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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-10
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 {!K-E9_,S  
    l $jxLZ  
    1. 描述 2d {y M(=(  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 DmBS0NyR7Y  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。  aKd+CO:  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 Y"6w,_'m  
    yH<$k^0r*  
    2. 系统 Zb134b'  
    x $zKzfHW  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    L:k9# 6  
    3. 透镜系统组件编辑 F1Hh7 F  
    Kmdlf,[3d  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 vQa'S-@u  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 bug Ot7  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 VT.;:Q  
    包括序列光学表面和光学介质。 AT\qiznvP  
    W.1As{  
    _%x4ty  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 &V<W>Y>|l*  
    A;O~#Chvd  
    Cua%1]"4w  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 U7DCx=B  
    可以选择选取光线的方法: fI7j):h;  
    — 在x-y-网格 XJ0oS32_wK  
    — 六边形 \xUe/=  
    — 自由选取 <uc1D/~^:  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    ej O}t:}P  
    @YH+c G|  
    5. 系统的3维视图 ZJjTzEV%^B  
    ?9X&tK)E-  
    S i nl  
    6. 其他系统参数 6y5A"-  
    系统由单色平面波照明 pW]4bx@E  
    照明波长266.08nm tL+OCLF;  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: %,iIpYx  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 5c;h &  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 (?*BB3b`  
    光束尺寸探测器置于焦平面 a@pz*e  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 \)48904^  
    ?~QIALA  
    _NcY I  
    ]O:N-Y  
    i0s6aAhgJ  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 JNFIT;L  
    +]@Az.E  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    iHp\o=#  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    =5s F"L;b  
    pfd#N[c  
    A`u$A9[  
    T`9-VX;`  
    (.Lrmf@hI7  
    =q"eU=9  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 c:l]=O   
    2Nj9U#A  
    poJg"R4  
    VirtualLab可用于计算点列图。 vLO&Lpv  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 M]-VHI[&W  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 mga6[E<  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 ;p ]y)3  
    \NqEw@91B  
    9. 焦平面上的结果 pX=,iOF[I  
    3qQUpm+  
    $iM=4 3W  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 L;QY<b  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 T#O??3/%$1  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm SLhEc  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 AA:no=  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    ,5|d3dJS  
    lr2 rQo >  
    10. 总结 @+_&Y]  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 (XH2Sy  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 WjMS5^ _  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 uvA(Rn  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 s~},y]YV  
     
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