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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-10
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 ^<I(  
    J1w;m/oV  
    1. 描述 (7 I|lf e  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 QiK>]xJ'  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 WzIUHNn'I  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 {>>X3I  
    65EMB%  
    2. 系统 p2vN=[g9)  
    :So<N}&  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    xo>0j#  
    3. 透镜系统组件编辑 C- .;m  
    O8]e(i  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 F!+1w(b:  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 '*J+mZtN  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 Ss[[V(-  
    包括序列光学表面和光学介质。 z8\YMr 6o  
    nFnM9 pdMK  
    (Pc>D';{S  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 +x]/W|5  
    :=Olp;+_  
    2<D| {  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 ,s8/6n#  
    可以选择选取光线的方法: 10S I&O  
    — 在x-y-网格 erH,EE^-x<  
    — 六边形 Y'U1=w~E  
    — 自由选取 q G%Y& P  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    1wFu3fh@  
    l5 9a3=q  
    5. 系统的3维视图 yE}\4_0I/  
    a?[[F{X9^  
    ] Q5:JV  
    6. 其他系统参数 25>R^2,LiE  
    系统由单色平面波照明 $1yy;IyR  
    照明波长266.08nm ;Y7' U rn  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: *Fy6 -CC1  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 VbX P7bZ  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 sT^R0Q'>  
    光束尺寸探测器置于焦平面 JK$3qUDnI  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 8$IKQNS  
    L FWp}#%  
    :>FN|fz  
    EGXvz)y  
    2Q6;SF"Z  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 ng}C$d . I  
    $qD\ku;'  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    [)"\Aq  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    =gVMt  
    #,#`< h!  
    ZJDV'mC}  
    g5y+F]'I  
    +|/0sPW(  
    0 qS/>u*  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 Ci`o;KVj  
    n0KpKH<&  
    UarLxPQ  
    VirtualLab可用于计算点列图。 |Y3w6!$  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 *w0!C:mL&  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 VrIN.x  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 ]0UYxv%]  
    JSL&` `  
    9. 焦平面上的结果 '{ <RX  
    WARiw[  
    /a\i  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 w)7y{ya$  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 7 yE\,  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm 6kAAdy}ck  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 a2P)@R  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    UFj H8jSBx  
    +La2-I  
    10. 总结 _=HaE&  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 #D9.A7fCc5  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 pX &bX_F{  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 MT!Y!*-5  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 riW9l6s'  
     
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