虚拟屏位于焦平面 Ly3^zFW — 光束尺寸探测器置于焦平面 7;Wj ^# ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 %H:!/'45 X)Kd'6zg ' e-FJ')| >Z/,DIn,I M6?* \9E 7. 光线追迹系统分析器的结果 _m@QeO'yh (fq>P1- 光线经过整个光学系统的三维视图
pbu 8Ib8z 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
?g!py[CrE *.20YruU;j B4I|"5G2y x3]es"4Q 7Rq;V=2YV BK,=(;d3 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 )t=Cj?5 A|jaWZM- RXh/[t+
■ VirtualLab可用于计算点列图。 R}*e% EG/
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 afH`<!
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 55fV\3F|R
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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W0X?"Ms|a 9. 焦平面上的结果 MOdodyG
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 m"NZ; *d '
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 ><dSwwu
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm OLlNCb#t
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 <kt,aMw[*
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 z6$W@-Vd ?-Fp rC 10. 总结 ]7Tjt A.\q ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
Kt9:V, ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 JZ'`.yK: ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 9)'L,Xt4:T ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 &ciU`//`