关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 ^<I(
J1w;m/oV 1. 描述 (7 I|lf
e ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 QiK>]xJ' ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 WzIUHNn'I ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 {>>X3I
65EMB% 2. 系统 p2vN=[g9) :So<N}& 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
xo>0j# 3. 透镜系统组件编辑 C- .;m
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■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 F!+1w(b:
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 '*J+mZt N
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 Ss[[V(-
■ 包括序列光学表面和光学介质。 z8\YMr6o
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pdMK (Pc>D';{S 4. 光线追迹系统分析器-选项 +x]/W|5 :=Olp;+_ 2<D| {
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 ,s8/6n#
■ 可以选择选取光线的方法: 10SI&O
— 在x-y-网格 erH,EE^-x<
— 六边形 Y'U1=w~E
— 自由选取 q
G%Y & P
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 1wFu3fh@ l5 9a3=q 5. 系统的3维视图 yE}\4_0I/ a?[[F{X9^
] Q5:JV 6. 其他系统参数 25>R^2,LiE ■ 系统由单色平面波照明 $1yy;IyR ■ 照明波长266.08nm ;Y7'U rn ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: *Fy6-CC1 — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 VbX P7bZ — 一个虚拟屏位于焦平面 sT^R0Q'> — 光束尺寸探测器置于焦平面 JK$3qUDnI ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 8$IKQNS L
FWp}#% :>FN|fz EGXvz)y 2Q6;SF"Z 7. 光线追迹系统分析器的结果 ng}C$d . I $qD\ku;' 光线经过整个光学系统的三维视图
[)"\Aq 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
=gVMt #,#`<h! ZJDV'mC} g5y+F]'I +|/0sPW( 0qS/>u* 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 Ci`o;KVj n0KpKH<& UarLxPQ
■ VirtualLab可用于计算点列图。 |Y3w6 !$
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 *w0!C:mL&
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 VrIN.x
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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` 9. 焦平面上的结果 '{
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 w)7y{ya$
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 7yE\,
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm 6kAAdy}ck
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 a2P)@R
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 UFj H8jSBx +La2-I 10. 总结 _=HaE&
■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 #D9.A7fCc5 ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 pX&bX_F{ ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 MT!Y!*-5
■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 riW9l6s'