关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 {!K-E9_,S
l$jxLZ 1. 描述 2d {y M(=( ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 DmBS0NyR7Y ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 aKd+CO: ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 Y"6w,_'m
yH<$k^0r* 2. 系统 Zb134b' x
$zKzfHW 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
L:k9#6 3. 透镜系统组件编辑 F1Hh7
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Kmdlf,[3d
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 vQa'S-@u
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 bug
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■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 VT.;:Q
■ 包括序列光学表面和光学介质。 AT\qiznvP
W.1As{ _ %x4ty 4. 光线追迹系统分析器-选项 &V<W>Y>|l* A;O~#Chvd Cua%1]"4w
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 U7DCx=B
■ 可以选择选取光线的方法: fI7j):h;
— 在x-y-网格 XJ0oS32_wK
— 六边形 \xUe/=
— 自由选取 <uc1D/~^:
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 ejO}t:}P @YH+cG| 5. 系统的3维视图 ZJjTzEV%^B ?9X&tK)E-
S inl 6. 其他系统参数 6y5A"- ■ 系统由单色平面波照明 pW]4bx@E ■ 照明波长266.08nm tL+OCLF; ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: %,iIpYx — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 5c;h& — 一个虚拟屏位于焦平面 (?*BB3b` — 光束尺寸探测器置于焦平面 a@pz*e ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 \)48904^ ?~QIALA _NcYI ]O:N-Y i0s6aAhgJ 7. 光线追迹系统分析器的结果 JNFIT;L +]@Az.E 光线经过整个光学系统的三维视图
iHp\o=# 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
=5sF"L;b pfd#N[c A`u$A9[ T`9-VX;` (.Lrmf@hI7 =q"eU=9 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 c:l]=O 2Nj9U#A poJg"R4
■ VirtualLab可用于计算点列图。 vLO&Lpv
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 M]-VHI[&W
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 m ga6[E<
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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\NqEw@91B 9. 焦平面上的结果 pX=,iOF[I
3qQUpm+
$iM=4
3W
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 L;QY<b
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 T#O??3/%$1
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm SLhEc
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 AA:no=
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 ,5|d3dJS lr2rQo> 10. 总结 @+_&Y] ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 (XH2Sy ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 WjMS5^ _ ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 uvA(Rn ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 s~},y]YV